기업 기본 정보
설립일자
2014-03-14
업종
반도체 제조용 기계 제조업
운영여부
운영중
업데이트
2025-12-04
기업 개요
- 한줄 요약
- 반도체 제조 공정용 MCA ESC 히터, ALN 히터, 마그넷 어셈블리 및 표준 히터의 제조 및 리퍼빌싱 전문 기업. AMAT PVD 장비의 핵심 소모성 부품 공급 및 수리 서비스 제공. 반도체 실리콘 웨이퍼의 모든 영역에서 최소 온도 편차를 유지하는 기술력 보유.반도체 제조 공정용 MCA ESC 히터, ALN 히터, 마그넷 어셈블리 및 표준 히터의 제조 및 리퍼빌싱 전문 기업. AMAT PVD 장비의 핵심 소모성 부품 공급 및 수리 서비스 제공. 반도체 실리콘 웨이퍼의 모든 영역에서 최소 온도 편차를 유지하는 기술력 보유.
- 대표 제품군/보유 기술
- MCA E-Chuck Heater: 200mm 및 300mm MCA ESC 제품의 제조 및 리퍼빌싱 서비스 제공. PVD 장비 챔버 내 고온, 고압 조건에서 웨이퍼 온도 편차를 최소화하는 핵심 기술 적용.MCA E-Chuck Heater: 200mm 및 300mm MCA ESC 제품의 제조 및 리퍼빌싱 서비스 제공. PVD 장비 챔버 내 고온, 고압 조건에서 웨이퍼 온도 편차를 최소화하는 핵심 기술 적용.
- ALN Heater: CVD ALN 세라믹 히터, ALN 히터 딤플 제품의 제조 및 재생 서비스 제공. 딤플 재생 기술을 통한 히터 성능 복원 및 수명 연장 능력.ALN Heater: CVD ALN 세라믹 히터, ALN 히터 딤플 제품의 제조 및 재생 서비스 제공. 딤플 재생 기술을 통한 히터 성능 복원 및 수명 연장 능력.
- Magnet Assembly: PVD 마그넷 어셈블리 제품의 제조 및 리퍼빌싱 서비스 제공. 증착 균일도 향상을 위한 플라즈마 내 전자 운동 활성화 역할.Magnet Assembly: PVD 마그넷 어셈블리 제품의 제조 및 리퍼빌싱 서비스 제공. 증착 균일도 향상을 위한 플라즈마 내 전자 운동 활성화 역할.
- Standard Heater: 다양한 산업용 표준 히터 제품 공급.Standard Heater: 다양한 산업용 표준 히터 제품 공급.
- HDP ESC: Novellus HDP ESC 제품 및 관련 리퍼빌싱 서비스 제공.HDP ESC: Novellus HDP ESC 제품 및 관련 리퍼빌싱 서비스 제공.
- 리퍼빌싱 기술: MCA 히터, 세라믹 히터, 마그넷 어셈블리에 대한 세계적 수준의 리퍼빌딩 기술력 보유. 벨로우즈 교체, 딤플 재생, 내부 손상 부품 수리, 용접 및 금속화 수리, 전기 부품 수리, 퍽 코팅 및 딤플 재생 등 다단계 공정 기술 적용.리퍼빌싱 기술: MCA 히터, 세라믹 히터, 마그넷 어셈블리에 대한 세계적 수준의 리퍼빌딩 기술력 보유. 벨로우즈 교체, 딤플 재생, 내부 손상 부품 수리, 용접 및 금속화 수리, 전기 부품 수리, 퍽 코팅 및 딤플 재생 등 다단계 공정 기술 적용.
- 미래 기술 개발: LED, OLED를 활용하는 ODF ESC를 포함한 다양한 ESC 개발 계획 수립.미래 기술 개발: LED, OLED를 활용하는 ODF ESC를 포함한 다양한 ESC 개발 계획 수립.
- 경쟁 우위 포인트
- 독보적인 리퍼빌싱 기술력: 반도체 PVD 및 CVD 공정 장비 부품의 수리 및 재생 분야에서 세계 최고 수준의 기술력과 품질 확보. 벨로우즈 교체, 딤플 재생, 용접 및 금속화 수리 등 핵심 재생 기술 보유.독보적인 리퍼빌싱 기술력: 반도체 PVD 및 CVD 공정 장비 부품의 수리 및 재생 분야에서 세계 최고 수준의 기술력과 품질 확보. 벨로우즈 교체, 딤플 재생, 용접 및 금속화 수리 등 핵심 재생 기술 보유.
