(주)나노텍, 대한민국 - 코머신 판매자 소개 및 제품 소개

- 광학 기술 및 플라즈마 진단 기술을 활용한 센서 제품군을 개발하는 기술 중심의 벤처 기업으로, 국내외 반도체 및 디스플레이 양산 제조 공정의 핵심 진단 센서 공급 기업.광학 기술 및 플라즈마 진단 기술을 활용한 센서 제품군을 개발하는 기술 중심의 벤처 기업으로, 국내외 반도체 및 디스플레이 양산 제조 공정의 핵심 진단 센서 공급 기업.
- SPOES (AEGIS Series): 반도체 및 디스플레이 제조 공정 챔버의 실시간 누출 감지, 건식 세정 종점 검출, 비플라즈마 식각 및 TSV 식각 공정의 종점 검출 기능을 제공하는 자가 플라즈마 OES 센서 제품군. 오염 방지 모듈 특허 기술 적용으로 높은 오염 내구성과 가격 대비 높은 활용도를 자랑하는 솔루션.SPOES (AEGIS Series): 반도체 및 디스플레이 제조 공정 챔버의 실시간 누출 감지, 건식 세정 종점 검출, 비플라즈마 식각 및 TSV 식각 공정의 종점 검출 기능을 제공하는 자가 플라즈마 OES 센서 제품군. 오염 방지 모듈 특허 기술 적용으로 높은 오염 내구성과 가격 대비 높은 활용도를 자랑하는 솔루션.
- CCD Type EPD (OPTI Series): 반도체 및 FPD 제조 공정 챔버 내부 플라즈마를 분광 분석법으로 분석하여 식각, 플라즈마 처리, PR/ACL 스트립, PECVD 공정의 종점 자동 검출 및 공정 변화 모니터링 센서. 안정적인 시스템 구조와 다양한 데이터 처리 알고리즘, 광학 해상도, S/N비, 분산 처리 구조에 따른 폭넓은 제품 라인업 보유. 습식 공정용 OPTI-W 제품도 제공.CCD Type EPD (OPTI Series): 반도체 및 FPD 제조 공정 챔버 내부 플라즈마를 분광 분석법으로 분석하여 식각, 플라즈마 처리, PR/ACL 스트립, PECVD 공정의 종점 자동 검출 및 공정 변화 모니터링 센서. 안정적인 시스템 구조와 다양한 데이터 처리 알고리즘, 광학 해상도, S/N비, 분산 처리 구조에 따른 폭넓은 제품 라인업 보유. 습식 공정용 OPTI-W 제품도 제공.
- Filter Type EPD (NEFL Series): 반도체 ash/strip 챔버 내 플라즈마를 수광하여 에천트 또는 부산물의 변화를 감지함으로써 식각 공정의 종점을 검출하는 센서. PR/ACL 스트립 공정에 주로 활용되는 제품군.Filter Type EPD (NEFL Series): 반도체 ash/strip 챔버 내 플라즈마를 수광하여 에천트 또는 부산물의 변화를 감지함으로써 식각 공정의 종점을 검출하는 센서. PR/ACL 스트립 공정에 주로 활용되는 제품군.
- 챔버 플라즈마 모니터: 아크 감지, 펄스 플라즈마 특성 분석, 강도 분포 측정을 위한 센서 솔루션.챔버 플라즈마 모니터: 아크 감지, 펄스 플라즈마 특성 분석, 강도 분포 측정을 위한 센서 솔루션.
- 광학 및 플라즈마 진단 기술 기반의 독자적인 센서 제품 개발 역량 보유.광학 및 플라즈마 진단 기술 기반의 독자적인 센서 제품 개발 역량 보유.
- 반도체, 광원, 광계측 및 광통신 장비의 국산화를 이룬 10년 이상의 자체 기술 개발 노하우.반도체, 광원, 광계측 및 광통신 장비의 국산화를 이룬 10년 이상의 자체 기술 개발 노하우.
