기업 기본 정보
경기도 화성시 동탄산단6길 53-37
031-781-0674
-
설립일자
2012-11-07
업종
반도체 제조용 기계 제조업
운영여부
운영중
업데이트
2025-12-04
기업 개요
- 한줄 요약
- 엘케이엔지니어링은 반도체 제조 장비의 핵심 부품인 정전척(Electrostatic Chuck, ESC)을 전문적으로 생산 및 수리하는 기업. 웨이퍼를 정전기력으로 고정하고 온도 조절 기능을 수행하는 ESC는 반도체 에칭(Etching) 및 CVD 공정 등 진공 환경에서 필수적인 부품. 자체 기술 개발과 부품 수리 특허를 통해 국내외 반도체 시장에서 경쟁력을 확보한 중소기업. 끊임없는 기술 개발과 품질 혁신으로 고객 맞춤형 솔루션을 제공하며, 한국을 넘어 세계로 도약하는 비전을 가진 기업.엘케이엔지니어링은 반도체 제조 장비의 핵심 부품인 정전척(Electrostatic Chuck, ESC)을 전문적으로 생산 및 수리하는 기업. 웨이퍼를 정전기력으로 고정하고 온도 조절 기능을 수행하는 ESC는 반도체 에칭(Etching) 및 CVD 공정 등 진공 환경에서 필수적인 부품. 자체 기술 개발과 부품 수리 특허를 통해 국내외 반도체 시장에서 경쟁력을 확보한 중소기업. 끊임없는 기술 개발과 품질 혁신으로 고객 맞춤형 솔루션을 제공하며, 한국을 넘어 세계로 도약하는 비전을 가진 기업.
- 대표 제품군/보유 기술
- 정전척(Electrostatic Chuck, ESC) 제조 및 리페어 기술: 반도체 웨이퍼를 정전기력으로 고정하는 핵심 부품인 정전척의 신규 제조와 더불어, 마모되거나 손상된 ESC의 세라믹 부분만을 교체하는 리페어 사업을 영위. 이는 고가의 ESC를 효율적으로 재활용하여 고객사의 비용 절감에 기여하는 솔루션.정전척(Electrostatic Chuck, ESC) 제조 및 리페어 기술: 반도체 웨이퍼를 정전기력으로 고정하는 핵심 부품인 정전척의 신규 제조와 더불어, 마모되거나 손상된 ESC의 세라믹 부분만을 교체하는 리페어 사업을 영위. 이는 고가의 ESC를 효율적으로 재활용하여 고객사의 비용 절감에 기여하는 솔루션.
- 고순도 ESC 및 히티드 ESC: 웨이퍼와 맞닿는 세라믹 부분을 고순도로 굽고, 반도체 제조사의 사양에 맞춰 맞춤 설계하는 기술력을 보유. 특히, 온도를 정밀하게 제어하는 히티드 ESC(Heated ESC)와 고밀도 ESC 등 고부가가치 제품 개발에 주력.고순도 ESC 및 히티드 ESC: 웨이퍼와 맞닿는 세라믹 부분을 고순도로 굽고, 반도체 제조사의 사양에 맞춰 맞춤 설계하는 기술력을 보유. 특히, 온도를 정밀하게 제어하는 히티드 ESC(Heated ESC)와 고밀도 ESC 등 고부가가치 제품 개발에 주력.
- 다중 온도 제어 기능 ESC: 반도체 공정의 선폭 미세화 및 생산성 향상을 위해 높은 온도 균일도가 요구되는 에칭 공정 설비에 장착되는 ESC는 다중 온도 제어 기능을 포함하여 웨이퍼에 인가되는 온도를 정밀하게 조절하는 기술.다중 온도 제어 기능 ESC: 반도체 공정의 선폭 미세화 및 생산성 향상을 위해 높은 온도 균일도가 요구되는 에칭 공정 설비에 장착되는 ESC는 다중 온도 제어 기능을 포함하여 웨이퍼에 인가되는 온도를 정밀하게 조절하는 기술.
- 적층형 세라믹 히터 플레이트 제조 기술: 국내 최초로 순도 96%의 세라믹 그린 시트를 활용한 적층형 세라믹 히터 플레이트 제조 기술을 보유. 이를 통해 에칭 공정용 정전척 및 금속 세라믹 히터가 포함된 정전척 개발을 완료.적층형 세라믹 히터 플레이트 제조 기술: 국내 최초로 순도 96%의 세라믹 그린 시트를 활용한 적층형 세라믹 히터 플레이트 제조 기술을 보유. 이를 통해 에칭 공정용 정전척 및 금속 세라믹 히터가 포함된 정전척 개발을 완료.
- 경쟁 우위 포인트
- 정전척 리페어 시장 선점 및 기술 특허: 국내 최초로 ESC 리페어 사업을 시작하여 틈새시장을 성공적으로 공략. ESC의 세라믹 부분만 교체하는 수리 기술에 대한 특허를 보유하여 기술적 진입 장벽을 구축.정전척 리페어 시장 선점 및 기술 특허: 국내 최초로 ESC 리페어 사업을 시작하여 틈새시장을 성공적으로 공략. ESC의 세라믹 부분만 교체하는 수리 기술에 대한 특허를 보유하여 기술적 진입 장벽을 구축.
