엘에스이(주)는 반도체 제조 공정의 핵심인 웨이퍼 세정장비 개발, 제조, 판매 전문 기업. 반도체 소재 및 장비 사업에서 축적된 기술력과 노하우를 기반으로 한 사업 역량. 미세 공정 환경에 필수적인 고정밀·고효율 세정 기술을 보유한 점.엘에스이(주)는반도체제조공정의핵심인웨이퍼세정장비개발,제조,판매전문기업.반도체소재및장비사업에서축적된기술력과노하우를기반으로한사업역량.미세공정환경에필수적인고정밀·고효율세정기술을보유한점.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
반도체 웨이퍼 세정장비 제품군.반도체웨이퍼세정장비제품군.
NSM-Series는 SiNM-Series로 구성된 단일 웨이퍼 프로세서 및 웨이퍼 운반 모듈. 작은 크기 입자 제어 및 웨이퍼레이터 기능 포함.NSM-Series는SiNM-Series로구성된단일웨이퍼프로세서및웨이퍼운반모듈.작은크기입자제어및웨이퍼레이터기능포함.
SI-Series는 8개의 챔버와 고급 웨이퍼 전송 모듈로 구성된 단일 웨이퍼 프로세서. 30nm 이하 기술 노드 공정에서 처리량 향상 목적.SI-Series는8개의챔버와고급웨이퍼전송모듈로구성된단일웨이퍼프로세서.30nm이하기술노드공정에서처리량향상목적.
SC-Series는 적층형 플랫폼 스크러버로서 8개의 챔버와 첨단 웨이퍼 이송 모듈 구성. 20nm 이하 기술 노드 공정 적용을 위한 처리량 개선.SC-Series는적층형플랫폼스크러버로서8개의챔버와첨단웨이퍼이송모듈구성.20nm이하기술노드공정적용을위한처리량개선.
SPACE(Surface Processor of Advanced Cleaning Equipment)는 30nm 이하 디바이스 기술에 대응하는 단일 웨이퍼 프로세서 및 DIW 스크러버.SPACE(SurfaceProcessorofAdvancedCleaningEquipment)는30nm이하디바이스기술에대응하는단일웨이퍼프로세서및DIW스크러버.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
반도체 소재 및 장비 사업에서 축적된 독자적인 기술력과 노하우.반도체소재및장비사업에서축적된독자적인기술력과노하우.
미세 공정 환경에 필수적인 고정밀·고효율 세정 기술 보유 역량.미세공정환경에필수적인고정밀·고효율세정기술보유역량.
체계적인 기술 연구소와 전문 개발 인력을 통한 차세대 공정 변화에 대한 선제적 대응 능력.체계적인기술연구소와전문개발인력을통한차세대공정변화에대한선제적대응능력.
SK하이닉스에 HBM용 TSV 세정 장비를 공급하는 등 고대역폭메모리(HBM) 시장에서의 기술적 우위.SK하이닉스에HBM용TSV세정장비를공급하는등고대역폭메모리(HBM)시장에서의기술적우위.
20nm 및 30nm 이하 기술 노드 공정에서 처리량 향상을 위한 최적화된 장비 설계 및 제조 기술.20nm및30nm이하기술노드공정에서처리량향상을위한최적화된장비설계및제조기술.
친환경 기술을 통한 지속적인 혁신 추구 및 인류 삶의 질 향상 기여.친환경기술을통한지속적인혁신추구및인류삶의질향상기여.
적용 산업적용산업
반도체 제조 산업.반도체제조산업.
고대역폭메모리(HBM) 생산 공정.고대역폭메모리(HBM)생산공정.
주요 시장주요시장
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인증/특허인증/특허
반도체 세정장비 개발, 제조, 판매에 대한 전문 기술력.반도체세정장비개발,제조,판매에대한전문기술력.
고정밀·고효율 세정 기술 개발 역량.고정밀·고효율세정기술개발역량.
경쟁력 있는 기술과 인재를 통한 반도체 산업 및 국가 발전에 이바지.경쟁력있는기술과인재를통한반도체산업및국가발전에이바지.
SEMI 회원사로서 글로벌 기술 표준 및 커뮤니티 활동 참여.SEMI회원사로서글로벌기술표준및커뮤니티활동참여.