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Excimer laser micro machining system
모델명
LPS-EKF100
시리즈
Etc.
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레이저앤피직스(주)

레이저 모듈제조업체, Eximer Laser, Semi Conductor, Display, PCB, EMC

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제조사
레이저앤피직스(주)[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
127000
제품명
Excimer laser micro machining system
모델명
LPS-EKF100
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

제품 사양

- Excimer laser micro machining system



제품 설명

Model    LPS-EKF100 
Laser type    KrF
Wave lenght   248 mm
Pulse repetition rate  < 200 Hz
Average energy  < 100mJ
Power stability   5 %
Warming up   30 min.
Gas lifetime   20 x 10e6 pulses
Beam dimension   10 x 20 ㎟
Beam divergence   3 x 10 mrad
Laser tube lifetime   1 x 10e8 pulses
Cooling    water 


- Micro machine by excimer laser

- High power stability by new gas circulation system

- User friendly GUI with touch screen

- Precision machining of polymers, metal films

- Stripping of wires

- Surface cleaning

- Drilling via hole



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