- 숙련된 전문 인력 및 최신 시설: 10년 이상의 경력을 가진 숙련된 기술자들과 최신 수리 시설을 기반으로 최고 수준의 리퍼빌딩 서비스 제공. ESC 검사기, 누설 검사기, 초음파 세척기, 레이저 용접기 등 첨단 생산 설비 보유.숙련된 전문 인력 및 최신 시설: 10년 이상의 경력을 가진 숙련된 기술자들과 최신 수리 시설을 기반으로 최고 수준의 리퍼빌딩 서비스 제공. ESC 검사기, 누설 검사기, 초음파 세척기, 레이저 용접기 등 첨단 생산 설비 보유.
- 높은 제품 신뢰성 및 경제성: 리퍼빌딩 제품이 AMAT 신제품 대비 최대 30% 이상 향상된 수명을 제공하며, 수년간 1% 미만의 낮은 불량률 유지. 고객에게 비용 효율적인 솔루션 제공.높은 제품 신뢰성 및 경제성: 리퍼빌딩 제품이 AMAT 신제품 대비 최대 30% 이상 향상된 수명을 제공하며, 수년간 1% 미만의 낮은 불량률 유지. 고객에게 비용 효율적인 솔루션 제공.
- 다양한 장비 호환성 및 부품 재고: AMAT, Centura, Endura, HDP Ultima Plus, Novellus, LAM, Mattson, TEL Parts, IMP Parts 등 광범위한 반도체 장비의 잉여 및 2차 소스 부품 재고 보유. 고객의 다양한 요구에 신속하게 대응하는 능력.다양한 장비 호환성 및 부품 재고: AMAT, Centura, Endura, HDP Ultima Plus, Novellus, LAM, Mattson, TEL Parts, IMP Parts 등 광범위한 반도체 장비의 잉여 및 2차 소스 부품 재고 보유. 고객의 다양한 요구에 신속하게 대응하는 능력.
- 기술 혁신 및 특허 확보: ESC 재활용 시스템 및 서셉터 수리 방법에 대한 특허를 등록하며 기술 혁신 노력 지속. 품질경영시스템 인증을 통해 안정적인 사업 프로세스 구축.기술 혁신 및 특허 확보: ESC 재활용 시스템 및 서셉터 수리 방법에 대한 특허를 등록하며 기술 혁신 노력 지속. 품질경영시스템 인증을 통해 안정적인 사업 프로세스 구축.
- 적용 산업
- 반도체 제조 산업: PVD(물리 기상 증착) 및 CVD(화학 기상 증착) 공정 장비의 핵심 소모성 부품 제조 및 수리 서비스 제공 [database, cite: 2, 8, 9, 11, 14].반도체 제조 산업: PVD(물리 기상 증착) 및 CVD(화학 기상 증착) 공정 장비의 핵심 소모성 부품 제조 및 수리 서비스 제공 [database, cite: 2, 8, 9, 11, 14].
- 디스플레이 산업: LED 및 OLED를 활용한 ODF ESC 개발 계획을 통해 디스플레이 분야로의 사업 확장 가능성.디스플레이 산업: LED 및 OLED를 활용한 ODF ESC 개발 계획을 통해 디스플레이 분야로의 사업 확장 가능성.
- 주요 시장
- 대한민국, 중국, 대만, 싱가포르, 일본대한민국, 중국, 대만, 싱가포르, 일본
- 미국미국
- 인증/특허
- 한국 특허증 보유.한국 특허증 보유.
- 품질경영시스템 인증서 (SO Global Quality Certification).품질경영시스템 인증서 (SO Global Quality Certification).
- 특허 등록: '서셉터 수리 방법' (Patent registration for repair method of susceptor).특허 등록: '서셉터 수리 방법' (Patent registration for repair method of susceptor).
- 특허 등록: 'ESC 재활용 시스템' (Patent registration for ESC recycling System).특허 등록: 'ESC 재활용 시스템' (Patent registration for ESC recycling System).
기업 소개
기업 위치
경기도 용인시 처인구 남사읍 통삼로171번길 1