SEMILAB은 반도체, 태양광, 디스플레이 산업을 위한 최첨단 계측 솔루션을 제공하는 글로벌 기업으로, 인라인 및 R&D 부문 모두에 걸쳐 다양한 측정 장비를 공급하는 전문 기업. 웨이퍼 제조업체, More-than-Moore 시장의 IC 장치 제조업체, 그리고 태양광 및 디스플레이 산업의 전략적 계측 공급업체로서 전 세계적으로 활동 중인 기업. 혁신적인 연구, 측정 개발, 제품 설계 및 제조부터 구현, 통합 및 유지 관리에 이르기까지 제품 혁신의 전체 R&D 라이프사이클을 포괄하는 역량 보유. 45개 이상의 제품군과 300개 이상의 고유한 제품을 통해 광학 및 전기 측정 기술, 박막 애플리케이션, 자동화 개발 기반의 다양한 솔루션 제공.SEMILAB은반도체,태양광,디스플레이산업을위한최첨단계측솔루션을제공하는글로벌기업으로,인라인및R&D부문모두에걸쳐다양한측정장비를공급하는전문기업.웨이퍼제조업체,More-than-Moore시장의IC장치제조업체,그리고태양광및디스플레이산업의전략적계측공급업체로서전세계적으로활동중인기업.혁신적인연구,측정개발,제품설계및제조부터구현,통합및유지관리에이르기까지제품혁신의전체R&D라이프사이클을포괄하는역량보유.45개이상의제품군과300개이상의고유한제품을통해광학및전기측정기술,박막애플리케이션,자동화개발기반의다양한솔루션제공.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
웨이퍼 형상 모니터링 시스템 (WG-2201, WG-2202, WG-2500): 반도체 기판 제조에서 정밀한 치수 분석을 지원하는 솔루션으로, 정전 용량 감지 기술을 활용한 비접촉 측정 방식. 이 시스템은 두께, 휨/뒤틀림, 총 두께 변화(TTV) 및 평탄도 측정을 제공하며, 비접촉 저항 측정 및 박막 응력 특성화 기능도 포함.웨이퍼형상모니터링시스템(WG-2201,WG-2202,WG-2500):반도체기판제조에서정밀한치수분석을지원하는솔루션으로,정전용량감지기술을활용한비접촉측정방식.이시스템은두께,휨/뒤틀림,총두께변화(TTV)및평탄도측정을제공하며,비접촉저항측정및박막응력특성화기능도포함.
분광 타원계 (Spectroscopic Ellipsometer): 박막 두께 및 광학적 특성을 빠르고 정확하게 측정하는 핵심 기술로, 디스플레이 산업의 공정 제어 파라미터 결정에 필수적인 장비. 특히 TOPCon 구조 측정에 적합하며, 100nm 폴리실리콘 및 1.5nm 산화막 분리 후 측정 가능.분광타원계(SpectroscopicEllipsometer):박막두께및광학적특성을빠르고정확하게측정하는핵심기술로,디스플레이산업의공정제어파라미터결정에필수적인장비.특히TOPCon구조측정에적합하며,100nm폴리실리콘및1.5nm산화막분리후측정가능.
마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션: 반도체 제조 공정의 다양한 단계에서 결함 및 불규칙성을 감지하여 최고 수준의 품질과 수율을 보장하는 기술. 광학 및 레이저 스캐닝과 같은 최첨단 기술을 활용하여 정밀하고 정확한 분석 능력 보유.마스크및웨이퍼검사솔루션:반도체제조공정의다양한단계에서결함및불규칙성을감지하여최고수준의품질과수율을보장하는기술.광학및레이저스캐닝과같은최첨단기술을활용하여정밀하고정확한분석능력보유.
비파괴 전기적 측정 기술 (Non-contact Electrical Metrology): 반도체 소자의 중요한 전기적 특성을 손상 없이 측정하는 선도적인 기술. IC MOS short-loop를 대체하여 비용과 시간을 절약하며, Capacitance-Voltage(C-V) 및 Current-Voltage(I-V) 방법을 통해 유전체 커패시턴스, 전하, 누설 및 항복을 측정하는 솔루션.비파괴전기적측정기술(Non-contactElectricalMetrology):반도체소자의중요한전기적특성을손상없이측정하는선도적인기술.ICMOSshort-loop를대체하여비용과시간을절약하며,Capacitance-Voltage(C-V)및Current-Voltage(I-V)방법을통해유전체커패시턴스,전하,누설및항복을측정하는솔루션.
