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Plasma Sawing System
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(주)에이피티씨

반도체 공정장비 제조, 하이드리브시스템, 챔버 시스템 제품 정보제공

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제조사
(주)에이피티씨[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
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SKU
29451
제품명
Plasma Sawing System
모델명
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사이즈
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중량
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제품 상세 정보

반도체 칩의 미세화 추세에 따라 칩 절단 기술의 균일성과 안전성이 대두되며 기존의 기계적 Sawing, Laser를 이용한 Sawing에 이어 Plasma를 이용한 기술이 부각되고 있다. 
당사의 Plasma Sawing System은 Thin wafer에 대한 Sawing 공정이 가능하며, Throughput향상, Wafer Chipping방지 및 Die 강도 강화에 장점이 있다. 

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