기업 기본 정보
설립일자
1999-10-07
업종
반도체 제조용 기계 제조업
운영여부
운영중
업데이트
2025-12-04
기업 개요
- 한줄 요약
- 반도체 및 디스플레이 공정 장비의 핵심 부품인 RF 전원장치, 매처, 원격 플라즈마 시스템을 공급하는 전문 기업반도체 및 디스플레이 공정 장비의 핵심 부품인 RF 전원장치, 매처, 원격 플라즈마 시스템을 공급하는 전문 기업
- 대표 제품군/보유 기술
- Remote Plasma Generator (RPG/RPS): 반도체 및 FPD(평판 디스플레이) CVD 공정 챔버 내 잔류 이물질 제거를 위한 핵심 모듈. 박막 및 증착, 식각 공정 후 챔버 내 부산물 제거에 필수적인 시스템. 국내 시장 점유율 1위, 전 세계 시장 점유율 2위의 위상 확보.Remote Plasma Generator (RPG/RPS): 반도체 및 FPD(평판 디스플레이) CVD 공정 챔버 내 잔류 이물질 제거를 위한 핵심 모듈. 박막 및 증착, 식각 공정 후 챔버 내 부산물 제거에 필수적인 시스템. 국내 시장 점유율 1위, 전 세계 시장 점유율 2위의 위상 확보.
- RF Generator (RFS): 플라즈마 발생에 필요한 고주파 전력을 공급하는 장치. 디스플레이 장비향 공급을 넘어 반도체 부문으로의 사업 확대를 추진 중인 제품군. 고효율 및 고신뢰성 RF 제어 솔루션 요구에 대응하는 기술력 보유.RF Generator (RFS): 플라즈마 발생에 필요한 고주파 전력을 공급하는 장치. 디스플레이 장비향 공급을 넘어 반도체 부문으로의 사업 확대를 추진 중인 제품군. 고효율 및 고신뢰성 RF 제어 솔루션 요구에 대응하는 기술력 보유.
- Matcher: RF Generator에서 생성된 RF Power의 손실을 최소화하여 공정 챔버로 효과적으로 전달하는 역할. 플라즈마 공정의 안정성과 효율성을 높이는 데 기여하는 핵심 부품.Matcher: RF Generator에서 생성된 RF Power의 손실을 최소화하여 공정 챔버로 효과적으로 전달하는 역할. 플라즈마 공정의 안정성과 효율성을 높이는 데 기여하는 핵심 부품.
- Plasma Pretreatment System (PPS): 반도체 및 디스플레이 전 공정 중 챔버 상부층뿐만 아니라 하부층 배기 펌프에서도 활용 가능한 공정 부산물 처리 시스템. 환경 규제 물질 처리 및 진공 펌프 수명 저하 방지에 효과적인 신제품.Plasma Pretreatment System (PPS): 반도체 및 디스플레이 전 공정 중 챔버 상부층뿐만 아니라 하부층 배기 펌프에서도 활용 가능한 공정 부산물 처리 시스템. 환경 규제 물질 처리 및 진공 펌프 수명 저하 방지에 효과적인 신제품.
- 경쟁 우위 포인트
- 플라즈마 핵심 기술 선도: 2002년 세계에서 두 번째로 Remote Plasma Generator를 개발한 기술 선도 기업의 위상. 반도체 및 디스플레이 공정용 플라즈마 핵심 모듈 분야에서 국내 최고의 업체로 인정받는 기술력.플라즈마 핵심 기술 선도: 2002년 세계에서 두 번째로 Remote Plasma Generator를 개발한 기술 선도 기업의 위상. 반도체 및 디스플레이 공정용 플라즈마 핵심 모듈 분야에서 국내 최고의 업체로 인정받는 기술력.
- 다각화된 제품 포트폴리오: 기존 클리닝용 RPS 중심에서 공정용 RPS 및 RFS로 제품군을 확장하고, 공정 부산물 처리 시스템(PPS)과 같은 신제품 개발을 통한 포트폴리오 다변화. 반도체 공정 미세화 및 식각 중요도 증가에 따른 플라즈마 토탈 솔루션 제공 능력.다각화된 제품 포트폴리오: 기존 클리닝용 RPS 중심에서 공정용 RPS 및 RFS로 제품군을 확장하고, 공정 부산물 처리 시스템(PPS)과 같은 신제품 개발을 통한 포트폴리오 다변화. 반도체 공정 미세화 및 식각 중요도 증가에 따른 플라즈마 토탈 솔루션 제공 능력.
