특징

• 가공이 없는 원형 디스크 타겟 사용(127mm diameter)
• 고정 로테이션 테이블
• 유니포미티 : 3축 x 135mm H
• 펄스바이어스 및 터보 펌프 적용
• 자동화 시스템 및 실시간 그래프 확인
• 시스템 사이즈 : 2M(L) x 1.5M(W) x 1.8M(H)

조합

• i40A : DLC 시스템
  일반 아크 DLC 코팅
  우수한 밀착력
  우수한 표면조도 (Ra, Rz)
• i40S : UBM 스퍼터 시스템
  타겟사이즈 :203.2mm x 127mm x 12mmt