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Excimer Micro Processing System
모델명
LPD-EK500
시리즈
Semiconductor
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레이저앤피직스(주)

레이저 모듈제조업체, Eximer Laser, Semi Conductor, Display, PCB, EMC

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제조사
레이저앤피직스(주)[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
126984
제품명
Excimer Micro Processing System
모델명
LPD-EK500
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

제품사양

- KrF (ArF) Excimer Laser

- High precision optics, X-Y-Z stage



제품 설명

Model    LPD-EK500 
Laser type    KrF (ArF)
Wave length   248 mm (193 nm)
Average power   10 W
Pulse energy   10 mJ @ 1000 Hz
Pulse width   10 ~ 25 nsec
Pulse stability   ±3 %
Cooling    water 
X-Y stroke   500 mm x 500 mm
Accuracy   ±4 ㎛
Repeatability   ±2 ㎛
Dimension   1750 mm(W) x 1500 mm(D) x 1850 mm(H)


- High precision micro processing system by excimer laser

- High power stability by new gas circulation system

- User friendly GUI with touch screen

- Drilling, Patterning etc



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