- 글로벌 시장 경쟁력 및 고객 확대: 중국, 대만 등 해외 시장으로의 제품 판매를 통한 글로벌 시장 진출. 미국 등 글로벌 신규 거래선 확보 노력과 해외 영업 호조를 통한 매출 증대. 글로벌 Big3 장비사를 모두 고객사로 확보하려는 목표 설정.글로벌 시장 경쟁력 및 고객 확대: 중국, 대만 등 해외 시장으로의 제품 판매를 통한 글로벌 시장 진출. 미국 등 글로벌 신규 거래선 확보 노력과 해외 영업 호조를 통한 매출 증대. 글로벌 Big3 장비사를 모두 고객사로 확보하려는 목표 설정.
- 지속적인 연구 개발 및 지적 재산권: 2024년 기준 국내 특허 304건, 해외 특허 28건을 포함한 다수의 지적 재산권 보유. 반도체 시장을 겨냥한 디지털화 제품 개선 및 Fin/FET, 7nm급, ALD, W-ALD 등 중장기 기술 개발 로드맵 추진.지속적인 연구 개발 및 지적 재산권: 2024년 기준 국내 특허 304건, 해외 특허 28건을 포함한 다수의 지적 재산권 보유. 반도체 시장을 겨냥한 디지털화 제품 개선 및 Fin/FET, 7nm급, ALD, W-ALD 등 중장기 기술 개발 로드맵 추진.
- 수출 성과 및 수상 이력: 2024년 5000만불 수출의 탑 수상에 이어 2025년 7000만불 수출의 탑을 연속 수상하는 쾌거. 국내외 거래처 다변화와 전 제품 수요 확대를 통한 수출 비중의 지속적인 확대.수출 성과 및 수상 이력: 2024년 5000만불 수출의 탑 수상에 이어 2025년 7000만불 수출의 탑을 연속 수상하는 쾌거. 국내외 거래처 다변화와 전 제품 수요 확대를 통한 수출 비중의 지속적인 확대.
- 적용 산업
- 반도체 산업: 반도체 제조 공정의 Dry Etch, Thin Film, Diffusion, CVD, PR strip 등 다양한 공정. 증착 챔버 세정 및 환경 규제 물질 처리 시스템 적용.반도체 산업: 반도체 제조 공정의 Dry Etch, Thin Film, Diffusion, CVD, PR strip 등 다양한 공정. 증착 챔버 세정 및 환경 규제 물질 처리 시스템 적용.
- 디스플레이 산업: FPD, LCD, OLED 등 디스플레이 박막 공정 및 식각 공정 장비의 핵심 부품 공급.디스플레이 산업: FPD, LCD, OLED 등 디스플레이 박막 공정 및 식각 공정 장비의 핵심 부품 공급.
- 기타: 방산 부문 (종속기업을 통한 매출 발생).기타: 방산 부문 (종속기업을 통한 매출 발생).
- 주요 시장
- 대한민국 (내수 시장), 중국, 대만대한민국 (내수 시장), 중국, 대만
- 미국 등 글로벌 신규 거래선 확보미국 등 글로벌 신규 거래선 확보
- 인증/특허
- 특허: 2024년 기준 국내 특허 304건, 해외 특허 28건, 국내 출원 31건, 해외 출원 7건의 지적재산권 보유. 플라즈마 반응 장치, 플라즈마 전원 공급 장치용 공진 네트워크 등 다양한 플라즈마 관련 기술 특허 등록.특허: 2024년 기준 국내 특허 304건, 해외 특허 28건, 국내 출원 31건, 해외 출원 7건의 지적재산권 보유. 플라즈마 반응 장치, 플라즈마 전원 공급 장치용 공진 네트워크 등 다양한 플라즈마 관련 기술 특허 등록.
- 인증: ISO 9001 (품질경영시스템), ISO 14001 (환경경영시스템), ISO 27001 (정보보안경영시스템) 인증 보유.인증: ISO 9001 (품질경영시스템), ISO 14001 (환경경영시스템), ISO 27001 (정보보안경영시스템) 인증 보유.
- 수상: 2025년 7000만불 수출의 탑 수상. 2024년 5000만불 수출의 탑 수상. 2004년 한국 10대 신기술 선정 및 차세대 세계일류상품 인증 (원격플라즈마세정기). 2005년 신기술실용화 국무총리상 수상.수상: 2025년 7000만불 수출의 탑 수상. 2024년 5000만불 수출의 탑 수상. 2004년 한국 10대 신기술 선정 및 차세대 세계일류상품 인증 (원격플라즈마세정기). 2005년 신기술실용화 국무총리상 수상.
기업 소개
기업 위치
경기도 수원시 권선구 산업로155번길 214