SVCS Process Innovation, 체코 - 코머신 판매자 소개 및 제품 소개

- SVCS Process Innovation은 반도체 및 태양광 산업, 또는 관련 R&D 연구소를 위한 일괄 수평 및 수직 확산, PECVD 및 LPCVD 퍼니스의 설계 및 제조 전문 기업. 다양한 가스 캐비닛, 밸브 매니폴드 상자, 맞춤형 장비 가스 매니폴드 등 가스 소스 시스템 공급 능력. 모든 SVCS 장비의 핵심은 자체 설계 제어 시스템이며, 이는 타사 장비의 리퍼브에도 활용 가능한 기술력.SVCS Process Innovation은 반도체 및 태양광 산업, 또는 관련 R&D 연구소를 위한 일괄 수평 및 수직 확산, PECVD 및 LPCVD 퍼니스의 설계 및 제조 전문 기업. 다양한 가스 캐비닛, 밸브 매니폴드 상자, 맞춤형 장비 가스 매니폴드 등 가스 소스 시스템 공급 능력. 모든 SVCS 장비의 핵심은 자체 설계 제어 시스템이며, 이는 타사 장비의 리퍼브에도 활용 가능한 기술력.
- 수평 및 수직 퍼니스: 반도체 및 태양광 산업용 일괄 확산, PECVD, LPCVD 퍼니스 설계 및 제조. 풀 프로덕션 시스템(SVcFUR-FP, SVpFUR-FP, SVaFUR-FP)과 연구 및 파일럿 생산용(SVcFUR-RD, SVpFUR-RD, SVaFUR-RD) 소규모 버전 제공. LPCVD 공정으로는 질화규소, 저온 산화막(LTO), 고온 산화막(HTO), TEOS 산화막, 폴리실리콘, 도핑된 폴리실리콘, 옥시나이트라이드 공정 지원. PECVD 공정으로는 질화규소(반사 방지 SiN 태양 전지 코팅 포함), 산화규소, 옥시나이트라이드 공정 능력. 대기압 공정으로는 확산(드라이브인) 고온 공정, BBr3, POCL3 등 고체, 액체, 기체 도펀트 소스 도핑, 어닐링, 소결 등 다양한 열처리, 외부 연소 시스템을 이용한 습식 산화막, 건식 산화막, HiPOx(고압 산화막) 공정 제공.수평 및 수직 퍼니스: 반도체 및 태양광 산업용 일괄 확산, PECVD, LPCVD 퍼니스 설계 및 제조. 풀 프로덕션 시스템(SVcFUR-FP, SVpFUR-FP, SVaFUR-FP)과 연구 및 파일럿 생산용(SVcFUR-RD, SVpFUR-RD, SVaFUR-RD) 소규모 버전 제공. LPCVD 공정으로는 질화규소, 저온 산화막(LTO), 고온 산화막(HTO), TEOS 산화막, 폴리실리콘, 도핑된 폴리실리콘, 옥시나이트라이드 공정 지원. PECVD 공정으로는 질화규소(반사 방지 SiN 태양 전지 코팅 포함), 산화규소, 옥시나이트라이드 공정 능력. 대기압 공정으로는 확산(드라이브인) 고온 공정, BBr3, POCL3 등 고체, 액체, 기체 도펀트 소스 도핑, 어닐링, 소결 등 다양한 열처리, 외부 연소 시스템을 이용한 습식 산화막, 건식 산화막, HiPOx(고압 산화막) 공정 제공.
- 컴팩트 탁상형 퍼니스: 대학, R&D 연구소 및 파일럿 팹을 위한 반도체 등급 품질 장비. 뛰어난 유연성과 다양한 옵션 모듈을 통한 고객별 맞춤 요구 사항 충족 가능. 최대 1300°C의 1~3개 온도 영역 가열 요소, 최대 8개 가스 라인 및 2개 액체 소스 지원.컴팩트 탁상형 퍼니스: 대학, R&D 연구소 및 파일럿 팹을 위한 반도체 등급 품질 장비. 뛰어난 유연성과 다양한 옵션 모듈을 통한 고객별 맞춤 요구 사항 충족 가능. 최대 1300°C의 1~3개 온도 영역 가열 요소, 최대 8개 가스 라인 및 2개 액체 소스 지원.
