Silicon Ingot 의 재료가 되는 Poly Silicon 을 생산하는 공정에 필요한 가공 장비입니다.
- Tool : Diamond O.D Saw
- Top & Tail Cutting : Silicon Ingot 의 양단 절단
- Bridge Cutting : Filament Rod 를 여러 개의 Bridge Rod 로 절단
- 고속, 다용도 절단 가공
가공방법
Top & Tail Cutting
Top & Tail Cutting
- Tool : Diamond O.D Saw
- Rod Cutting : Silicon Ingot 을 다양한 공정을 통하여 Filament Rod 로 절단
- 고속, 다용도, 최대 수량의 Filament Rod 생산
가공방법
Rod Cutting
- Tool : Diamond Cup Wheel
- Source Rod Grinding : Poly Silicon 의 불규칙한 원통면을 요구하는 치수로 연마
- FZ 공법의 원형 Filament Rod 를 만들기 위한 Source Rod 를 가공
- 고속, 고정밀, 자동 Grinding 가공
가공방법
Source Rod Cutting
- Tool : Diamond 전용 Tool
- Taper Grinding : Filament Rod 의 양단을 동시에 원뿔 모양으로 Taper Grinding
- 고속, Loading & Unloading 자동 가공
가공방법
Taper Grinding
- Tool : Diamond 전용 Tool
- Taper Grinding : Filament Rod 의 양단을 동시에 원뿔 모양으로 Taper Grinding
- 고속, Loading & Unloading 자동 가공
가공방법
Taper Grinding
- Carbon Chuck Cutting : 여러 개의 Poly Silicon 의 Carbon Chuck 부분을 동시에 절단
- 고속, 수작업 공정의 자동화
가공방법
Carbon Chuck Cutting
