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제품 상세 정보
System은 반도체, LCD등의 제조공정에서 FAB의 천장에 설치된 Rail을 따라 Vehicle이 이동하며 Cassette, Tray, Magazin, FOUP 등의 다양한 자재를 제조 공정간 반송하는 무인 자동 반송 시스템이다.
Equipment type
| 구분 | SPECIFICATION | |
|---|---|---|
| Payload | 10kg | |
| Velocity | 직선구간 | 4.2 m/s |
| 곡선구간 | 0.7 m/s | |
| 가속 / 감속도 | 2 ~ 3 m/s | |
| 적재 시간 (E84포함) | EQ : 10sec, STB : 11sec | |
| 적재 작업 정도 | &±1mm | |
| Hoisting 길이 | Max. 3.3m (FOUP용 기준) | |
| Sliding Distance | Max. 450mm (Rail Center 기준) | |
| 분기 / 합류방식 | VHL Self Switching | |
| 조향 Unit 동작시간 | 0.5sec | |
| 곡선 반경 | 450mm / 500mm | |
| Size | Vehicle | 465mm(W) x 788mm(D) x 923mm(H) |
| Rail | 392mm(W) x 250mm(H) | |
| Vehicle 무게 | 105kg (±5kg) | |
| Rail 무게 | 직선 Rail | 4.9kg/m |
| 분기 Rail | 75kg/Unit | |
| Non-contactPower equipment (HID) | 비 접촉 전원 장치 (30KVA) | |