- 단일 웨이퍼 반응기: ALD(Atomic Layer Deposition) 및 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 단일 웨이퍼 반응기 제공. 마이크로웨이브 서프라트론 및 EWCR 방전을 기반으로 한 저온 플라즈마 소스를 활용한 플라즈마 활성화 ALD 증착 시스템 연구 개발 활동.단일 웨이퍼 반응기: ALD(Atomic Layer Deposition) 및 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 단일 웨이퍼 반응기 제공. 마이크로웨이브 서프라트론 및 EWCR 방전을 기반으로 한 저온 플라즈마 소스를 활용한 플라즈마 활성화 ALD 증착 시스템 연구 개발 활동.
- 가스 공급 시스템: 가스 캐비닛, 밸브 매니폴드 박스(VMBs), 맞춤형 장비 가스 매니폴드 등 다양한 UHP(Ultra High Purity) 가스 소스 시스템 제공. 1, 2, 3개 실린더 구성의 가스 캐비닛, 자동 전환 및 퍼지 기능 포함. 여러 장비에 가스를 공급하는 VMBs, 벌크 특수 가스 시스템(BSGS), 다양한 웨이퍼 생산 장비용 가스 시스템, 맞춤형 R&D 패널 제조 전문성.가스 공급 시스템: 가스 캐비닛, 밸브 매니폴드 박스(VMBs), 맞춤형 장비 가스 매니폴드 등 다양한 UHP(Ultra High Purity) 가스 소스 시스템 제공. 1, 2, 3개 실린더 구성의 가스 캐비닛, 자동 전환 및 퍼지 기능 포함. 여러 장비에 가스를 공급하는 VMBs, 벌크 특수 가스 시스템(BSGS), 다양한 웨이퍼 생산 장비용 가스 시스템, 맞춤형 R&D 패널 제조 전문성.
- SV-Con 제어 시스템: 모든 SVCS 장비의 핵심인 자체 설계 제어 시스템. 타사 장비의 개조 및 현대화에도 사용되는 기술. 최첨단 모듈식 제어 시스템, 맞춤형 및 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스, 독립적인 하드웨어 안전 인터록 기능 포함.SV-Con 제어 시스템: 모든 SVCS 장비의 핵심인 자체 설계 제어 시스템. 타사 장비의 개조 및 현대화에도 사용되는 기술. 최첨단 모듈식 제어 시스템, 맞춤형 및 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스, 독립적인 하드웨어 안전 인터록 기능 포함.
- 장비 현대화 및 개조 서비스: 고온 반응기뿐만 아니라 에피택시, 건식 식각, 이온 주입, 다양한 물리적 및 화학적 기상 증착 공정을 위한 타사 장비의 개조 및 현대화 서비스 제공.장비 현대화 및 개조 서비스: 고온 반응기뿐만 아니라 에피택시, 건식 식각, 이온 주입, 다양한 물리적 및 화학적 기상 증착 공정을 위한 타사 장비의 개조 및 현대화 서비스 제공.
- 기타 시스템 구성 요소: 파이로제닉 산화 공정용 EBS(External Burn System) 및 버블러 제공.기타 시스템 구성 요소: 파이로제닉 산화 공정용 EBS(External Burn System) 및 버블러 제공.
- 독자적인 제어 시스템 기술력: 자체 설계 및 제조된 SV-Con 제어 시스템은 신규 및 개조 장비 모두에 적용 가능한 유연성. 맞춤형 사용자 인터페이스와 독립적인 안전 기능을 통한 높은 제어 정밀도 및 안정성 확보.독자적인 제어 시스템 기술력: 자체 설계 및 제조된 SV-Con 제어 시스템은 신규 및 개조 장비 모두에 적용 가능한 유연성. 맞춤형 사용자 인터페이스와 독립적인 안전 기능을 통한 높은 제어 정밀도 및 안정성 확보.
