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Mirror Manipulator System
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가속기 장치 사업
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(주)벡트론

반도체장비 및 진공장비 전문업체, VACUUM 시스템, 태양전지

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제조사
(주)벡트론[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
33682
제품명
Mirror Manipulator System
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

Overview

방사된 광자 빔을 시준,집속하여 실험 대상물까지 유도하는 역할을 한다.
원격에 의한 x, y, roll, pitch, yaw 방향의 5축 정밀제어 알루미늄 와이어에 의한 UHV sealing


Specifications

Mirror Manipulator Range 12mm(0 ~100kgf)
Resolution 0.02 ㎛
Precision 0.1kgf(force sensor)
Vacuum Performance less than 1x10-9 mbar
Maximum Bake-Out Temp 120℃
Mirror Length 100~1400mm
Axis Actuator Type 5P Harmonic Step Motor
Tangential Slope Error less than 2μrad

    

Pitch (rotation about X axis) Range ±2.54°
Resolution 0.018″
Roll (rotation about Y axis) Range ±2.6°
Resolution 0.094″
Yaw (rotation about Z axis) Range ±2.03°
Resolution 0.007″
X direction Range ±20.0 mm
Resolution 0.02 ㎛
Z direction Range ±25.0 mm
Resolution 0.05 ㎛

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