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Compound Refractive Lens(CRL) Manipulator
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-
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가속기 장치 사업
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(주)벡트론

반도체장비 및 진공장비 전문업체, VACUUM 시스템, 태양전지

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제조사
(주)벡트론[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
33686
제품명
Compound Refractive Lens(CRL) Manipulator
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

Overview

다수의 Be Lens를 한 개의 모듈로 제작하여 개별 모듈단위로 빔라인 광축 상에 추가하거나 제거하는 방법으로 빔의 집속 크기를 조절한다.
Be Lens의 모듈은 원격으로 이루어 진다.

Specifications

PART Parameter Specification
Pitch Range(mrad) ±50
Resolution(μrad) 1
Roll Range(mrad) ±50
Resolution(μrad) 1
Yaw Range(mrad) ±14
Resolution(μrad) 2
Chamber X Range(mm) ±25
Resolution(µm) 0.1
Chamber Z Range(mm) ±25
Resolution(µm) 0.1
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