- 광범위한 제품 포트폴리오: 수평/수직 퍼니스(확산, PECVD, LPCVD), 컴팩트 탁상형 퍼니스, 단일 웨이퍼 반응기, 그리고 포괄적인 UHP 가스 공급 시스템을 아우르는 다양한 제품군. 반도체 및 태양광 산업의 다양한 요구 사항에 대한 토탈 솔루션 제공 능력.광범위한 제품 포트폴리오: 수평/수직 퍼니스(확산, PECVD, LPCVD), 컴팩트 탁상형 퍼니스, 단일 웨이퍼 반응기, 그리고 포괄적인 UHP 가스 공급 시스템을 아우르는 다양한 제품군. 반도체 및 태양광 산업의 다양한 요구 사항에 대한 토탈 솔루션 제공 능력.
- 반도체 산업의 오랜 경험과 유산: 구 체코슬로바키아 반도체 산업의 오랜 역사와 전통에 기반한 풍부한 경험. 25년 이상 차세대 장비 및 공정 혁신 개발에 매진한 전문성.반도체 산업의 오랜 경험과 유산: 구 체코슬로바키아 반도체 산업의 오랜 역사와 전통에 기반한 풍부한 경험. 25년 이상 차세대 장비 및 공정 혁신 개발에 매진한 전문성.
- 높은 공정 유연성 및 효율성: 고효율, 최소화된 설치 공간, 낮은 총 소유 비용을 제공하는 장비 설계. 높은 공정 균일성, 대규모 생산 능력, 유지보수 감소를 통한 생산성 향상 기여.높은 공정 유연성 및 효율성: 고효율, 최소화된 설치 공간, 낮은 총 소유 비용을 제공하는 장비 설계. 높은 공정 균일성, 대규모 생산 능력, 유지보수 감소를 통한 생산성 향상 기여.
- 글로벌 시장 진출 및 지원 네트워크: 체코 본사를 기반으로 중국, 대만, 러시아, 일본, 인도, 한국, 말레이시아, 베트남, 터키, 이집트 및 기타 유럽 국가, 미국, 호주 등 전 세계에 설치 기반 및 유통망 구축. 현지 사무소 및 유통업체를 통한 고객 지원 및 기술 서비스 센터 운영.글로벌 시장 진출 및 지원 네트워크: 체코 본사를 기반으로 중국, 대만, 러시아, 일본, 인도, 한국, 말레이시아, 베트남, 터키, 이집트 및 기타 유럽 국가, 미국, 호주 등 전 세계에 설치 기반 및 유통망 구축. 현지 사무소 및 유통업체를 통한 고객 지원 및 기술 서비스 센터 운영.
- R&D 협력 및 혁신 추구: 선도적인 R&D 연구소, 대학 및 과학 기관과의 협력을 통한 신제품 및 솔루션 개발 노력. 마이크로웨이브 플라즈마 기반 ALD 증착 시스템 등 첨단 기술 연구 활동.R&D 협력 및 혁신 추구: 선도적인 R&D 연구소, 대학 및 과학 기관과의 협력을 통한 신제품 및 솔루션 개발 노력. 마이크로웨이브 플라즈마 기반 ALD 증착 시스템 등 첨단 기술 연구 활동.
- UHP 가스 시스템 전문성: 수년간의 맞춤형 가스 패널 및 가스 시스템 제조 경험. 세계 최고 수준의 부품, 완전 자동 제어 시스템, 독립적인 안전 기능을 갖춘 고품질 UHP 가스 공급 시스템 제공. Class 10/100 클린룸에서 궤도 용접된 가스 패널 제조 및 100% 헬륨 누출 테스트를 통한 최고 수준의 청정성 및 신뢰성 확보.UHP 가스 시스템 전문성: 수년간의 맞춤형 가스 패널 및 가스 시스템 제조 경험. 세계 최고 수준의 부품, 완전 자동 제어 시스템, 독립적인 안전 기능을 갖춘 고품질 UHP 가스 공급 시스템 제공. Class 10/100 클린룸에서 궤도 용접된 가스 패널 제조 및 100% 헬륨 누출 테스트를 통한 최고 수준의 청정성 및 신뢰성 확보.
