기업 기본 정보
경기도 과천시 과천대로 12 길 117, 과천펜타원 G동 7층
031-206-2614
-
설립일자
2018-02-13
업종
반도체 제조용 기계 제조업
운영여부
운영중
업데이트
2026-01-23
기업 개요
- 한줄 요약
- ㈜파웰코퍼레이션은 1999년 설립된 반도체, 2차전지, 전력반도체 분야의 핵심 장치 및 부품 전문 기업. 반도체 공정의 필수 부품인 정전척(ESC)을 주력으로 개발 및 공급. 특히, 세계 최초로 플라즈마 밀도 센서 임베디드 ESC(PDS ESC)를 개발한 기술 혁신 기업. 2차전지 및 디스플레이 산업을 위한 비접촉 이송 롤러와 전력반도체용 접합 기술도 보유한 다각화된 사업 구조.㈜파웰코퍼레이션은 1999년 설립된 반도체, 2차전지, 전력반도체 분야의 핵심 장치 및 부품 전문 기업. 반도체 공정의 필수 부품인 정전척(ESC)을 주력으로 개발 및 공급. 특히, 세계 최초로 플라즈마 밀도 센서 임베디드 ESC(PDS ESC)를 개발한 기술 혁신 기업. 2차전지 및 디스플레이 산업을 위한 비접촉 이송 롤러와 전력반도체용 접합 기술도 보유한 다각화된 사업 구조.
- 대표 제품군/보유 기술
- 반도체 사업 분야: 반도체 건식식각 공정에서 실리콘 웨이퍼를 정전기력으로 정밀하게 고정하는 정전척(ESC) 개발 및 공급. 알루미늄 베이스와 세라믹 플레이트로 구성된 제품, 히터를 포함한 멀티존 ESC 제품 개발 능력. 공정 중 플라즈마 밀도를 실시간으로 측정 가능한 세계 최초의 PDS ESC(Plasma Density Sensor Embedded ESC) 기술 보유. PDS ESC는 챔버를 열지 않고도 센터, 미들, 엣지별 플라즈마 상태를 진단하는 혁신적인 솔루션. 정전척에 안정적인 전원을 공급하는 전원 공급 장치, 고속 승온과 균일한 온도 분포를 제공하는 ALN 히터, 비접촉 흡착 시스템을 활용한 다공성 척도 주요 제품군. 이온 소스, 검사기, 임베디드 아이템 등 다양한 반도체 관련 부품 및 솔루션 개발.반도체 사업 분야: 반도체 건식식각 공정에서 실리콘 웨이퍼를 정전기력으로 정밀하게 고정하는 정전척(ESC) 개발 및 공급. 알루미늄 베이스와 세라믹 플레이트로 구성된 제품, 히터를 포함한 멀티존 ESC 제품 개발 능력. 공정 중 플라즈마 밀도를 실시간으로 측정 가능한 세계 최초의 PDS ESC(Plasma Density Sensor Embedded ESC) 기술 보유. PDS ESC는 챔버를 열지 않고도 센터, 미들, 엣지별 플라즈마 상태를 진단하는 혁신적인 솔루션. 정전척에 안정적인 전원을 공급하는 전원 공급 장치, 고속 승온과 균일한 온도 분포를 제공하는 ALN 히터, 비접촉 흡착 시스템을 활용한 다공성 척도 주요 제품군. 이온 소스, 검사기, 임베디드 아이템 등 다양한 반도체 관련 부품 및 솔루션 개발.
- 2차전지/디스플레이 사업 분야: 고순도 카본 소재로 제작된 에어 베어링 롤러(ABR) 및 석션 롤러(SR) 생산. 얇은 필름 재료 이송 시 발생할 수 있는 손상, 오염, 스크래치, 주름, 뒤틀림을 최소화하는 비접촉 이송 기술 적용. 기존 롤투롤(Roll-to-Roll) 장비의 금속 롤러를 대체하여 2차전지 및 필름 생산 기업의 수율 향상에 기여. 국내외 2차전지 생산 기업들과 양산 테스트를 활발히 진행 중.2차전지/디스플레이 사업 분야: 고순도 카본 소재로 제작된 에어 베어링 롤러(ABR) 및 석션 롤러(SR) 생산. 얇은 필름 재료 이송 시 발생할 수 있는 손상, 오염, 스크래치, 주름, 뒤틀림을 최소화하는 비접촉 이송 기술 적용. 기존 롤투롤(Roll-to-Roll) 장비의 금속 롤러를 대체하여 2차전지 및 필름 생산 기업의 수율 향상에 기여. 국내외 2차전지 생산 기업들과 양산 테스트를 활발히 진행 중.
