기업 기본 정보
설립일자
2014-03-14
업종
반도체 제조용 기계 제조업
운영여부
운영중
업데이트
2025-12-04
기업 개요
- 한줄 요약
- 반도체 제조 공정용 MCA ESC 히터, ALN 히터, 마그넷 어셈블리 및 표준 히터의 제조 및 리퍼빌싱 전문 기업. AMAT PVD 장비의 핵심 소모성 부품 공급 및 수리 서비스 제공. 반도체 실리콘 웨이퍼의 모든 영역에서 최소 온도 편차를 유지하는 기술력 보유.반도체 제조 공정용 MCA ESC 히터, ALN 히터, 마그넷 어셈블리 및 표준 히터의 제조 및 리퍼빌싱 전문 기업. AMAT PVD 장비의 핵심 소모성 부품 공급 및 수리 서비스 제공. 반도체 실리콘 웨이퍼의 모든 영역에서 최소 온도 편차를 유지하는 기술력 보유.
- 대표 제품군/보유 기술
- MCA E-Chuck Heater: 200mm 및 300mm MCA ESC 제품의 제조 및 리퍼빌싱 서비스 제공. PVD 장비 챔버 내 고온, 고압 조건에서 웨이퍼 온도 편차를 최소화하는 핵심 기술 적용. AMAT PVD 장비의 핵심 소모성 부품.MCA E-Chuck Heater: 200mm 및 300mm MCA ESC 제품의 제조 및 리퍼빌싱 서비스 제공. PVD 장비 챔버 내 고온, 고압 조건에서 웨이퍼 온도 편차를 최소화하는 핵심 기술 적용. AMAT PVD 장비의 핵심 소모성 부품.
- ALN Heater: CVD ALN 세라믹 히터 및 ALN 히터 딤플 제품의 제조 및 재생 서비스. PR 베이킹 용도, 금속 스크린 인쇄형 발열체, AlN 기반 소재 (직경 315~330mm, 두께 4t).ALN Heater: CVD ALN 세라믹 히터 및 ALN 히터 딤플 제품의 제조 및 재생 서비스. PR 베이킹 용도, 금속 스크린 인쇄형 발열체, AlN 기반 소재 (직경 315~330mm, 두께 4t).
- Magnet Assembly: PVD 마그넷 어셈블리 제품의 제조 및 리퍼빌싱 서비스. 플라즈마 내 전자 운동 활성화 및 증착 균일성 향상 역할.Magnet Assembly: PVD 마그넷 어셈블리 제품의 제조 및 리퍼빌싱 서비스. 플라즈마 내 전자 운동 활성화 및 증착 균일성 향상 역할.
- Standard Heater: 다양한 산업용 표준 히터 제품 공급.Standard Heater: 다양한 산업용 표준 히터 제품 공급.
- HDP ESC: Novellus HDP ESC 제품 및 관련 리퍼빌싱 서비스 제공.HDP ESC: Novellus HDP ESC 제품 및 관련 리퍼빌싱 서비스 제공.
- 리퍼빌싱 기술: MCA 히터, 세라믹 히터, 마그넷 어셈블리에 대한 세계적 수준의 리퍼빌싱 기술. 벨로우즈 교체, 딤플 재생, 손상된 내부 부품 수리, 용접 및 금속화 수리, 전기 부품 수리, 퍽 코팅 및 딤플 재생을 포함한 다단계 공정 기술 적용.리퍼빌싱 기술: MCA 히터, 세라믹 히터, 마그넷 어셈블리에 대한 세계적 수준의 리퍼빌싱 기술. 벨로우즈 교체, 딤플 재생, 손상된 내부 부품 수리, 용접 및 금속화 수리, 전기 부품 수리, 퍽 코팅 및 딤플 재생을 포함한 다단계 공정 기술 적용.
