scia Systems는 첨단 이온 빔 및 플라즈마 기술을 기반으로 나노미터 수준의 정밀 표면 처리 장비를 개발 및 제조하는 독일 기업. 마이크로일렉트로닉스, MEMS, 정밀 광학 제조 분야의 고객과 연구 기관에 코팅, 식각, 클리닝 솔루션을 제공하는 전문 기업.sciaSystems는첨단이온빔및플라즈마기술을기반으로나노미터수준의정밀표면처리장비를개발및제조하는독일기업.마이크로일렉트로닉스,MEMS,정밀광학제조분야의고객과연구기관에코팅,식각,클리닝솔루션을제공하는전문기업.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
이온 빔 식각 시스템은 scia Mill 150, scia Mill 200, scia Mill 300 모델을 포함하며, 불활성, 반응성, 화학 보조 식각 기술로 복잡한 다층 구조 및 마이크로칩 패터닝에 활용되는 장비.이온빔식각시스템은sciaMill150,sciaMill200,sciaMill300모델을포함하며,불활성,반응성,화학보조식각기술로복잡한다층구조및마이크로칩패터닝에활용되는장비.
이온 빔 트리밍 시스템은 scia Trim 200, scia Trim 300, scia Finish 1500 모델로, 웨이퍼의 정밀 표면 보정, 박막 두께 균일성 개선, 대형 광학 기판의 형상 오차 보정에 특화된 솔루션.이온빔트리밍시스템은sciaTrim200,sciaTrim300,sciaFinish1500모델로,웨이퍼의정밀표면보정,박막두께균일성개선,대형광학기판의형상오차보정에특화된솔루션.
이온 빔 스퍼터링 시스템은 scia Coat 200, scia Coat 500, scia Opto 300 모델을 포함하며, 고밀도, 균일성, 결함 없는 박막 증착을 위한 PVD 기술 적용 장비.이온빔스퍼터링시스템은sciaCoat200,sciaCoat500,sciaOpto300모델을포함하며,고밀도,균일성,결함없는박막증착을위한PVD기술적용장비.
마그네트론 스퍼터링 시스템은 scia Multi 300, scia Multi 680, scia Multi 1500, scia Magna 200 모델로, 단일 또는 다중 마그네트론 구성으로 합금 및 반응성 스퍼터링을 지원하는 코팅 장비.마그네트론스퍼터링시스템은sciaMulti300,sciaMulti680,sciaMulti1500,sciaMagna200모델로,단일또는다중마그네트론구성으로합금및반응성스퍼터링을지원하는코팅장비.
건식 클리닝 시스템인 scia Clean 800은 초고진공 환경에서 진공 탈착, 열 탈착, 플라즈마 처리를 통해 기판 표면 오염을 제거하는 고품질 클리닝 솔루션.건식클리닝시스템인sciaClean800은초고진공환경에서진공탈착,열탈착,플라즈마처리를통해기판표면오염을제거하는고품질클리닝솔루션.
scia Cluster 200과 같은 클러스터 시스템은 여러 공정 챔버를 통합하여 처리량을 높이거나 다양한 공정 기술을 결합하는 유연한 모듈형 플랫폼.sciaCluster200과같은클러스터시스템은여러공정챔버를통합하여처리량을높이거나다양한공정기술을결합하는유연한모듈형플랫폼.
전자빔 증착 시스템인 scia Eva 200은 200mm 웨이퍼에 정밀 나노 구조를 형성하기 위한 글랜싱 각도 증착 기술을 사용하는 장비.전자빔증착시스템인sciaEva200은200mm웨이퍼에정밀나노구조를형성하기위한글랜싱각도증착기술을사용하는장비.
보유 기술로는 이온 빔 식각, 이온 빔 트리밍, 이온 빔 스퍼터링, 플라즈마 강화 화학 기상 증착, 반응성 이온 식각, 마그네트론 스퍼터링, 전자빔 증착, 건식 클리닝 등이 포함된 종합적인 포트폴리오.보유기술로는이온빔식각,이온빔트리밍,이온빔스퍼터링,플라즈마강화화학기상증착,반응성이온식각,마그네트론스퍼터링,전자빔증착,건식클리닝등이포함된종합적인포트폴리오.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
나노미터 수준의 정밀도를 자랑하는 표면 처리 기술력으로, 코팅, 식각, 클리닝 공정에서 높은 정확도를 구현하는 능력.나노미터수준의정밀도를자랑하는표면처리기술력으로,코팅,식각,클리닝공정에서높은정확도를구현하는능력.