- 전력반도체 사업 분야: 절연 게이트 양극성 트랜지스터(IGBT)용 다이렉트 본드 구리 모듈(DBC) 접합에 필요한 금속 파우더, 페이스트 및 접합 기술 개발. 고가의 실버를 대체하는 구리 기반 DACP(Die Attach Copper Paste) 기술 개발을 통해 전력반도체 시장의 변화에 대응.전력반도체 사업 분야: 절연 게이트 양극성 트랜지스터(IGBT)용 다이렉트 본드 구리 모듈(DBC) 접합에 필요한 금속 파우더, 페이스트 및 접합 기술 개발. 고가의 실버를 대체하는 구리 기반 DACP(Die Attach Copper Paste) 기술 개발을 통해 전력반도체 시장의 변화에 대응.
- 경쟁 우위 포인트
- 세계 최초 PDS ESC 개발: 반도체 공정 중 플라즈마 밀도를 실시간으로 측정하는 PDS ESC를 세계 최초로 개발하여 공정 수율 향상 및 예지보전 기반 스마트 공정 관리 가능. 이 기술은 기존 방식의 한계를 극복하는 혁신적인 솔루션 제공.세계 최초 PDS ESC 개발: 반도체 공정 중 플라즈마 밀도를 실시간으로 측정하는 PDS ESC를 세계 최초로 개발하여 공정 수율 향상 및 예지보전 기반 스마트 공정 관리 가능. 이 기술은 기존 방식의 한계를 극복하는 혁신적인 솔루션 제공.
- 핵심 부품 국산화 및 기술 내재화: 과거 일본산에 의존하던 반도체 정전척을 독자적으로 개발하고 국산화에 성공한 기술력. 소재부터 핵심 부품까지 자체 기술 내재화를 가속화하는 전략으로 공급망 안정성 확보 및 경쟁력 강화.핵심 부품 국산화 및 기술 내재화: 과거 일본산에 의존하던 반도체 정전척을 독자적으로 개발하고 국산화에 성공한 기술력. 소재부터 핵심 부품까지 자체 기술 내재화를 가속화하는 전략으로 공급망 안정성 확보 및 경쟁력 강화.
- 다양한 첨단 산업 분야로의 기술 확장: 반도체뿐만 아니라 2차전지, 디스플레이, 전력반도체 등 미래 성장 동력 산업에 핵심 기술을 성공적으로 접목하는 다각화된 사업 포트폴리오. 이를 통해 특정 산업 의존도를 낮추고 안정적인 성장 기반 마련.다양한 첨단 산업 분야로의 기술 확장: 반도체뿐만 아니라 2차전지, 디스플레이, 전력반도체 등 미래 성장 동력 산업에 핵심 기술을 성공적으로 접목하는 다각화된 사업 포트폴리오. 이를 통해 특정 산업 의존도를 낮추고 안정적인 성장 기반 마련.
- 고객 맞춤형 및 공동 개발 역량: 고객의 특정 요구사항을 충족시키는 복잡한 전극 설계와 정밀 열 제어 기능을 갖춘 고기능 ESC 제품을 공동 개발하는 유연한 대응 능력. 고객 만족을 최우선 가치로 삼는 경영 철학.고객 맞춤형 및 공동 개발 역량: 고객의 특정 요구사항을 충족시키는 복잡한 전극 설계와 정밀 열 제어 기능을 갖춘 고기능 ESC 제품을 공동 개발하는 유연한 대응 능력. 고객 만족을 최우선 가치로 삼는 경영 철학.
- 고순도 소재 기반 비접촉 이송 기술: 고순도 카본 소재를 활용한 에어 베어링 롤러 및 석션 롤러로 얇은 필름 재료의 손상을 최소화하는 독보적인 이송 기술. 2차전지 생산 수율을 35%까지 개선하는 효과를 입증하며 차세대 롤러 시장 선도.고순도 소재 기반 비접촉 이송 기술: 고순도 카본 소재를 활용한 에어 베어링 롤러 및 석션 롤러로 얇은 필름 재료의 손상을 최소화하는 독보적인 이송 기술. 2차전지 생산 수율을 35%까지 개선하는 효과를 입증하며 차세대 롤러 시장 선도.
