개발동기
본 장비는 Semi-Auto형 대면적 수직 노광기이다. LCD 주변 노광기로 스캔 노광기입니다. ITO 및 CNT 노광용으로 개발된 제품으로 반 평행광, Vertical Scan방식으로, Slit 구조로 Fine Pattern을 구현하였습니다. 또한 Horizontal Exposure 방식에서 발생되는 Mechanical Distortion(처짐현상)을 근본적으로 해결하고자 하였고 제품 처리 면의 온도 또한, IR Filter 및 Loop Cooling System으로 노광면의 저온화를 실현하였습니다. 현재 LCD 패널 후면 STN 후면 노광용으로 사용되었습니다. 

주요 사용처 : LCD, ITO 및 CNT 제조공정 

제품특징 (수직노광기, 스캔 노광기, Back 노광기)
① 제품이 투입된 이후에는 자동으로 동작되며, 동작 설정은 Touch Screen에서 간단히 이뤄질 수 있다.
② Vertical Exposure방식과 Scan방식이 채택되어, Horizontal Exposure방식에서의 대면적 제품에서 발생되는 "Mechanical distortion"을 해결하였다.
③ 장비 내,외부에서 발생될 수 있는 진동에 의한 영향이 최소화 되도록 구조적인 설계가 이뤄졌다.
④ Scan 구동 및 대면적 Glass 노광의 장/탈착시 발생될 수 있는 위험성을 제거하고자 구조적으로 2~3 Step으로 안전장치가 채택되었다. 전기, 전자적으로 각종 Shield Circuit등이 채택되었고, 고출력 UV Lamp의 동작 특성상 발생되는 고열을 효율적으로 제거하였고 누광(漏光) 등을 최소화시켰다. 

제품의 주요사양