ALPSITEC은 CMP(화학 기계적 평탄화) 장비의 설계 및 제조 전문 기업으로, 반도체 웨이퍼의 연마 및 평탄화 솔루션 제공 기업ALPSITEC은CMP(화학기계적평탄화)장비의설계및제조전문기업으로,반도체웨이퍼의연마및평탄화솔루션제공기업
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
Pcox 200s: 4인치에서 200mm 웨이퍼 호환, 자동 로딩/언로딩, 10단계 연마 공정, ex-situ 및 in-situ 컨디셔닝, 통합 슬러리 펌프, 플래튼, 캐리어, 컨디셔닝 툴의 빠른 교체 기능 포함Pcox200s:4인치에서200mm웨이퍼호환,자동로딩/언로딩,10단계연마공정,ex-situ및in-situ컨디셔닝,통합슬러리펌프,플래튼,캐리어,컨디셔닝툴의빠른교체기능포함
Pcox 202-203-204: 2~4개의 연마 모듈로 구성된 모듈형 생산 지향 장비, Pcox 200s와 유사한 특성으로 높은 처리량 및 가용성 제공Pcox202-203-204:2~4개의연마모듈로구성된모듈형생산지향장비,Pcox200s와유사한특성으로높은처리량및가용성제공
E460: 1인치에서 8인치 웨이퍼 연마 및 평탄화를 위한 반자동 시스템, R&D 및 소규모 생산에 최적화된 유연한 장비, 4개의 슬러리 펌프 및 ex-situ 또는 in-situ 컨디셔닝 시스템 탑재E460:1인치에서8인치웨이퍼연마및평탄화를위한반자동시스템,R&D및소규모생산에최적화된유연한장비,4개의슬러리펌프및ex-situ또는in-situ컨디셔닝시스템탑재
E400 E: 1인치에서 4인치 웨이퍼 및 다양한 형상의 샘플(10x10mm 정사각형, 웨이퍼 쿼터 등) 연마 및 평탄화를 위한 소형 탁상형 장비, R&D 및 신소재 개발에 최적화된 솔루션E400E:1인치에서4인치웨이퍼및다양한형상의샘플(10x10mm정사각형,웨이퍼쿼터등)연마및평탄화를위한소형탁상형장비,R&D및신소재개발에최적화된솔루션
E550: Pcox 시리즈로 대체된 이전 모델이나, Windows 7 기반의 새로운 버전으로 제공되는 자동 웨이퍼 핸들링 및 이중 플래튼 설계의 생산 라인에 적합한 장비E550:Pcox시리즈로대체된이전모델이나,Windows7기반의새로운버전으로제공되는자동웨이퍼핸들링및이중플래튼설계의생산라인에적합한장비
핵심 기술로는 반자동 및 자동 웨이퍼 연마 및 평탄화 시스템 설계 및 제조 전문성, 다양한 웨이퍼 크기(1인치~8인치, 200mm) 및 재료 처리 능력, 고급 유연 공정 레시피 설정 및 실시간 파라미터 제어 기술, 통합 슬러리 공급 및 컨디셔닝 시스템 기술 보유핵심기술로는반자동및자동웨이퍼연마및평탄화시스템설계및제조전문성,다양한웨이퍼크기(1인치~8인치,200mm)및재료처리능력,고급유연공정레시피설정및실시간파라미터제어기술,통합슬러리공급및컨디셔닝시스템기술보유
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
Steag Electronic Systems의 유산을 계승한 견고한 기계적 설계, 높은 가용성 및 내구성 보장SteagElectronicSystems의유산을계승한견고한기계적설계,높은가용성및내구성보장
동일 부품의 다중 사용을 통한 유지보수 간소화 및 예비 부품 재고 감소동일부품의다중사용을통한유지보수간소화및예비부품재고감소
15년 이상의 CMP 및 툴 제어 경험을 바탕으로 한 맞춤형 설계 및 솔루션 제공 능력15년이상의CMP및툴제어경험을바탕으로한맞춤형설계및솔루션제공능력
Pcox 장비의 지능형 설계로 경쟁사와 차별화된 솔루션 제공, 신흥 기업 및 대형 연구소 스핀오프에 적합한 장비Pcox장비의지능형설계로경쟁사와차별화된솔루션제공,신흥기업및대형연구소스핀오프에적합한장비
Pcox 200s에서 개발된 공정을 Pcox 20x 생산 장비로 즉시 이전할 수 있는 능력, 장비 수명 연장 및 노후화 방지Pcox200s에서개발된공정을Pcox20x생산장비로즉시이전할수있는능력,장비수명연장및노후화방지
장비의 소형화, 사용 편의성, 견고성, 그리고 비용 효율성장비의소형화,사용편의성,견고성,그리고비용효율성
원격 지원 및 교육을 위한 인터넷 연결 기능원격지원및교육을위한인터넷연결기능
적용 산업적용산업
반도체 웨이퍼의 화학 기계적 평탄화(CMP) 공정반도체웨이퍼의화학기계적평탄화(CMP)공정
나노전자 소자(RRAM, SET, MIM) 제조를 위한 나노미터 접합부 평탄화나노전자소자(RRAM,SET,MIM)제조를위한나노미터접합부평탄화
금속 나노와이어 평탄화, Si3N4 및 SiO2 표면 거칠기 감소를 위한 연마금속나노와이어평탄화,Si3N4및SiO2표면거칠기감소를위한연마
금 미세 구조 평탄화, 연구 개발 및 신소재 개발 분야금미세구조평탄화,연구개발및신소재개발분야
프로토타이핑부터 소규모 생산 및 대량 생산까지 다양한 규모의 제조 요구 사항 충족프로토타이핑부터소규모생산및대량생산까지다양한규모의제조요구사항충족
주요 시장주요시장
한국 (Komachine을 통한 정보 제공)한국(Komachine을통한정보제공)
프랑스 (본사 소재)프랑스(본사소재)
캐나다 (셔브룩 대학교 납품 사례)캐나다(셔브룩대학교납품사례)
인증/특허인증/특허
코머신에서 'Certified Mark' 및 'Verified & Trusted Manufacturer'로 인증된 신뢰할 수 있는 기업코머신에서'CertifiedMark'및'Verified&TrustedManufacturer'로인증된신뢰할수있는기업
CMP 및 툴 제어 분야에서 15년 이상의 경험을 통한 기술 전문성 보유CMP및툴제어분야에서15년이상의경험을통한기술전문성보유
견고한 기계적 개념과 동일 부품의 다중 사용을 통한 높은 신뢰성 및 유지보수 용이성견고한기계적개념과동일부품의다중사용을통한높은신뢰성및유지보수용이성
ALPSITEC VISION 사업부를 통해 산업용 비전 분야에서 Cognex의 공식 독점 통합업체로서의 기술력 보유ALPSITECVISION사업부를통해산업용비전분야에서Cognex의공식독점통합업체로서의기술력보유