코리아바큠테크(주)는 1996년 설립된 진공 시스템 및 부품 개발 전문 제조 기업. 플라즈마 기반의 진공 증착, 식각, 세정 장비 등 반도체 및 디스플레이 생산에 필수적인 박막 공정 장비 개발 및 공급. 연구개발(R&D)용 맞춤형 장비와 양산 라인용 공정 장비 모두 제공하는 역량. 리튬 이온 배터리 진공 건조기를 포함한 다양한 진공 장비 솔루션 제공.코리아바큠테크(주)는1996년설립된진공시스템및부품개발전문제조기업.플라즈마기반의진공증착,식각,세정장비등반도체및디스플레이생산에필수적인박막공정장비개발및공급.연구개발(R&D)용맞춤형장비와양산라인용공정장비모두제공하는역량.리튬이온배터리진공건조기를포함한다양한진공장비솔루션제공.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
진공 증착 장비: 플라즈마 기반의 물리적 증기 증착(PVD) 및 화학적 증기 증착(CVD) 장비 개발 및 공급. 스퍼터링 시스템(KVS-2000, KVS-4000, KVS-5000, KVIS-Series, Bench Top Sputter Series)은 다양한 타겟 물질 적용 및 높은 박막 균일도 제공. 증발 증착 장비(E-BEAM Series, Thermal Series, E-beam & Thermal Series, iBAD Series, OLED R&D Series, E-beam & Sputter Series)는 E-beam 및 Thermal 소스 동시 또는 선택적 사용 가능. 원자층 증착(ALD) 장비(KVAC-4000L, KVA-CCP4000L, ALD-CVD Series, PEALD) 및 펄스 레이저 증착(PLD) 장비(KVP-2000 Series) 보유.진공증착장비:플라즈마기반의물리적증기증착(PVD)및화학적증기증착(CVD)장비개발및공급.스퍼터링시스템(KVS-2000,KVS-4000,KVS-5000,KVIS-Series,BenchTopSputterSeries)은다양한타겟물질적용및높은박막균일도제공.증발증착장비(E-BEAMSeries,ThermalSeries,E-beam&ThermalSeries,iBADSeries,OLEDR&DSeries,E-beam&SputterSeries)는E-beam및Thermal소스동시또는선택적사용가능.원자층증착(ALD)장비(KVAC-4000L,KVA-CCP4000L,ALD-CVDSeries,PEALD)및펄스레이저증착(PLD)장비(KVP-2000Series)보유.
식각 및 세정 장비: 식각 장비(Ion Milling Series, RIE Series, ICP-RIE Series)는 반도체 및 디스플레이 공정에 필수적인 역할 수행. 세정 장비 또한 진공 시스템의 중요한 부분.식각및세정장비:식각장비(IonMillingSeries,RIESeries,ICP-RIESeries)는반도체및디스플레이공정에필수적인역할수행.세정장비또한진공시스템의중요한부분.
열처리 및 기타 진공 시스템: 급속 열처리(RTP) 시스템(KVR-2000 Series, KVR-4000 Series, KVR-6000 Series, Bench Top RTP Series)은 최대 1100℃의 고온에서 100℃/sec의 빠른 가열 속도 구현. 리튬 이온 배터리용 진공 건조기(Vacuum Dryer for LiB)는 배터리 제조 공정의 핵심 장비. Josephson Junction System(JDR-E Series, JDR-S Series, JDR-I Series), Ion-Beam, Multi-function, Intelsi System(Intelsi-L Series, Intelsi-M Series) 등 다양한 맞춤형 진공 시스템 개발 및 공급.열처리및기타진공시스템:급속열처리(RTP)시스템(KVR-2000Series,KVR-4000Series,KVR-6000Series,BenchTopRTPSeries)은최대1100℃의고온에서100℃/sec의빠른가열속도구현.리튬이온배터리용진공건조기(VacuumDryerforLiB)는배터리제조공정의핵심장비.JosephsonJunctionSystem(JDR-ESeries,JDR-SSeries,JDR-ISeries),Ion-Beam,Multi-function,IntelsiSystem(Intelsi-LSeries,Intelsi-MSeries)등다양한맞춤형진공시스템개발및공급.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
진공 시스템 전문성: 1996년부터 축적된 진공 공정 장비 개발 및 제조 노하우. 플라즈마 기술을 기반으로 한 PVD, CVD, 식각, 세정 등 핵심 진공 공정 장비에 대한 깊은 이해와 기술력.진공시스템전문성:1996년부터축적된진공공정장비개발및제조노하우.플라즈마기술을기반으로한PVD,CVD,식각,세정등핵심진공공정장비에대한깊은이해와기술력.