첨단 이온 빔 및 플라즈마 기술 분야의 리더십을 바탕으로, 2013년 설립 이후 박막 공정 기술 혁신을 선도하는 기업.첨단이온빔및플라즈마기술분야의리더십을바탕으로,2013년설립이후박막공정기술혁신을선도하는기업.
연구 개발부터 대량 생산까지 고객의 다양한 요구에 맞춰 스탠드얼론, 클러스터, 인라인 솔루션으로 맞춤형 구성이 가능한 모듈형 및 유연한 시스템 설계.연구개발부터대량생산까지고객의다양한요구에맞춰스탠드얼론,클러스터,인라인솔루션으로맞춤형구성이가능한모듈형및유연한시스템설계.
금속, 반도체, 폴리머, 세라믹 등 광범위한 재료에 적용 가능하며, MEMS, 마이크로일렉트로닉스, 정밀 광학, 생체 의학 등 다양한 산업 분야에 최적화된 솔루션 제공.금속,반도체,폴리머,세라믹등광범위한재료에적용가능하며,MEMS,마이크로일렉트로닉스,정밀광학,생체의학등다양한산업분야에최적화된솔루션제공.
장비의 높은 신뢰성, 유연성, 성능을 통해 고객의 기대를 충족시키고 미래 로드맵 요구사항에 부합하는 솔루션 제공.장비의높은신뢰성,유연성,성능을통해고객의기대를충족시키고미래로드맵요구사항에부합하는솔루션제공.
전 세계적인 현지 영업 및 서비스 파트너 네트워크를 구축하여 고객에게 최적의 개별 지원을 제공하는 글로벌 서비스 역량.전세계적인현지영업및서비스파트너네트워크를구축하여고객에게최적의개별지원을제공하는글로벌서비스역량.
scia Cluster 200과 같은 혁신적인 클러스터 솔루션을 통해 설치 공간, 유틸리티 소비, 물류 효율성을 개선하여 총 소유 비용(TCO)을 절감하는 경제적 이점.sciaCluster200과같은혁신적인클러스터솔루션을통해설치공간,유틸리티소비,물류효율성을개선하여총소유비용(TCO)을절감하는경제적이점.
적용 산업적용산업
마이크로일렉트로닉스 제조 산업마이크로일렉트로닉스제조산업
MEMS (미세전자기계시스템) 제조 산업MEMS(미세전자기계시스템)제조산업
정밀 광학 부품 제조 산업정밀광학부품제조산업
연구 개발 및 학술 기관연구개발및학술기관
천문학 및 생체 의학 기술 분야천문학및생체의학기술분야
고급 반도체 패키징 및 불량 분석 (FA) 분야고급반도체패키징및불량분석(FA)분야
센서 (GMR, TMR, 적외선) 제조 및 음향-전기 장치 (BAW/SAW 필터) 제조 산업센서(GMR,TMR,적외선)제조및음향-전기장치(BAW/SAW필터)제조산업
증강 현실 (AR) 및 혼합 현실 (MR) 장치 개발 분야증강현실(AR)및혼합현실(MR)장치개발분야
주요 시장주요시장
대한민국대한민국
독일, 프랑스, 영국독일,프랑스,영국
미국, 캐나다미국,캐나다
인증/특허인증/특허
Qorvo로부터 품질, 정시 납품 및 지원에 대한 Supplier Excellence Award 수상 이력.Qorvo로부터품질,정시납품및지원에대한SupplierExcellenceAward수상이력.
EFDS (European Society of Thin Films), SEMI (Industry Association for Semiconductor Equipment and Materials International), EPIC (European Photonics Industry Consortium)의 회원사.EFDS(EuropeanSocietyofThinFilms),SEMI(IndustryAssociationforSemiconductorEquipmentandMaterialsInternational),EPIC(EuropeanPhotonicsIndustryConsortium)의회원사.
나노미터 해상도의 코팅, 식각, 클리닝 공정을 위한 첨단 이온 빔 및 플라즈마 기술의 선도적인 역량.나노미터해상도의코팅,식각,클리닝공정을위한첨단이온빔및플라즈마기술의선도적인역량.
박막 공정 장비 분야의 기술 리더로서, 신뢰성, 유연성, 성능을 갖춘 장비 개발 능력.박막공정장비분야의기술리더로서,신뢰성,유연성,성능을갖춘장비개발능력.