기업 기본 정보
설립일자
2005-01-20
업종
반도체 제조용 기계 제조업
운영여부
운영중
업데이트
2025-12-04
기업 개요
- 한줄 요약
- 반도체 및 디스플레이 장비의 핵심 전기 전자제어 장치에 대한 리퍼비시 서비스와 제조를 전문으로 하는 RF 솔루션 전문 기업, 99.99%의 불량률 제어를 통한 최상의 품질 제공 능력반도체 및 디스플레이 장비의 핵심 전기 전자제어 장치에 대한 리퍼비시 서비스와 제조를 전문으로 하는 RF 솔루션 전문 기업, 99.99%의 불량률 제어를 통한 최상의 품질 제공 능력
- 대표 제품군/보유 기술
- RF 제너레이터 (RF Generator) 제조 및 수리/리퍼비시 서비스RF 제너레이터 (RF Generator) 제조 및 수리/리퍼비시 서비스
- RF 매처 (RF Matcher) 제조 및 수리/리퍼비시 서비스 (COMET 0190-xxxx, 853-xxxx 시리즈 등)RF 매처 (RF Matcher) 제조 및 수리/리퍼비시 서비스 (COMET 0190-xxxx, 853-xxxx 시리즈 등)
- 원격 플라즈마 소스 (Remote Plasma Source, RPS) 제조 및 수리/리퍼비시 서비스원격 플라즈마 소스 (Remote Plasma Source, RPS) 제조 및 수리/리퍼비시 서비스
- DC 전원 공급 장치 (DC Power Supply) 제조 및 수리/리퍼비시 서비스DC 전원 공급 장치 (DC Power Supply) 제조 및 수리/리퍼비시 서비스
- ESC (Electrostatic Chuck) 및 히터 (Heater) 리퍼비시 서비스ESC (Electrostatic Chuck) 및 히터 (Heater) 리퍼비시 서비스
- RF 필터 (RF Filter) 제조 (주파수 범위 400KHz & 13.56MHz, LF/RF 입력 임피던스 최소 1KΩ, LF 리젝션 최대 -)RF 필터 (RF Filter) 제조 (주파수 범위 400KHz & 13.56MHz, LF/RF 입력 임피던스 최소 1KΩ, LF 리젝션 최대 -)
- 오존 제너레이터 (Ozone Generator) 제조오존 제너레이터 (Ozone Generator) 제조
- RF 케이블 (RF Cable) 제조RF 케이블 (RF Cable) 제조
- DLC (Diamond-Like Carbon) 소재 기반 ESC 표면 증착 기술 개발 및 적용DLC (Diamond-Like Carbon) 소재 기반 ESC 표면 증착 기술 개발 및 적용
- 경쟁 우위 포인트
- 반도체 플라즈마 공정(PVD, CVD, PECVD, ALD, Wet/Dry Etching 등)에 필수적인 전기 전자제어 장치의 제조 및 종합적인 리퍼비시 솔루션 제공 역량반도체 플라즈마 공정(PVD, CVD, PECVD, ALD, Wet/Dry Etching 등)에 필수적인 전기 전자제어 장치의 제조 및 종합적인 리퍼비시 솔루션 제공 역량
- 99.99%의 불량률 제어를 목표로 하는 엄격한 품질 관리 시스템과 최상의 품질 제공 능력99.99%의 불량률 제어를 목표로 하는 엄격한 품질 관리 시스템과 최상의 품질 제공 능력
- 국내 최초로 DLC 소재 기반 ESC 표면 증착 기술을 개발하여 기술 경쟁력 확보국내 최초로 DLC 소재 기반 ESC 표면 증착 기술을 개발하여 기술 경쟁력 확보
- Advanced Energy, MKS, ENI, COMET 등 글로벌 주요 제조사의 RF 제너레이터 및 RF 매처 장비에 대한 전문적인 수리 및 리퍼비시 서비스 제공 능력Advanced Energy, MKS, ENI, COMET 등 글로벌 주요 제조사의 RF 제너레이터 및 RF 매처 장비에 대한 전문적인 수리 및 리퍼비시 서비스 제공 능력
- 탁월한 기술력과 도전정신을 바탕으로 반도체 분야의 혁신을 주도하는 RF 솔루션 전문 기업으로서의 입지탁월한 기술력과 도전정신을 바탕으로 반도체 분야의 혁신을 주도하는 RF 솔루션 전문 기업으로서의 입지
- 적용 산업
- 반도체 제조 공정 (증착 및 식각 공정)반도체 제조 공정 (증착 및 식각 공정)
- 디스플레이 제조 공정 (박막 증착 및 식각 공정)디스플레이 제조 공정 (박막 증착 및 식각 공정)
- 연구 및 산업용 장비 분야연구 및 산업용 장비 분야
- 주요 시장
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- 인증/특허
- 국내 최초 DLC 소재 기반 ESC 표면 증착 기술 개발을 통한 기술적 강점 보유국내 최초 DLC 소재 기반 ESC 표면 증착 기술 개발을 통한 기술적 강점 보유
기업 소개
기업 위치
경기도 용인시 기흥구 탑실로58번길 21