(주)알파플러스
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Ion Pump
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시리즈
진공부품
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제품 상세 설명
- 2G(370x470) ~ 8G(2200x2500)까지 적용
- 최고의 Uniformity 구현
- 최적의 히터 배치로 Nozzle 막힘 방지
- One Body Crucible로 열 변형 최소화