기능성 카본소재 및 세라믹 부품 전문 기업으로, 반도체, LED, 태양광 산업의 핵심 소재 및 부품 공급. 고순도 흑연 제품의 국내 유일 일괄 생산 시스템 보유. CVD SiC 부품 분야에서 세계 시장을 선도하는 기술력 보유. 반도체 식각 공정용 SiC 링 제품의 독점적 지위 확보.기능성카본소재및세라믹부품전문기업으로,반도체,LED,태양광산업의핵심소재및부품공급.고순도흑연제품의국내유일일괄생산시스템보유.CVDSiC부품분야에서세계시장을선도하는기술력보유.반도체식각공정용SiC링제품의독점적지위확보.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
Graphite Components: 반도체 및 태양전지용 실리콘 잉곳 생산 Growing 장비용 고순도 흑연 부품, 핫존용 고순도 흑연 부재, 엣칭용 전극판류 제조 기술.GraphiteComponents:반도체및태양전지용실리콘잉곳생산Growing장비용고순도흑연부품,핫존용고순도흑연부재,엣칭용전극판류제조기술.
SiC/TaC Coated Components: 반도체 장비 세라믹 치구(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer), SiC 단결정 성장, Epi, UVLED 장비 부품, Si 단결정 성장 부품 제조 기술. 초고순도, 내플라즈마 특성 우수, 우수한 고온 안정성, 이방성, 내화학성 특징.SiC/TaCCoatedComponents:반도체장비세라믹치구(FocusRing,ShowerHead,DummyWafer),SiC단결정성장,Epi,UVLED장비부품,Si단결정성장부품제조기술.초고순도,내플라즈마특성우수,우수한고온안정성,이방성,내화학성특징.
CVD SiC Components: 반도체 Device 장비용 Solid SiC Wafer 및 Ring, LED Chip 생산용 Wafer Carrier 제조 기술. 화학기상증착(CVD) 방식을 통한 수 mm 두께의 고체 실리콘 카바이드(Solid SiC) 부품 생산 능력.CVDSiCComponents:반도체Device장비용SolidSiCWafer및Ring,LEDChip생산용WaferCarrier제조기술.화학기상증착(CVD)방식을통한수mm두께의고체실리콘카바이드(SolidSiC)부품생산능력.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
고순도 흑연 제품의 국내 유일 일괄 생산 시스템 구축 능력. 원자재부터 최종 제품까지 안정적인 공급망과 높은 생산 효율성 확보.고순도흑연제품의국내유일일괄생산시스템구축능력.원자재부터최종제품까지안정적인공급망과높은생산효율성확보.
반도체 식각 공정용 Solid SiC 링 제품의 세계 시장 점유율 90% 이상을 차지하는 독점적 지위. 시장 지배력과 기술적 우위.반도체식각공정용SolidSiC링제품의세계시장점유율90%이상을차지하는독점적지위.시장지배력과기술적우위.
일본 도카이카본의 강력한 기술 지원을 바탕으로 한 원천 기술력 확보. 지속적인 기술 혁신과 신제품 개발 역량.일본도카이카본의강력한기술지원을바탕으로한원천기술력확보.지속적인기술혁신과신제품개발역량.
반도체 공정 미세화 및 3D NAND 고단화에 따른 가혹한 환경에 대응하는 SiC 소재 부품 개발. 기존 Si 링 대체 수요에 대한 선제적 대응.반도체공정미세화및3DNAND고단화에따른가혹한환경에대응하는SiC소재부품개발.기존Si링대체수요에대한선제적대응.
반도체 소재 및 2차 전지용 음극재 등 신성장 동력 확보를 위한 활발한 연구 개발 투자. 미래 시장 변화에 대한 대응력.반도체소재및2차전지용음극재등신성장동력확보를위한활발한연구개발투자.미래시장변화에대한대응력.
SiC 링 제조 공정에 대한 특허 유효성 확보. 경쟁사 진입 장벽 구축 및 지적 재산권 보호.SiC링제조공정에대한특허유효성확보.경쟁사진입장벽구축및지적재산권보호.
적용 산업적용산업
반도체 산업: 식각 공정, Crystal Grower 장비, ALD 장비, Diffusion Chamber 등 반도체 제조 공정 전반에 걸친 핵심 부품 공급.반도체산업:식각공정,CrystalGrower장비,ALD장비,DiffusionChamber등반도체제조공정전반에걸친핵심부품공급.
LED 산업: MOCVD 장비, LED Chip 생산용 Wafer Carrier 등 LED 제조 공정 부품 공급.LED산업:MOCVD장비,LEDChip생산용WaferCarrier등LED제조공정부품공급.
태양광 산업: 태양전지용 실리콘 잉곳 생산 장비용 부품 공급.태양광산업:태양전지용실리콘잉곳생산장비용부품공급.
주요 시장주요시장
대한민국, 일본대한민국,일본
인증/특허인증/특허
ISO 9001:1994 품질경영시스템 인증 (1998년).ISO9001:1994품질경영시스템인증(1998년).
ISO 14001:2004 환경경영시스템 인증 (2006년).ISO14001:2004환경경영시스템인증(2006년).
InnoBiz (기술혁신형 중소기업) 인증 (2006년).InnoBiz(기술혁신형중소기업)인증(2006년).
SiC 링 제조 및 장치 관련 특허 유효성 확보.SiC링제조및장치관련특허유효성확보.
SiC 링 관련 특허 침해 소송 승소 및 합의 이력.SiC링관련특허침해소송승소및합의이력.
백만불 수출의 탑 (2005년), 3백만불 (2006년), 5백만불 (2008년), 2천만불 (2016년), 7천만불 (2018년), 1억불 수출의 탑 (2021년) 수상.백만불수출의탑(2005년),3백만불(2006년),5백만불(2008년),2천만불(2016년),7천만불(2018년),1억불수출의탑(2021년)수상.