ATM SHIM Gauge는 PIRANI와 Piezo Sensor가 연동하여 작동합니다.
Piezo Sensor를 사용하여 가스밀도에 영향을 받는 1Torr이상에서 보다 정밀한 진공도를 확인할 수 있습니다. 
고휘도 Chip LED Module Type으로 제작하여 선명도가 보다 좋아졌습니다.
기존 사용중인 SHIM Sensor와도 호환이 가능합니다. 
 

Specification

◾Sensor : SHIM Gauge, ATM SHIM Gauge 
◾Measurement Range : SHIM Gauge 1000Torr ~ 1.0E-03Torr, ATM Gauge 1500Torr ~ 1.0E-03Torr 
◾Standard Analog Output
◾Optional : RS322, RS422/485 Interface Module 6 Setpoints Relay output 
◾Unit : Torr & Pascal 
 
 
 What is the SHIM Gauge Tube?
◾Measurement Range : 1000 ~ 1.0E-3Torr
◾Analog Output : 1V/decade, 0 ~ 6VDC
◾Cable length : 3meter(Standard), 50meter(Maximum)
◾Fitting : 1/8NPT, NW16KF, NW25KF, 15m O.D, 1.33"CF, 2.75"CF, 1/4"VCR

※ Gauge axis must be horizontal to provide accurate measurement above 1 Torr