반도체 웨이퍼 칩의 정상 작동 여부를 검사하는 웨이퍼 프로버를 국내 기술로 개발 및 생산하는 반도체 장비 전문 기업. AI, HPC, HBM 테스트 솔루션 제공 기업. 글로벌 시장 3위 점유율을 바탕으로 글로벌 1위 도약을 목표로 하는 기업. 혁신적인 기술과 도전적인 결과로 만들어진 최고의 제품을 통해 고객 및 사업 관계자에게 깊은 신뢰와 높은 이익을 제공하는 기업. EDS 환경에서 발생하는 기술적, 운영적 문제 해결에 기여하는 기업.반도체웨이퍼칩의정상작동여부를검사하는웨이퍼프로버를국내기술로개발및생산하는반도체장비전문기업.AI,HPC,HBM테스트솔루션제공기업.글로벌시장3위점유율을바탕으로글로벌1위도약을목표로하는기업.혁신적인기술과도전적인결과로만들어진최고의제품을통해고객및사업관계자에게깊은신뢰와높은이익을제공하는기업.EDS환경에서발생하는기술적,운영적문제해결에기여하는기업.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
웨이퍼 프로버 (Wafer Prober): 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 핵심 장비.웨이퍼프로버(WaferProber):반도체웨이퍼의전기적특성을검사하는핵심장비.
OPUS3 시리즈: 단일 웨이퍼 프로버로 누적 판매 3,000대 이상을 기록한 주력 제품. 고정밀도, 사용자 친화적, 쉬운 유지보수, 유연성에 중점을 둔 제품. Change kit 없이 6인치, 8인치, 12인치 SEMI Standard Wafer 핸들링 및 Universal probe card 로드 기능 제공. 최적의 EDS 공정 솔루션 제공과 ERS의 첨단 써말 척을 옵션으로 제공하는 협력 관계 구축.OPUS3시리즈:단일웨이퍼프로버로누적판매3,000대이상을기록한주력제품.고정밀도,사용자친화적,쉬운유지보수,유연성에중점을둔제품.Changekit없이6인치,8인치,12인치SEMIStandardWafer핸들링및Universalprobecard로드기능제공.최적의EDS공정솔루션제공과ERS의첨단써말척을옵션으로제공하는협력관계구축.
OPUS3 SE: 6인치 및 8인치 웨이퍼 핸들링에 특화된 모델. 컴팩트한 설치 공간, 안정적인 온도 제어, 견고한 Z 구조, 맵 시프트 방지, 실시간 레시피 검증, 지능형 핀 정렬 알고리즘, 스마트 프로빙 경로 알고리즘을 특징으로 하는 제품. 최대 프로빙 포스 230kgf, XY 정확도 ±1.5㎛, Tri-Temp (-40℃/-55℃ ~ 150℃/200℃, AMBIENT CONTROL 25℃) 사양의 제품.OPUS3SE:6인치및8인치웨이퍼핸들링에특화된모델.컴팩트한설치공간,안정적인온도제어,견고한Z구조,맵시프트방지,실시간레시피검증,지능형핀정렬알고리즘,스마트프로빙경로알고리즘을특징으로하는제품.최대프로빙포스230kgf,XY정확도±1.5㎛,Tri-Temp(-40℃/-55℃~150℃/200℃,AMBIENTCONTROL25℃)사양의제품.
OPUS3 FD (Framed Wafer Prober): Standard 및 Frame 웨이퍼 모두 핸들링이 가능한 프로버. 전환 키트를 통한 편리한 변환 기능과 다양한 특수 웨이퍼를 위한 고급 정렬 알고리즘을 탑재한 제품. 높은 정확도와 빠른 처리량을 제공하는 제품. OPUS3 FD8 (2012년 개발) 및 OPUS3 FD12 (2013년 개발) 모델 보유.OPUS3FD(FramedWaferProber):Standard및Frame웨이퍼모두핸들링이가능한프로버.전환키트를통한편리한변환기능과다양한특수웨이퍼를위한고급정렬알고리즘을탑재한제품.높은정확도와빠른처리량을제공하는제품.OPUS3FD8(2012년개발)및OPUS3FD12(2013년개발)모델보유.
OPUS3 SD: 6인치, 8인치, 12인치 웨이퍼 핸들링 능력과 top loader를 통한 자동화 공정 적합성을 갖춘 제품.OPUS3SD:6인치,8인치,12인치웨이퍼핸들링능력과toploader를통한자동화공정적합성을갖춘제품.
