특징
메카니칼 부스터 펌프는 성능이 낮은 펌프와 조합하여 사용하는 것에 의해 성능이 낮은 펌프의 배기속도가 떨어지는 영역을 대폭 향상시킬수 있다. 성능이 낮은 펌프를 2단형의 오일회전 진공 펌프로 하면10-3∼수Torr정도의 최대 능력을 얻을 수 있다. 따라서 이 특징에 의해 다음과 같은 큰 잇점을 갖고 있다.
(1) 10-3∼수Torr에 걸쳐 가스를 유동시키면서 챔버내의 압력을 유지하지 않으면 안되므로, 대단히 큰 오일 회전 진공펌프가 필요하게 되고 만다.
⇒ 이러한때는 메카니칼 부스터 펌프의 사용이 최적이다. 작은 오일 회전진공 펌프와의 조합으로 되기 때문에 배기계가 콤팩트하게 된다.
(2) 배기시간을 단축하고 싶을 경우에도 최적이다.
구조 및 원리
메카니칼 부스터 펌프는 케이싱내에 있는 2개의 누에고치형 로터가 그 축단의 구동기어에 의해 상호 반대방향으로 등속회전하도록 되어있다. 흡입구로 들어온 기체는 케이싱과 로터사이의 공간에 밀폐된채 로터의 회전으로 배기구측으로 배출되어져 후단의 보조펌프로 대기중에 방출된다.
로터는 로타사이 및 케이싱과 아주작은틈(0.1∼0.3mm)을 유지하고 회전하기 때문에, 로터실 내에는 윤활유를 필요로 하지 않는다. 따라서 오일이 필요없는 진공배기가 가능하게 되는 셈이다.
또한, 로터는 고속회전할 수 있어 케이싱과의 사이에 마찰의 염려도 없다.
DIM MODEL | A | B | C | D | E | F | G | H | I | J | K | L |
WMB-300 | 530 | 120 | 292 | 191 | 140 | 139 | 290 | 80A | 80A | 42 | ø25 | ø14 |
WMB-700 | 662 | 142 | 381 | 267 | 203 | 159 | 362 | 100A | 100A | 52 | ø28 | ø14 |
WMB-1300 | 772 | 173 | 438 | 368 | 267 | 254 | 521 | 150A | 150A | 65 | ø32 | ø16 |
WMB-2000 | 874 | 173 | 540 | 368 | 267 | 254 | 521 | 200A | 200A | 65 | ø35 | ø16 |
WMB-3500 | 1080 | 230 | 648 | 455 | 346 | 305 | 651 | 300A | 300A | 85 | ø40 | ø20 |
DISCRIPTION | PUMP SPEED | CAPACITY | MOTOR | SUCTION PORT | COOLING | LUBBRICATING | WEIGHT |
WMB-300 | 1750 | 5 | 1.5(4P) | 80 x 80(3") | 2 | 0.5 | 82 |
2675 | 8 | ||||||
WMB-700 | 1750 | 12 | 2.2(4P) | 100 x 100(4") | 2 | 1.5 | 120 |
2675 | 17.5 | ||||||
WMB-1300 | 1750 | 20 | 5.5(4P) | 150 x 150(6") | 2 | 2 | 280 |
2675 | 30 | ||||||
WMB-2000 | 1750 | 35 | 7.5(4P) | 200 x 200(8") | 3 | 2 | 350 |
2675 | 50 | ||||||
WMB-3500 | 1750 | 55 | 11(4P) | 250 x 250(10") | 5 | 3 | 650 |
구 분 | MBS-010 | |
제원 | 50Hz | 60Hz |
실효배기속도 [㎥/h] | 10 | 12 |
도달압력 [Pa] | 3 x 10-4 (4 x 10-2) | |
모터 | Single phase, 100V, 150W, 2 poles, capacitor run | |
전부하전류 [A] | 2.8 | 2.8 |
회전수 [rpm] | 2650 | 3200 |
유량 [mL] | 150 | |
사용유 | SMR-100 | |
질량 [kg] | 7.8 | |
흡기관 [B] | 1(VG-25) | |
배기관 [B] | 1(VF-25) | |
최대흡입압 [Pa] | 30 (4 x 103) | |
표준보조펌프 | GVD-050A,GLD-050,GCD-050XA | |
온도범위 [℃] | 7 ∼ 40 | |
크기 [mm] | 153.5(W) x 363(L) x 123(H) | |