- 지속적인 연구 개발 및 미래 시장 선점 노력: ESC 수리 사업을 위한 팹 투자, HBM 시장 진입을 위한 기술 개발, 2027년 파워반도체 신터링 소재 양산 공급 목표 등 끊임없는 혁신 추구. 매출 1,000억 원 달성과 상장을 목표로 하는 명확한 비전 제시.지속적인 연구 개발 및 미래 시장 선점 노력: ESC 수리 사업을 위한 팹 투자, HBM 시장 진입을 위한 기술 개발, 2027년 파워반도체 신터링 소재 양산 공급 목표 등 끊임없는 혁신 추구. 매출 1,000억 원 달성과 상장을 목표로 하는 명확한 비전 제시.
- 우수한 기술력 인정 및 수상 경력: 2023년부터 2025년까지 '대한민국 유망중소기업대상' AI 반도체 제조장치용 소부장 부문 5년 연속 수상으로 기술력과 성장 잠재력을 대외적으로 인정받은 기업.우수한 기술력 인정 및 수상 경력: 2023년부터 2025년까지 '대한민국 유망중소기업대상' AI 반도체 제조장치용 소부장 부문 5년 연속 수상으로 기술력과 성장 잠재력을 대외적으로 인정받은 기업.
- 적용 산업
- 반도체 산업: 반도체 전공정, 건식식각 공정, HBM(고대역폭 메모리) 패키징 분야.반도체 산업: 반도체 전공정, 건식식각 공정, HBM(고대역폭 메모리) 패키징 분야.
- 디스플레이 산업: FPD(평판 디스플레이) 공정, 필름 생산.디스플레이 산업: FPD(평판 디스플레이) 공정, 필름 생산.
- 2차전지 산업: 2차전지 생산 라인, 롤투롤(Roll-to-Roll) 장비.2차전지 산업: 2차전지 생산 라인, 롤투롤(Roll-to-Roll) 장비.
- 전력반도체 산업: IGBT(절연 게이트 양극성 트랜지스터), SiC(탄화규소) 기반 전력 반도체 제조.전력반도체 산업: IGBT(절연 게이트 양극성 트랜지스터), SiC(탄화규소) 기반 전력 반도체 제조.
- 일반 가전 및 자동차 산업: 다양한 산업 및 생활 영역의 제품 제조 공정.일반 가전 및 자동차 산업: 다양한 산업 및 생활 영역의 제품 제조 공정.
- 주요 시장
- --
- 인증/특허
- 특허: 플라즈마 인베디드 정전척 관련 특허 보유. 실시간 플라즈마 측정이 가능한 정전척(ESC) 기술의 국내 특허 출원 및 등록, 주요 5개국 특허 출원. 디스플레이 패널 테이핑 시스템 특허증. 배터리 충전 장치, 배터리 팩, 배터리 충전 시스템 및 그 충전 방법 특허.특허: 플라즈마 인베디드 정전척 관련 특허 보유. 실시간 플라즈마 측정이 가능한 정전척(ESC) 기술의 국내 특허 출원 및 등록, 주요 5개국 특허 출원. 디스플레이 패널 테이핑 시스템 특허증. 배터리 충전 장치, 배터리 팩, 배터리 충전 시스템 및 그 충전 방법 특허.
- 인증: 이노비즈(Inno-Biz) 확인서 보유.인증: 이노비즈(Inno-Biz) 확인서 보유.
- 수상: 2023년 '대한민국 유망중소기업대상' 반도체 측정용 부품소재 개발 부문 수상. 2024년 '대한민국 유망중소기업대상' AI 반도체 제조장치용 소부장 부문 수상. 2025년 '대한민국 유망중소기업대상' AI 반도체 제조 장치용 소부장 부문 수상. (5년 연속 수상 기업).수상: 2023년 '대한민국 유망중소기업대상' 반도체 측정용 부품소재 개발 부문 수상. 2024년 '대한민국 유망중소기업대상' AI 반도체 제조장치용 소부장 부문 수상. 2025년 '대한민국 유망중소기업대상' AI 반도체 제조 장치용 소부장 부문 수상. (5년 연속 수상 기업).
기업 소개
기업 위치
경기도 과천시 과천대로 12 길 117, 과천펜타원 G동 7층