OPERA (그룹 프로버): 웨이퍼 프로버를 적층하는 방식을 채택하여 경쟁사와 차별화된 컨셉과 성능을 제공하는 제품. 12개의 셀을 통해 동시에 다중 검사가 가능하며 최대의 공간 효율과 검사 성능을 자랑하는 장비. 고강도 설계를 기반으로 장비를 수직 적층한 '아파트형 그룹 프로버' 구조를 구현. 다수의 테스트 유닛 병렬 운영 시스템과 Flying PMI 기반 AI 비전 알고리즘을 결합하여 경쟁사 대비 최대 4배 수준의 처리량을 달성하는 제품. 2018년 월드 클래스 300 국책 사업을 통해 탄생한 제품. OPERA D는 고난도 HPC 반도체 테스트 시장을 공략하는 모델.OPERA(그룹프로버):웨이퍼프로버를적층하는방식을채택하여경쟁사와차별화된컨셉과성능을제공하는제품.12개의셀을통해동시에다중검사가가능하며최대의공간효율과검사성능을자랑하는장비.고강도설계를기반으로장비를수직적층한'아파트형그룹프로버'구조를구현.다수의테스트유닛병렬운영시스템과FlyingPMI기반AI비전알고리즘을결합하여경쟁사대비최대4배수준의처리량을달성하는제품.2018년월드클래스300국책사업을통해탄생한제품.OPERAD는고난도HPC반도체테스트시장을공략하는모델.
OPERETTA 및 PUPPY: 2019년 개발된 모델로, PUPPY는 차세대 프로버 개발 프로젝트의 일환.OPERETTA및PUPPY:2019년개발된모델로,PUPPY는차세대프로버개발프로젝트의일환.
OPUS MINI&GENIE: 첨단 기술을 구사한 세계에서 가장 작은 웨이퍼 프로버. auto tilting & active force measurement chuck, 웨이퍼 사이즈에 따른 유연한 loader change와 같은 기능을 제공하는 제품.OPUSMINI&GENIE:첨단기술을구사한세계에서가장작은웨이퍼프로버.autotilting&activeforcemeasurementchuck,웨이퍼사이즈에따른유연한loaderchange와같은기능을제공하는제품.
Manipulator: 반도체 장비 관련 제품군.Manipulator:반도체장비관련제품군.
Sorter: 반도체 장비 관련 제품군.Sorter:반도체장비관련제품군.
보유 기술: 평평한 구조, 리니어 스테이지 및 리니어 구동형 모터 XY 스테이지 최초 도입, 카드 체인저 적용 등 차별화된 웨이퍼 프로버 설계 기술. 고강성·고정밀·초고속 스테이지 제작 기술, 고정밀 머신비전 기술, 고정밀 광학부품 기술, 저온 척(chuck) 및 체임버(chamber) 제조 기술, 정밀 오차 보정 기술 보유. 대기 시간 대폭 감소 및 생산성 향상 기술. 세계 유일의 '척 틸팅(Chuck Tilting)' 기술로 프로브 카드 수명 연장 및 검사 정확도 향상. 고성능 반도체 발열 제어 기술로 테스트 안정성 확보 및 공정 효율 개선. AI 비전 기반 플라잉 프로브 마크 검사(PMI) 알고리즘 적용. 차세대 틸팅 가능 프로버 개발을 위한 'hexa pod' 기술 특허출원 상태.보유기술:평평한구조,리니어스테이지및리니어구동형모터XY스테이지최초도입,카드체인저적용등차별화된웨이퍼프로버설계기술.고강성·고정밀·초고속스테이지제작기술,고정밀머신비전기술,고정밀광학부품기술,저온척(chuck)및체임버(chamber)제조기술,정밀오차보정기술보유.대기시간대폭감소및생산성향상기술.세계유일의'척틸팅(ChuckTilting)'기술로프로브카드수명연장및검사정확도향상.고성능반도체발열제어기술로테스트안정성확보및공정효율개선.AI비전기반플라잉프로브마크검사(PMI)알고리즘적용.차세대틸팅가능프로버개발을위한'hexapod'기술특허출원상태.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
독보적인 기술력과 국산화 성공: 진입 장벽이 높은 웨이퍼 프로버 시장에서 국내 기술로 장비를 개발하여 국산화를 성공시킨 선도적 역할. 일본 기업이 사실상 독점하던 시장에서 기술 국산화를 이뤄낸 기업.독보적인기술력과국산화성공:진입장벽이높은웨이퍼프로버시장에서국내기술로장비를개발하여국산화를성공시킨선도적역할.일본기업이사실상독점하던시장에서기술국산화를이뤄낸기업.
차별화된 제품 설계 및 혁신: 평평한 구조, 리니어 스테이지 및 리니어 구동형 모터 XY 스테이지 최초 도입, 카드 체인저 적용 등 기존 제품과 다른 독창적인 웨이퍼 프로버 설계. 고객의 특별한 요구를 반영하는 고객 맞춤형 개발 실행 능력.차별화된제품설계및혁신:평평한구조,리니어스테이지및리니어구동형모터XY스테이지최초도입,카드체인저적용등기존제품과다른독창적인웨이퍼프로버설계.고객의특별한요구를반영하는고객맞춤형개발실행능력.
