ATM SHIM Gauge는 PIRANI와 Piezo Sensor가 연동하여 작동합니다.
Piezo Sensor를 사용하여 가스밀도에 영향을 받는 1Torr이상에서 보다 정밀한 진공도를 확인할 수 있습니다. 
고휘도 Chip LED Module Type으로 제작하여 선명도가 보다 좋아졌습니다.
기존 사용중인 SHIM Sensor와도 호환이 가능합니다. 
 

B-A Ionization Vacuum Gauge

 Pressure Range  

◾Maximum Measurement Limit : 1.0E-10Torr
◾Minimum Measurement Limit : 1.0E-03Torr
◾Available Cable length : 3m(10Ft.) ~ 50m(200FT.)
◾Analog Output : 1V/decade, 0 ~ 7VDC 
◾Power Input 100/115/230℃ ± 10% VAC 250 Watts, 50 or 60Hz
 

 
Low Vacuum Gauge

SHIM Gauge Pressure Range for N2/Air, ATM SHIM Gauge  

◾Measurement Range : SHIM Gauge 1000 ~ 1.0E-3Torr, ATM Gauge 1500 ~ 1.0E-3Torr 
◾Analog Output : 1V/decade, 0 ~ 6VDC 
◾Cable length : 3meter(Standard),50meter(Maximum)
◾Fitting : 1/8NPT, NW16KF, NW25KF, 15m O.D, 1.33"CF, 2.75"CF, 1/4"VCR
◾Gauge axis must be horizontal to provide accurate measurement above 1 Torr 
 
 
 

Other Options

1. Interface Module
 - RS 232, RS485,422 
 2. Additional Ionization Gauge. 
 - Second Ionization Gauge is available
 3. Remote Operation 
 - Remote I/O Option
 4. Selectable Process 6-Setpoints