- 반도체 산업: 수평 및 수직 확산, PECVD, LPCVD 퍼니스, ALD/MOCVD 단일 웨이퍼 반응기 등 프론트엔드 반도체 장비 공급. 웨이퍼 생산 팹, MEMS 제조 등 대규모 생산 환경 지원.반도체 산업: 수평 및 수직 확산, PECVD, LPCVD 퍼니스, ALD/MOCVD 단일 웨이퍼 반응기 등 프론트엔드 반도체 장비 공급. 웨이퍼 생산 팹, MEMS 제조 등 대규모 생산 환경 지원.
- 태양광 산업: 태양 전지 생산을 위한 수평 배치 확산 퍼니스, PECVD/LPCVD 퍼니스, UHP 가스 및 액체 공급 시스템 제공.태양광 산업: 태양 전지 생산을 위한 수평 배치 확산 퍼니스, PECVD/LPCVD 퍼니스, UHP 가스 및 액체 공급 시스템 제공.
- R&D 및 교육 기관: 대학, R&D 연구소, 파일럿 팹, 과학 기관을 위한 소규모 버전 퍼니스 및 컴팩트 탁상형 퍼니스 공급. 맞춤형 R&D 패널 및 가스 시스템 제공.R&D 및 교육 기관: 대학, R&D 연구소, 파일럿 팹, 과학 기관을 위한 소규모 버전 퍼니스 및 컴팩트 탁상형 퍼니스 공급. 맞춤형 R&D 패널 및 가스 시스템 제공.
- 관련 연구소 및 개발 센터: 반도체 및 태양광 관련 R&D 연구소에 장비 및 솔루션 제공.관련 연구소 및 개발 센터: 반도체 및 태양광 관련 R&D 연구소에 장비 및 솔루션 제공.
- 이집트이집트
- 중국, 대만, 러시아, 일본, 인도, 한국, 말레이시아, 베트남, 싱가포르, 홍콩중국, 대만, 러시아, 일본, 인도, 한국, 말레이시아, 베트남, 싱가포르, 홍콩
- 체코 (국내 시장), 프랑스, 리투아니아, 폴란드, 슬로바키아, 터키, 기타 유럽 국가체코 (국내 시장), 프랑스, 리투아니아, 폴란드, 슬로바키아, 터키, 기타 유럽 국가
- 미국미국
- 호주호주
- 2009년 DHL & HSBC 중소기업 부문 최고 수출 기업상 수상 (체코 산업통상부 지원).2009년 DHL & HSBC 중소기업 부문 최고 수출 기업상 수상 (체코 산업통상부 지원).
- 높은 공정 균일성, 대규모 생산 능력, 유지보수 감소, 맞춤형 사용자 인터페이스를 갖춘 최첨단 제어 시스템 기술력.높은 공정 균일성, 대규모 생산 능력, 유지보수 감소, 맞춤형 사용자 인터페이스를 갖춘 최첨단 제어 시스템 기술력.
- Class 10/100 클린룸에서 제조 및 조립된 궤도 용접 가스 패널, 100% 헬륨 누출 테스트 및 기능 테스트를 통한 높은 품질 기준 준수.Class 10/100 클린룸에서 제조 및 조립된 궤도 용접 가스 패널, 100% 헬륨 누출 테스트 및 기능 테스트를 통한 높은 품질 기준 준수.
- 튜브, 피팅, 밸브, 압력 조절기 등 UHP 부품에 금속 페이스 또는 버트 용접 연결, Ra max 10 µinch 이하의 표면 거칠기 표준 적용.튜브, 피팅, 밸브, 압력 조절기 등 UHP 부품에 금속 페이스 또는 버트 용접 연결, Ra max 10 µinch 이하의 표면 거칠기 표준 적용.