- SPOES 제품의 특허받은 오염 방지 모듈 및 In-situ 누출 감지 기술로 해외 수입 제품 대비 높은 오염 내구성과 비용 효율성 제공.SPOES 제품의 특허받은 오염 방지 모듈 및 In-situ 누출 감지 기술로 해외 수입 제품 대비 높은 오염 내구성과 비용 효율성 제공.
- 우수한 품질, 높은 가격 경쟁력, 신속한 서비스 제공 능력으로 고객 신뢰 구축.우수한 품질, 높은 가격 경쟁력, 신속한 서비스 제공 능력으로 고객 신뢰 구축.
- 고객의 고유한 환경에 맞춘 맞춤형 서비스, 풍부한 경험, 고급 기술 지원 및 데이터 분석 능력.고객의 고유한 환경에 맞춘 맞춤형 서비스, 풍부한 경험, 고급 기술 지원 및 데이터 분석 능력.
- 정보통신부 지정 우수신기술(IT)업체 선정, 중소기업청 기술경쟁력 우수업체 선정 등 정부로부터 인정받은 기술 경쟁력과 성장 잠재력.정보통신부 지정 우수신기술(IT)업체 선정, 중소기업청 기술경쟁력 우수업체 선정 등 정부로부터 인정받은 기술 경쟁력과 성장 잠재력.
- 반도체 제조 공정: CVD, ALD, Etch, Diffusion, Anneal, PECVD 공정의 감시 및 제어.반도체 제조 공정: CVD, ALD, Etch, Diffusion, Anneal, PECVD 공정의 감시 및 제어.
- 디스플레이 제조 공정: BP(Array), TSP, EN, All TC/HC 공정의 진단 및 제어.디스플레이 제조 공정: BP(Array), TSP, EN, All TC/HC 공정의 진단 및 제어.
- 플라즈마 처리 공정: 식각, 플라즈마 처리, PR/ACL 스트립 공정의 종점 검출 및 모니터링.플라즈마 처리 공정: 식각, 플라즈마 처리, PR/ACL 스트립 공정의 종점 검출 및 모니터링.
- 실리콘 관통전극(TSV) 식각 공정: BOSCH 공정에서의 종점 검출.실리콘 관통전극(TSV) 식각 공정: BOSCH 공정에서의 종점 검출.
- 대한민국대한민국
- 미국미국
- 기업 부설 연구소 인증.기업 부설 연구소 인증.
- 벤처 기업 인증.벤처 기업 인증.
- 기술 혁신형 중소기업 (INNO-BIZ) 인증.기술 혁신형 중소기업 (INNO-BIZ) 인증.
- ISO 9001 (품질 경영) 및 ISO 14001 (환경 경영) 인증.ISO 9001 (품질 경영) 및 ISO 14001 (환경 경영) 인증.
- ISO 45001 및 ISO 22301 인증.ISO 45001 및 ISO 22301 인증.
- 정보통신부 우수 신기술 지정 (1997년).정보통신부 우수 신기술 지정 (1997년).
- 중소기업청 기술 경쟁력 우수 기업 지정 (2001년).중소기업청 기술 경쟁력 우수 기업 지정 (2001년).
- 제5회 산학 협력 산업 기술 대전 국무총리상 수상 (2005년).제5회 산학 협력 산업 기술 대전 국무총리상 수상 (2005년).
- 삼백만불 수출의 탑 수상 (2020년).삼백만불 수출의 탑 수상 (2020년).
- 소재·부품·장비 전문 기업 (2021년) 및 으뜸 기업 선정 (2022년).소재·부품·장비 전문 기업 (2021년) 및 으뜸 기업 선정 (2022년).
- SPOES 제품의 오염 방지 모듈 관련 특허 보유.SPOES 제품의 오염 방지 모듈 관련 특허 보유.
- 디지털 자동 균열 측정 장치 특허 출원 및 단차 게이지 특허 등록 완료 (2025년).디지털 자동 균열 측정 장치 특허 출원 및 단차 게이지 특허 등록 완료 (2025년).