고스펙 저비용 전략: 우수한 기술력과 분석력을 기반으로 높은 성능의 장비를 낮은 원가로 제공하여 시장 경쟁 우위를 확보하는 전략. 소프트웨어 자체 제작을 통한 원가 경쟁력 확보.고스펙저비용전략:우수한기술력과분석력을기반으로높은성능의장비를낮은원가로제공하여시장경쟁우위를확보하는전략.소프트웨어자체제작을통한원가경쟁력확보.
극한 환경에서의 정밀도 유지: 영하 40도에서 150도의 넓은 온도 범위와 기계 이동 상황에서도 변함없는 정밀도를 보장하는 기술적 강점.극한환경에서의정밀도유지:영하40도에서150도의넓은온도범위와기계이동상황에서도변함없는정밀도를보장하는기술적강점.
높은 처리량 및 공간 효율성: 아파트형 그룹 프로버 구조와 AI 비전 알고리즘 결합으로 경쟁사 대비 최대 4배 수준의 처리량을 달성하는 능력. 장비를 수직으로 적층하여 클린룸 공간 효율을 기존 수평 배치 방식 대비 670%까지 향상시키는 혁신적인 구조.높은처리량및공간효율성:아파트형그룹프로버구조와AI비전알고리즘결합으로경쟁사대비최대4배수준의처리량을달성하는능력.장비를수직으로적층하여클린룸공간효율을기존수평배치방식대비670%까지향상시키는혁신적인구조.
세계 유일 '척 틸팅' 기술: 기존 상판 이동 방식과 달리 척 자체를 기울여 프로브 카드와 웨이퍼 간 평탄도를 정밀하게 제어하는 세계 유일의 기술. 이 기술은 고가의 프로브 카드 수명을 연장하고 고하중 프로빙 환경에서도 높은 강성과 안정성을 유지하며 웨이퍼 에지 영역의 미세한 처짐까지 정밀 보상하여 검사 정확도를 크게 향상시키는 강점.세계유일'척틸팅'기술:기존상판이동방식과달리척자체를기울여프로브카드와웨이퍼간평탄도를정밀하게제어하는세계유일의기술.이기술은고가의프로브카드수명을연장하고고하중프로빙환경에서도높은강성과안정성을유지하며웨이퍼에지영역의미세한처짐까지정밀보상하여검사정확도를크게향상시키는강점.
적용 산업적용산업
반도체 제조 산업반도체제조산업
반도체 웨이퍼 검사 공정반도체웨이퍼검사공정
AI 및 HPC(고성능 컴퓨팅) 반도체 테스트 시장AI및HPC(고성능컴퓨팅)반도체테스트시장
HBM(고대역폭메모리) 테스트 솔루션HBM(고대역폭메모리)테스트솔루션
광학 및 디스플레이 산업광학및디스플레이산업
주요 시장주요시장
대만, 중국, 싱가포르, 동남아시아대만,중국,싱가포르,동남아시아
프랑스, 유럽 전역프랑스,유럽전역
미국미국
인증/특허인증/특허
ISO 9001 및 ISO 14001 인증 획득 (2004년)ISO9001및ISO14001인증획득(2004년)
Inno-biz Company 인증 (2005년)Inno-bizCompany인증(2005년)
OPUS3 CE 인증 획득 (2009년)OPUS3CE인증획득(2009년)
CSA (Canadian Standards Association) OPUS3 인증 (2010년)CSA(CanadianStandardsAssociation)OPUS3인증(2010년)
Semi S2, S8 인증 획득 (2011년)SemiS2,S8인증획득(2011년)
ISO 22301 및 ISO 45001 인증 획득ISO22301및ISO45001인증획득
월드 클래스 300 선정 및 수상 (2018년)월드클래스300선정및수상(2018년)
KITA Certificate (Korea Investors and Traders Association) 수상 (2018년)KITACertificate(KoreaInvestorsandTradersAssociation)수상(2018년)
APAC insider 2020의 우수 공급자 선발 및 수상 (2020년)APACinsider2020의우수공급자선발및수상(2020년)
무역진흥 대통령 표창 및 산업통상자원부장관 표창 수상 (2021년)무역진흥대통령표창및산업통상자원부장관표창수상(2021년)
일억불 수출의 탑 수상 (2022년 제59회 무역의 날). 5천만불 수출의 탑 (2021년), 3천만불 수출의 탑 (2018년), 1천만불 수출의 탑 (2006년) 수상 이력.일억불수출의탑수상(2022년제59회무역의날).5천만불수출의탑(2021년),3천만불수출의탑(2018년),1천만불수출의탑(2006년)수상이력.
'hexa pod' 기술 특허출원 상태'hexapod'기술특허출원상태
SWTW(SouthWest Test Workshop)에서 '미래기술 프로버' 논문이 '가장 영감을 주는 논문'으로 선정SWTW(SouthWestTestWorkshop)에서'미래기술프로버'논문이'가장영감을주는논문'으로선정