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(주)지에스에이
제품 상세 정보
흡착제 제오라이트에서는 질소, 일산화탄소, 탄산가스에 비해, 아르곤의 흡착량은 적게 분해가 가능합니다.
따라서, 상기의 가스 등을 포함하는 아르곤 혼합가스에서 고순도 아르곤의 회수 정제가 이루어 집니다.
1. 고순도 아르곤(max. 99.99%)의 회수가 가능합니다.
2. 아르곤 회수율이 70~80%로 높습니다.
1.철강업
RH진공탈가스에서 아르곤 회수.
연주설비 배가스에서 아르곤 회수.
LF로 배가스에서 아르곤 회수
2. 반도체
실리콘 단결정 배가스에서 아르곤 회수
3. 기타
각종 아르곤함유 배가스에서의 아르곤 회수
프로세스에 관심이 있으신 분은 당사 연구소로 문의바랍니다..
능 력 : max. 1,000m³/h(nor.) 1개열당
순 도 : max. 99.99%
수 분 : 이슬점 -70ºC at 1atm
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