스캐닝 프로브 현미경 (Scanning Probe Microscopy, AFM): 실리콘 카바이드 웨이퍼의 표면 거칠기 측정 및 결함, 오염 검사에 사용되는 비접촉, 비파괴 계측 솔루션. 나노미터 범위의 웨이퍼 표면 품질 관리에 필수적인 고정밀 토폴로지, 전기적 및 기계적 정보 획득 능력.스캐닝프로브현미경(ScanningProbeMicroscopy,AFM):실리콘카바이드웨이퍼의표면거칠기측정및결함,오염검사에사용되는비접촉,비파괴계측솔루션.나노미터범위의웨이퍼표면품질관리에필수적인고정밀토폴로지,전기적및기계적정보획득능력.
평판 디스플레이 테스터 (Flat Panel Tester): 평판 디스플레이 생산 모니터링을 위한 전용 제품 라인으로, 제조 과정 중 대형 기판의 광학적 및 전기적 특성을 평가하는 고급 측정 기능. LTPS(저온 폴리실리콘) 층의 엑시머 레이저 어닐링(ELA) 공정으로 인한 결함 및 불균일성을 식별하는 Line Mura 및 µ-PCR 기술 포함.평판디스플레이테스터(FlatPanelTester):평판디스플레이생산모니터링을위한전용제품라인으로,제조과정중대형기판의광학적및전기적특성을평가하는고급측정기능.LTPS(저온폴리실리콘)층의엑시머레이저어닐링(ELA)공정으로인한결함및불균일성을식별하는LineMura및µ-PCR기술포함.
태양광 산업용 인라인 공정 제어 측정 장치: 결정질 실리콘 태양 전지 제조 공정을 제어하기 위한 핸드헬드 프로브, 웨이퍼 분류기, 인라인 광발광 이미징, 면 저항 측정, 반사 방지 코팅 품질 제어 모듈 등 다양한 솔루션.태양광산업용인라인공정제어측정장치:결정질실리콘태양전지제조공정을제어하기위한핸드헬드프로브,웨이퍼분류기,인라인광발광이미징,면저항측정,반사방지코팅품질제어모듈등다양한솔루션.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
광범위한 기술 포트폴리오: 45개 이상의 제품군과 300개 이상의 고유한 제품을 통해 광학 및 전기 측정 기술, 박막 애플리케이션, 자동화 개발 기반의 다양한 계측 솔루션 제공. 핸드헬드 장치부터 완전 자동화된 생산 제어 시스템까지 다양한 플랫폼 제공 능력.광범위한기술포트폴리오:45개이상의제품군과300개이상의고유한제품을통해광학및전기측정기술,박막애플리케이션,자동화개발기반의다양한계측솔루션제공.핸드헬드장치부터완전자동화된생산제어시스템까지다양한플랫폼제공능력.
강력한 R&D 역량 및 학술적 배경: 1989년 헝가리 과학 아카데미 연구소의 스핀오프 기업으로 설립된 이래 35년 이상의 경험과 200명 이상의 물리학자, 450명 이상의 엔지니어, 70명 이상의 소프트웨어 개발자 등 1,300명 이상의 글로벌 인력 보유. IBM 및 Applied Materials로부터 이온 주입 모니터링 기술 라이선스 획득, Basler로부터 태양 전지 검사 방법 인수 등 지속적인 기술 통합 및 확장.강력한R&D역량및학술적배경:1989년헝가리과학아카데미연구소의스핀오프기업으로설립된이래35년이상의경험과200명이상의물리학자,450명이상의엔지니어,70명이상의소프트웨어개발자등1,300명이상의글로벌인력보유.IBM및AppliedMaterials로부터이온주입모니터링기술라이선스획득,Basler로부터태양전지검사방법인수등지속적인기술통합및확장.
비접촉 및 비파괴 측정 기술: 대부분의 측정 기술이 비접촉 및 비파괴 방식으로, 제품 손상 없이 반도체, 평판 디스플레이, 태양 전지 등의 재료 및 공정 특성화를 위한 정밀한 데이터를 제공하는 능력. 이는 생산 비용 절감 및 생산성 향상에 기여.비접촉및비파괴측정기술:대부분의측정기술이비접촉및비파괴방식으로,제품손상없이반도체,평판디스플레이,태양전지등의재료및공정특성화를위한정밀한데이터를제공하는능력.이는생산비용절감및생산성향상에기여.
글로벌 시장 입지 및 서비스 네트워크: 헝가리 부다페스트에 본사를 두며, 미국, 독일, 중국에 R&D 및 제품 센터를 운영. 미국, 일본, 한국, 중국, 대만, 싱가포르 등 주요 시장에 직접 판매 및 서비스 사무소를 운영하며 전 세계 고객 지원 능력.글로벌시장입지및서비스네트워크:헝가리부다페스트에본사를두며,미국,독일,중국에R&D및제품센터를운영.미국,일본,한국,중국,대만,싱가포르등주요시장에직접판매및서비스사무소를운영하며전세계고객지원능력.