- 경쟁 우위 포인트
- 세계적 수준의 리퍼빌싱 기술력: 반도체 PVD 및 CVD 공정 장비 부품의 수리 및 재생 분야에서 세계적 수준의 기술력과 품질 확보. 벨로우즈 교체, 딤플 재생, 용접 및 금속화 수리 등 핵심 재생 기술 보유.세계적 수준의 리퍼빌싱 기술력: 반도체 PVD 및 CVD 공정 장비 부품의 수리 및 재생 분야에서 세계적 수준의 기술력과 품질 확보. 벨로우즈 교체, 딤플 재생, 용접 및 금속화 수리 등 핵심 재생 기술 보유.
- 높은 제품 신뢰성 및 비용 효율성: 리퍼빌싱 제품이 AMAT 신제품 대비 최대 30% 더 긴 수명 제공, 수년간 1% 미만의 낮은 불량률 유지. 고객에게 비용 효율적인 솔루션 제공.높은 제품 신뢰성 및 비용 효율성: 리퍼빌싱 제품이 AMAT 신제품 대비 최대 30% 더 긴 수명 제공, 수년간 1% 미만의 낮은 불량률 유지. 고객에게 비용 효율적인 솔루션 제공.
- 광범위한 장비 호환성 및 부품 재고: AMAT, Centura, Endura, HDP Ultima Plus, Novellus, LAM, Mattson, TEL Parts, IMP Parts 등 다양한 반도체 장비에 대한 광범위한 잉여 및 2차 공급 부품 재고 보유. 다양한 고객 요구에 신속한 대응 능력.광범위한 장비 호환성 및 부품 재고: AMAT, Centura, Endura, HDP Ultima Plus, Novellus, LAM, Mattson, TEL Parts, IMP Parts 등 다양한 반도체 장비에 대한 광범위한 잉여 및 2차 공급 부품 재고 보유. 다양한 고객 요구에 신속한 대응 능력.
- 기술 혁신 및 특허 획득: 'ESC 재활용 시스템' 및 '서셉터 수리 방법' 특허 등록을 통한 지속적인 기술 혁신 추구.기술 혁신 및 특허 획득: 'ESC 재활용 시스템' 및 '서셉터 수리 방법' 특허 등록을 통한 지속적인 기술 혁신 추구.
- 10년 이상의 숙련된 기술자 경험: 2011년부터 MCA ESC 리퍼빌싱 사업을 수행하며 축적된 선진 기술과 10년 이상의 숙련된 기술자 경험을 바탕으로 최고 수준의 리퍼빌싱 서비스 제공.10년 이상의 숙련된 기술자 경험: 2011년부터 MCA ESC 리퍼빌싱 사업을 수행하며 축적된 선진 기술과 10년 이상의 숙련된 기술자 경험을 바탕으로 최고 수준의 리퍼빌싱 서비스 제공.
- 고객 만족 중심의 기술 개발: 고객의 가장 어려운 수리 요청에도 만족스러운 오버홀 서비스를 제공하며, 고객 만족을 위한 기술 개발 지속 노력.고객 만족 중심의 기술 개발: 고객의 가장 어려운 수리 요청에도 만족스러운 오버홀 서비스를 제공하며, 고객 만족을 위한 기술 개발 지속 노력.
- 적용 산업
- 반도체 제조 산업: PVD(Physical Vapor Deposition) 및 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정 장비의 핵심 소모성 부품 제조 및 수리 서비스 제공.반도체 제조 산업: PVD(Physical Vapor Deposition) 및 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정 장비의 핵심 소모성 부품 제조 및 수리 서비스 제공.
- 주요 시장
- 대한민국, 중국, 대만, 싱가포르, 일본대한민국, 중국, 대만, 싱가포르, 일본
- 미국미국
- 인증/특허
- 특허 등록: 'ESC 재활용 시스템'특허 등록: 'ESC 재활용 시스템'
- 특허 등록: '서셉터 수리 방법'특허 등록: '서셉터 수리 방법'
- 품질경영시스템 인증: SO Global Quality Certification품질경영시스템 인증: SO Global Quality Certification
- 한국 특허증 보유한국 특허증 보유
기업 소개
기업 위치
경기도 용인시 처인구 남사읍 통삼로171번길 1