진공 기술을 기반으로 반도체, 디스플레이, LED, MEMS 산업에 필요한 코팅 및 식각 장비를 전문적으로 생산하는 기업진공기술을기반으로반도체,디스플레이,LED,MEMS산업에필요한코팅및식각장비를전문적으로생산하는기업
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
반도체 및 디스플레이 제조용 코팅 및 식각 장비 전문 기업반도체및디스플레이제조용코팅및식각장비전문기업
주요 제품군으로 ICP-RIE PSS Etcher for HBLED (모델: SIE 2031), ICP Etcher (모델: SIE 601), RIE Etcher (모델: SRE 601) 등 식각 장비 보유주요제품군으로ICP-RIEPSSEtcherforHBLED(모델:SIE2031),ICPEtcher(모델:SIE601),RIEEtcher(모델:SRE601)등식각장비보유
클러스터 스퍼터(Cluster Sputter with Multi Target Chamber, 모델: SCS 110, SSLS 120, SSLS 130, SVIS G8, SHTR W900) 및 다목적 직접 스퍼터링 시스템 (Multi Purpose 1:1 Direct Sputtering System with Multi Target, Vertical Inline Sputtering System) 등 스퍼터링 시스템 제공클러스터스퍼터(ClusterSputterwithMultiTargetChamber,모델:SCS110,SSLS120,SSLS130,SVISG8,SHTRW900)및다목적직접스퍼터링시스템(MultiPurpose1:1DirectSputteringSystemwithMultiTarget,VerticalInlineSputteringSystem)등스퍼터링시스템제공
박막 증착용 증착 장비 (Evaporation System for Thin film deposition, 모델: SE 805, SE 805G) 및 E-Beam & High Performance Ion Gun Combination 기술 적용박막증착용증착장비(EvaporationSystemforThinfilmdeposition,모델:SE805,SE805G)및E-Beam&HighPerformanceIonGunCombination기술적용
SiOx/SiNx/a-Si/DLC용 PECVD 시스템 (모델: SPC 601, SPC 603, SVS Series) 및 마이크로웨이브 애셔 (Microwave Asher, 모델: SMA 601) 등 다양한 증착 및 처리 장비 생산SiOx/SiNx/a-Si/DLC용PECVD시스템(모델:SPC601,SPC603,SVSSeries)및마이크로웨이브애셔(MicrowaveAsher,모델:SMA601)등다양한증착및처리장비생산
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
진공 기술을 핵심 기반으로 하는 반도체 및 디스플레이 장비 제조 전문성진공기술을핵심기반으로하는반도체및디스플레이장비제조전문성
반도체, 디스플레이, LED, MEMS 등 다양한 첨단 산업 분야에 특화된 코팅 및 식각 장비 생산 능력반도체,디스플레이,LED,MEMS등다양한첨단산업분야에특화된코팅및식각장비생산능력
국내 유수의 반도체 업체 및 연구기관에 안정적인 장비 공급 이력국내유수의반도체업체및연구기관에안정적인장비공급이력
끊임없는 연구개발과 독자적인 기술 개발을 통한 지속적인 성장 추구끊임없는연구개발과독자적인기술개발을통한지속적인성장추구
고객의 다양한 요구에 부응하는 맞춤형 제품 개발에 집중하는 고객 중심의 사업 전략고객의다양한요구에부응하는맞춤형제품개발에집중하는고객중심의사업전략
디바이스 고속화 및 미세화 가속에 필요한 고 지향성 스퍼터 기술력 확보디바이스고속화및미세화가속에필요한고지향성스퍼터기술력확보
적용 산업적용산업
반도체 산업반도체산업
디스플레이 산업 (LCD, PDP, OLED 포함)디스플레이산업(LCD,PDP,OLED포함)