ATM SHIM Gauge는 PIRANI와 Piezo Sensor가 연동하여 작동합니다. 
Piezo Sensor를 사용하여 가스밀도에 영향을 받는 1Torr 이상에서 보다 정밀한 진공도를 확인할 수 있습니다. 
 
 

ATM SHIM Gauge
 
◾Measurement Range:1500 ~ 1.0E-3Torr
◾Gas Calibration : Air or N2
◾Bake Out Temp : 100℃ in Air Vacuum
◾Cable : 9pin D-Sub Connector, Multi Conductor Shield Cable
◾Cable length : 3m(Standard), 50m(Maximum)
◾Fitting : 1/8 NPT, NW16, NW25, 15m O.D, 1.33" CF, 2.75"CF, 1/4" VCR
◾Gauge Axis must be horizontal to provide accurate measurement above 1 Torr