산업별 맞춤형 솔루션 제공: 반도체, 태양광, 디스플레이 산업의 특정 요구 사항에 맞춰 인라인 공정 제어 및 R&D 목적의 맞춤형 계측 솔루션을 제공하는 유연성. 특히 태양광 시장에서 실리콘 기반 태양 전지 제조 공정의 프론트엔드 전기적 특성화 분야에서 시장 선도적 위치.산업별맞춤형솔루션제공:반도체,태양광,디스플레이산업의특정요구사항에맞춰인라인공정제어및R&D목적의맞춤형계측솔루션을제공하는유연성.특히태양광시장에서실리콘기반태양전지제조공정의프론트엔드전기적특성화분야에서시장선도적위치.
지속적인 기술 혁신 및 인수 합병: DLTS, 캐리어 수명 매퍼를 시작으로 전기 및 광학 측정 기술 포트폴리오를 확장. 덴마크 DME, Fischer-Cripps Laboratories, SemiMap, Advanced Metrology Systems (AMS), Semiconductor Diagnostics Inc. (SDI) 등 다양한 기업 인수를 통해 AFM, 나노인덴테이션, 저항 매핑, 3D 구조 특성화, 표면 음파 측정, SPV 측정 등 핵심 계측 솔루션 통합.지속적인기술혁신및인수합병:DLTS,캐리어수명매퍼를시작으로전기및광학측정기술포트폴리오를확장.덴마크DME,Fischer-CrippsLaboratories,SemiMap,AdvancedMetrologySystems(AMS),SemiconductorDiagnosticsInc.(SDI)등다양한기업인수를통해AFM,나노인덴테이션,저항매핑,3D구조특성화,표면음파측정,SPV측정등핵심계측솔루션통합.
적용 산업적용산업
반도체 산업: 웨이퍼 제조업체, IC 장치 제조업체, More-than-Moore 시장 부문의 반도체 장치 제조업체를 위한 인라인 및 R&D 계측 솔루션.반도체산업:웨이퍼제조업체,IC장치제조업체,More-than-Moore시장부문의반도체장치제조업체를위한인라인및R&D계측솔루션.
태양광 산업: 결정질 실리콘 태양 전지 제조 공정의 프론트엔드 전기적 특성화 및 인라인 공정 제어를 위한 계측 장비 공급.태양광산업:결정질실리콘태양전지제조공정의프론트엔드전기적특성화및인라인공정제어를위한계측장비공급.
디스플레이 산업: 평판 디스플레이 생산 모니터링, R&D 및 오프라인 품질 관리를 위한 광학적 및 전기적 특성 측정 솔루션.디스플레이산업:평판디스플레이생산모니터링,R&D및오프라인품질관리를위한광학적및전기적특성측정솔루션.
재료 과학 및 생명 과학: 나노기술부터 생체 의학 응용 분야에 이르기까지 R&D를 위한 고정밀 특성화 도구 제공.재료과학및생명과학:나노기술부터생체의학응용분야에이르기까지R&D를위한고정밀특성화도구제공.
연구 개발 (R&D): 반도체, 태양광, 평판 디스플레이 산업, 박막 연구 및 재료 과학 분야의 맞춤형 R&D 솔루션 및 실험실 도구 제공.연구개발(R&D):반도체,태양광,평판디스플레이산업,박막연구및재료과학분야의맞춤형R&D솔루션및실험실도구제공.
주요 시장주요시장
대한민국, 일본, 중국, 대만, 싱가포르대한민국,일본,중국,대만,싱가포르
헝가리 (본사), 독일헝가리(본사),독일
미국미국
인증/특허인증/특허
ISO 9001:2015 인증: 반도체 및 태양광 산업에 사용되는 재료 및 공정 특성화 계측 장비의 개발, 제조 및 판매, 소프트웨어 개발 및 테스트에 대한 품질 경영 시스템 인증.ISO9001:2015인증:반도체및태양광산업에사용되는재료및공정특성화계측장비의개발,제조및판매,소프트웨어개발및테스트에대한품질경영시스템인증.
400개 이상의 특허 보유: 재료 과학 분야에서 400개 이상의 자체 특허를 보유하며, 310개 이상의 과학 저널 출판물을 통해 기술력을 입증.400개이상의특허보유:재료과학분야에서400개이상의자체특허를보유하며,310개이상의과학저널출판물을통해기술력을입증.