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(주)대성엔지니어링
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제품 상세 정보
Stocker
반도체 제조공정에 사용되는 각종 Carrier(POD, FOUP, Cassette, M/Z)를 운송, 저장 및 Sorting기능을 하는 자동 입출고 창고 시스템 (ASRS: Automated Storage & Retrieval System) 이다.
설비 형태
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 반송물 | FOUP / FOSB Magazine Cassette JEDEC Tray |
| Tact Time | Avg. 18 sec 이내 |
| Total Accuracy | ±0.5mm |
| Robot 구조 | 4 Axes Servo System |
| Teaching Method | Auto Teaching |
| 제어 방식 | PC 제어 |
| 상위 통신 | SECS/GEM |
| 공급 전원 | AC220V 3상, 단상UPS |
| 청정도 | 1,000 Class |
