MFC Contorller, Convection Gauge & Controller, lon Gauge & Controller, Capacitance Manometer, Throttle Valve Controller
ATV1000-B Throttle Valve Blind
ATV1000-B(Blind) Type은 Valve안에 설치되어 Conductance를 조절하는 Plate를 창문에 치는 Blind 형태와 같이 만들어 Plate가 90도 Open 되더라도 다른 Valve 와 다르게 Throttle Valve 상, 하에 설치된 제품과 간섭이 되지 않아 Plate가 동작 할수 있는 공간을 위한 Adapter를 상, 하로 설치할 필요가 없어 전체적으로 진공장비의 부피와 가격을 절감하였고 또한 대형 Size Valve 도 공급할 수 있게 개발 하였다.
Specifications
Speed (open to close) | 1.5sec |
Resolution | 1/24000 |
Drive Method | Direct gear drive |
Maximum Valve Body Operating Temperature | Standard 0-100 Optional : 0-150 (Note 1) |
Valve Motor Ambient Operating Temperature | -20 to +40 |
Differential Pressure Across Valve | 1 atm. (15 psig) max. |
External Leakage at Shaft seal | 1x 10-8 sec He |
Materials Exposed to Process | Standard : 304 3.3 Viton (Note 2) Optional : 316 S.S Vition (Note 2) |
Compatible Controller | Model GPC3000 MKS TYPE 651, 1651 |
Drive Output Torque (with Model GPC3000 or MKS Type 651) |
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