구 분 | MBS-030 | MBS-050 | |||
제원 | 50Hz | 60Hz | 50Hz | 60Hz | |
실효배기속도 [㎥/h] | 30 | 36 | 50 | 60 | |
도달압력 [Pa] | 3 x 10-4 (4 x 10-2) | ||||
모터 | Single phase, 100V, 150W, 2 poles, capacitor run | ||||
전부하전류 [A] | Single phase | 6.5 | 6.0 | 6.5 | 6.0 |
Three phase | 3.3 | 3.0 | 3.3 | 3.0 | |
회전수 [rpm] | 2910 | 3500 | 2910 | 3500 | |
유량 [mL] | 250 | 320 | |||
사용유 | SMR-100 | SMR-100 | |||
질량 [kg] | 14 | 16 | |||
흡기관 [B] | 1(VG-25) | 1½(VG-40) | |||
배기관 [B] | 1(VF-25) | 1½(VF-40) | |||
최대흡입압 [Pa] | 30 (4 x 103) | 30 (4 x 103) | |||
표준보조펌프 | GVD-135A,GLD-135,GCD-135XA | GVD-200A,GLD-200,GCD-200XA | |||
온도범위 [℃] | 7 ∼ 40 | 7 ∼ 40 | |||
크기 [mm] | 172(W) x 488(L) x 145(H) | 175(W) x 518(L) x 160(H) | |||
분 류 | 모터직결형 | 벨트구동 | 알루미늄형 | |||||||||
형 식 | RD302 | RD600 | RD1200 | RD1500 | RD1510 | RD2500 | RD2510 | R6002 | R12001 | RA100 | RA1200 | |
흡배기 | 50Hz ㎥/h | 250 | 500 | 1000 | 1350 | 2070 | 6000 | 12000 | 90 | 1000 | ||
60Hz ㎥/h | 300 | 600 | 1200 | 1630 | 2500 | 110 | 1200 | |||||
허용 | 50Hz kPa | 9.3 | 5.3 | 9.3 | 19 | 6.7 | 19 | 4.7 | 4.0 | 9.3 | 6.0 | |
60Hz kPa | 8 | 4.7 | 8.0 | 16 | 5.3 | 15 | 8.0 | 5.3 | ||||
도달 | 1단 Pa | 7 x 10-2 | ||||||||||
2단 Pa | 1.3 x 10-2 | |||||||||||
기준보조펌프의 | 36 ~100 | 90 ~220 | 180 ~220 | 220~450 | 450~600 | 690 ~900 | 900 ~1200 | 18 ~36 | 180 ~600 | |||
소음 dB(A) | 70 이하 | 65 | ||||||||||
진동 ㎛ | 20 이하 | 50이하 | 10이하 | 20이하 | ||||||||
회전수 | 50Hz r/min | 3000 | 1500 | 3000 | 1500 | 1200 | 1030 | 3000 | ||||
50Hz r/min | 3600 | 1800 | 3600 | 1800 | 3600 | |||||||
표준모터출력 kW | 1.5 | 2.2 | 3.7 | 5.5 | 11 | 5.5 | 15 | 11 | 22 | 0.4 | 3.7 | |
유량 L | 1.0 | 2.8 | 2.8 | 4.2 | 5.6 | 2.5 | 5.9 | 0.35 | 2.5 | |||
냉각수량 | 0.4 | 1.1 | 1.5 | 0.06 | 0.18 | |||||||
질량 | 모터 kg | 100 | 250 | 280 | 510 | 670 | 1060 | 3010 | 25 | 150 | ||
비모터 kg | . | . | . | 460 | 620 | 940 | 2800 | 17 | 115 | |||
표준도장색 | 7.5BG6/1.5 | 2.5GY7.0/2.0 | ||||||||||
허용주정온도 ℃ | 회전시/보관시 +10 ∼ +40 / -5 ∼ +60 | |||||||||||
용량 ㎥ | 0.4 | 0.7 | 0.75 | 0.75 | 1.5 | 3.2 | 6.9 | 0.4 | 0.7 | |||
질량 kg | 200 | 370 | 385 | 600 | 780 | 1320 | 3550 | 200 | 370 | |||
