

반도체장비 및 진공장비 전문업체, VACUUM 시스템, 태양전지
Overview
다수의 Be Lens를 한 개의 모듈로 제작하여 개별 모듈단위로 빔라인 광축 상에 추가하거나 제거하는 방법으로 빔의 집속 크기를 조절한다.
Be Lens의 모듈은 원격으로 이루어 진다.
Specifications
| PART | Parameter | Specification | 
| Pitch | Range(mrad) | ±50 | 
| Resolution(μrad) | 1 | |
| Roll | Range(mrad) | ±50 | 
| Resolution(μrad) | 1 | |
| Yaw | Range(mrad) | ±14 | 
| Resolution(μrad) | 2 | |
| Chamber X | Range(mm) | ±25 | 
| Resolution(µm) | 0.1 | |
| Chamber Z | Range(mm) | ±25 | 
| Resolution(µm) | 0.1 | 















