개발동기
TSP의 대량 생산을 위한 노광기입니다. LCD 노광기의 6 Shot stepper의 1 shot Module을 적용하여 620mm * 750mm 사이즈를 Proximity 방식으로 10㎛의 패턴이 가능하도록 하였으며, 마스크와 제품의 Proximity 간격은 200㎛ 전후로 설계되어 있습니다. 

주요 사용처 : TSP 및 LCD 제조공정 

제품특징
① 본 장비는 Proximity 노광방식으로 기존의 노광에서 Hard contact시 발생하던 Align 틀어지는 문제점과 Mask와 제품의 Contact시 Mask의 손상문제, Tact time의 문제를 해소하였다.
② 실시간으로 정확한 원점 Check를 할 수 있으며, 정확한 근접 거리 제어가 가능 하다.
③ 근접 노광 방식임에도 불구하고, 10㎛ [ PR 두께 8㎛ 조건] L/S를 구현 할 수 있다. [고성능 UV 광학계 실현]
④ 고 밀착을 하기 위한, 진공 챔버 구조물들이 불필요 하므로, 생산 라인의 청정도(cleanliness) 증대에 기여 한다. 

제품의 주요사양