맞춤형 솔루션 제공: 국내외 연구소, 대학, 양산 업체 등 다양한 고객의 특정 요구사항에 맞춰 장비를 설계하고 제작하는 능력. 다품종 소량 생산 방식에 최적화된 유연한 생산 시스템 보유.맞춤형솔루션제공:국내외연구소,대학,양산업체등다양한고객의특정요구사항에맞춰장비를설계하고제작하는능력.다품종소량생산방식에최적화된유연한생산시스템보유.
생산성 및 신뢰성: 양산 라인용 장비의 경우 높은 수율, 안정성, 자동화된 공정 제어 기능 제공. 설계부터 최종 생산까지 전 과정을 자체적으로 수행하여 고품질의 맞춤형 장비 구축.생산성및신뢰성:양산라인용장비의경우높은수율,안정성,자동화된공정제어기능제공.설계부터최종생산까지전과정을자체적으로수행하여고품질의맞춤형장비구축.
글로벌 시장 경쟁력: 미국, 일본, 중국, 인도, 핀란드 등 전 세계로의 수출을 강화하며 기술력을 인정받는 글로벌 경쟁력. 국제적인 품질 경영 시스템 인증(ISO 9001)을 통한 제품 신뢰성 확보.글로벌시장경쟁력:미국,일본,중국,인도,핀란드등전세계로의수출을강화하며기술력을인정받는글로벌경쟁력.국제적인품질경영시스템인증(ISO9001)을통한제품신뢰성확보.
기술 혁신 및 지적 재산권: 지속적인 연구 개발 투자와 3건의 특허 보유. 첨단 반도체 소자, 신소재, 디스플레이 기술 등 차세대 기술 연구개발 활동 지원 역량.기술혁신및지적재산권:지속적인연구개발투자와3건의특허보유.첨단반도체소자,신소재,디스플레이기술등차세대기술연구개발활동지원역량.
적용 산업적용산업
반도체 산업: 반도체 소자 제조 공정의 핵심인 진공 증착, 식각, 세정 장비 공급.반도체산업:반도체소자제조공정의핵심인진공증착,식각,세정장비공급.
디스플레이 산업: 디스플레이 패널 생산에 필요한 박막 공정 장비 및 OLED R&D 시스템 적용.디스플레이산업:디스플레이패널생산에필요한박막공정장비및OLEDR&D시스템적용.
신소재 및 첨단 기술 연구: 차세대 반도체 소자, 신소재 개발, 광학 부품 제조 등 첨단 연구개발 분야 지원.신소재및첨단기술연구:차세대반도체소자,신소재개발,광학부품제조등첨단연구개발분야지원.
에너지 산업: 리튬 이온 배터리(LiB) 제조 공정용 진공 건조기 공급.에너지산업:리튬이온배터리(LiB)제조공정용진공건조기공급.
LED 산업: GaN 기반 LED 공정 등 다양한 응용 분야에 RTP 시스템 활용.LED산업:GaN기반LED공정등다양한응용분야에RTP시스템활용.
주요 시장주요시장
일본, 중국, 인도일본,중국,인도
핀란드핀란드
미국미국
인증/특허인증/특허
ISO 9001 품질경영시스템 인증: 설계, 개발, 생산, 서비스 전 과정에 대한 KA A9001/ISO 9001/EN ISO 9001 인증 획득.ISO9001품질경영시스템인증:설계,개발,생산,서비스전과정에대한KAA9001/ISO9001/ENISO9001인증획득.