


반도체장비 및 진공장비 전문업체, VACUUM 시스템, 태양전지
Overview
입사되는 white synchrotron beam으로 부터 단색광을 분광하는 장치 X-ray의 파장 변화에 따라 결정의 위치와 방향이 정확하게 변화해야 하므로 고정밀도의 motion stage 장착
Specifications
| PART | ACTUATOR/MONITOR | RESOLUTION | 
| Bragg Angle | Goniometer | 0.07”(Min) | 
| Angle Encoder | 0.0024″ | |
| Z | Actuator | 6㎛ Max 0.03nm Min | 
| Linear Encoder | 50nm | |
| Roll(2nd crystal) | Pico-Motor | 0.018” | 
| LVDT | Calibration is necessary | |
| Pitch(2nd crystal) | Pico-Motor | 0.013” | 
| LVDT | Calibration is necessary | |
| Fine pitch | PZT | 0.3 nrad | 















