기업 기본 정보
설립일자
2012-08-31
업종
전기용 기계·장비 및 관련 기자재 도매업
운영여부
운영중
업데이트
2025-12-04
기업 개요
- 한줄 요약
- 반도체 제조 공정의 효율성 및 안전성 향상을 위한 부산물 포집 장치, 실시간 가스 분석 시스템, 환경 제어 장치를 제공하는 전문 기업반도체 제조 공정의 효율성 및 안전성 향상을 위한 부산물 포집 장치, 실시간 가스 분석 시스템, 환경 제어 장치를 제공하는 전문 기업
- 대표 제품군/보유 기술
- 반도체 생산 장비의 공정 부산물을 포집하여 진공 펌프의 수명을 연장하는 다양한 종류의 트랩 및 컨트롤러 제공반도체 생산 장비의 공정 부산물을 포집하여 진공 펌프의 수명을 연장하는 다양한 종류의 트랩 및 컨트롤러 제공
- TiCl4 트랩, W 트랩, ACL 트랩, 에칭 트랩, 콜드 트랩, 노아 트랩, 히팅 트랩 등 공정별 맞춤형 솔루션 포함TiCl4 트랩, W 트랩, ACL 트랩, 에칭 트랩, 콜드 트랩, 노아 트랩, 히팅 트랩 등 공정별 맞춤형 솔루션 포함
- 에칭 트랩은 12개월 이상의 PM 주기와 150℃~300℃의 작동 온도를 가진 Sheath Type 히터, 1채널 컨트롤러 및 안전 인터록 시스템 특징에칭 트랩은 12개월 이상의 PM 주기와 150℃~300℃의 작동 온도를 가진 Sheath Type 히터, 1채널 컨트롤러 및 안전 인터록 시스템 특징
- TiCl4 ALD/TiN Non-Stop 트랩은 높은 효율성, 맞춤 제작, 쉬운 교체, 6개월 이상의 PM 주기 제공TiCl4 ALD/TiN Non-Stop 트랩은 높은 효율성, 맞춤 제작, 쉬운 교체, 6개월 이상의 PM 주기 제공
- 공정 챔버 내부 클리닝 효율 증대를 위한 O2 TDL Analyzer System을 통한 특정 가스 농도 실시간 분석 및 안전 사고 방지 기능 제공공정 챔버 내부 클리닝 효율 증대를 위한 O2 TDL Analyzer System을 통한 특정 가스 농도 실시간 분석 및 안전 사고 방지 기능 제공
- 이 시스템은 공정 진행 중 발생하는 가스 농도를 정밀하게 모니터링하는 기술이 시스템은 공정 진행 중 발생하는 가스 농도를 정밀하게 모니터링하는 기술
- 클리닝 가스의 온도 보상을 위한 히터 블록 및 제어 컨트롤러 제공클리닝 가스의 온도 보상을 위한 히터 블록 및 제어 컨트롤러 제공
- 1채널에서 4채널까지 지원하는 컨트롤러와 안전 인터록 시스템 포함1채널에서 4채널까지 지원하는 컨트롤러와 안전 인터록 시스템 포함
- 고객 장비의 효율적 운영 및 경비 절감에 기여하는 ADS (Advanced Data Security) 시스템 제공고객 장비의 효율적 운영 및 경비 절감에 기여하는 ADS (Advanced Data Security) 시스템 제공
- 반도체 장비용 부품 및 트랩, 히터, 모터 등의 수리 서비스 제공반도체 장비용 부품 및 트랩, 히터, 모터 등의 수리 서비스 제공
- 경쟁 우위 포인트
- 반도체 공정 부산물 포집 장치의 높은 효율성 및 맞춤형 제작 능력반도체 공정 부산물 포집 장치의 높은 효율성 및 맞춤형 제작 능력
- 에칭 트랩의 12개월 이상, TiCl4 ALD/TiN Non-Stop 트랩의 6개월 이상 등 긴 PM 주기 제공으로 설비 가동 시간 극대화에칭 트랩의 12개월 이상, TiCl4 ALD/TiN Non-Stop 트랩의 6개월 이상 등 긴 PM 주기 제공으로 설비 가동 시간 극대화
- O2 TDL Detector를 활용한 실시간 가스 농도 분석 및 안전 사고 방지 기능O2 TDL Detector를 활용한 실시간 가스 농도 분석 및 안전 사고 방지 기능
- 바이패스형 구조를 통한 트랩 교체 시 공정 중단 최소화 기술바이패스형 구조를 통한 트랩 교체 시 공정 중단 최소화 기술
- 반도체 장비 및 부품의 국산화를 통한 글로벌 반도체 시장 기여 목표반도체 장비 및 부품의 국산화를 통한 글로벌 반도체 시장 기여 목표
- 반도체 부품 가공 분야에서 축적된 기술과 노하우 기반의 고객 맞춤형 솔루션 제공 역량반도체 부품 가공 분야에서 축적된 기술과 노하우 기반의 고객 맞춤형 솔루션 제공 역량
- 적용 산업
- 반도체 제조 산업반도체 제조 산업
- 반도체 생산 장비의 공정 부산물 관리 및 환경 제어 분야반도체 생산 장비의 공정 부산물 관리 및 환경 제어 분야
- 반도체 공정 챔버 내부 클리닝 효율성 증대 분야반도체 공정 챔버 내부 클리닝 효율성 증대 분야
- 주요 시장
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- 인증/특허
- 바이패스형 반도체 제조 부산물 포집장치 관련 특허 보유 (KR102672167B1)바이패스형 반도체 제조 부산물 포집장치 관련 특허 보유 (KR102672167B1)
- 에칭 트랩 컨트롤러의 CE 인증 획득에칭 트랩 컨트롤러의 CE 인증 획득
- 회사 홈페이지에 '인증 및 특허보유 현황' 섹션 명시회사 홈페이지에 '인증 및 특허보유 현황' 섹션 명시
기업 소개
기업 위치
경기도 용인시 처인구 모현읍 곡현로 750