- 독자적인 세라믹 기술력 및 맞춤 설계 능력: ESC의 핵심인 고순도 세라믹 제조 및 고객 맞춤형 설계 기술력을 보유. 이는 반도체 제조사의 다양한 요구사항에 대응하며 높은 수율과 품질을 제공하는 역량.독자적인 세라믹 기술력 및 맞춤 설계 능력: ESC의 핵심인 고순도 세라믹 제조 및 고객 맞춤형 설계 기술력을 보유. 이는 반도체 제조사의 다양한 요구사항에 대응하며 높은 수율과 품질을 제공하는 역량.
- 가격 경쟁력: 해외 선행사 대비 1/3 수준의 가격으로 국내 반도체 칩 생산 기업에 정전척을 공급하는 능력. 이는 고가의 수입 부품 의존도를 낮추고 국내 시장에서의 경쟁 우위 확보.가격 경쟁력: 해외 선행사 대비 1/3 수준의 가격으로 국내 반도체 칩 생산 기업에 정전척을 공급하는 능력. 이는 고가의 수입 부품 의존도를 낮추고 국내 시장에서의 경쟁 우위 확보.
- 주요 반도체 기업과의 협력 및 수출 다변화: 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 주요 반도체 기업에 제품을 공급하며 기술력을 인정받음. 중국, 일본, 미국, 독일, 싱가포르, 대만 등 다양한 국가로 수출하며 안정적인 성장 기반 마련.주요 반도체 기업과의 협력 및 수출 다변화: 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 주요 반도체 기업에 제품을 공급하며 기술력을 인정받음. 중국, 일본, 미국, 독일, 싱가포르, 대만 등 다양한 국가로 수출하며 안정적인 성장 기반 마련.
- 지속적인 R&D 투자 및 기술 혁신: 매년 연 매출액의 10%를 기술 개발에 투자하고 기업 부설 연구소를 운영하며, 전체 직원의 7%를 연구 인력으로 채용하는 등 기술 혁신에 집중. 이를 통해 고부가가치 제품 개발 및 시장 선도 노력.지속적인 R&D 투자 및 기술 혁신: 매년 연 매출액의 10%를 기술 개발에 투자하고 기업 부설 연구소를 운영하며, 전체 직원의 7%를 연구 인력으로 채용하는 등 기술 혁신에 집중. 이를 통해 고부가가치 제품 개발 및 시장 선도 노력.
- 적용 산업
- 반도체 제조 산업: 반도체 웨이퍼의 정밀한 고정 및 온도 제어가 필수적인 에칭(Etching), CVD(Chemical Vapor Deposition) 등 반도체 공정 장비 분야.반도체 제조 산업: 반도체 웨이퍼의 정밀한 고정 및 온도 제어가 필수적인 에칭(Etching), CVD(Chemical Vapor Deposition) 등 반도체 공정 장비 분야.
- 주요 시장
- 중국, 일본, 싱가포르, 대만중국, 일본, 싱가포르, 대만
- 독일독일
- 미국미국
- 인증/특허
- 정전척의 리페어 방법 관련 특허 다수 등록: 웨이퍼를 고정하는 정전척의 리페어 방법, 정전척 어셈블리, 정전척의 에지링 등 다수의 특허를 보유.정전척의 리페어 방법 관련 특허 다수 등록: 웨이퍼를 고정하는 정전척의 리페어 방법, 정전척 어셈블리, 정전척의 에지링 등 다수의 특허를 보유.
- ISO 45001 인증: 2020년 1월 안전보건경영시스템 ISO 45001 인증 획득.ISO 45001 인증: 2020년 1월 안전보건경영시스템 ISO 45001 인증 획득.
- 삼성전자 4zone Heater 일체형 ESC 양산 평가 인증: 2020년 8월 31일 삼성전자로부터 4zone Heater 일체형 ESC (모델명: AMAT SYM34 Zone)에 대한 양산 평가 인증 획득.삼성전자 4zone Heater 일체형 ESC 양산 평가 인증: 2020년 8월 31일 삼성전자로부터 4zone Heater 일체형 ESC (모델명: AMAT SYM34 Zone)에 대한 양산 평가 인증 획득.
- SK하이닉스 기술혁신 기업 선정: 2020년 6월 SK하이닉스 4기 기술혁신 기업으로 선정.SK하이닉스 기술혁신 기업 선정: 2020년 6월 SK하이닉스 4기 기술혁신 기업으로 선정.
- 한국을 빛낸 무역인상 수상: 2024년 1분기 한국무역협회와 한국경제신문사가 선정한 '한국을 빛낸 무역인상' 수상.한국을 빛낸 무역인상 수상: 2024년 1분기 한국무역협회와 한국경제신문사가 선정한 '한국을 빛낸 무역인상' 수상.
- 벤처창업진흥유공포상 대통령표창: 2018년 12월 벤처창업진흥유공포상 대통령표창 수상.벤처창업진흥유공포상 대통령표창: 2018년 12월 벤처창업진흥유공포상 대통령표창 수상.
- 경기도 유망중소기업 인증: 2019년 11월 경기도 유망중소기업 인증.경기도 유망중소기업 인증: 2019년 11월 경기도 유망중소기업 인증.
- 가족친화기업 인증: 2017년 12월 여성가족부로부터 가족친화기업 인증.가족친화기업 인증: 2017년 12월 여성가족부로부터 가족친화기업 인증.
- 청년친화 강소기업 선정: 고용노동부로부터 청년친화 강소기업으로 여러 차례 선정.청년친화 강소기업 선정: 고용노동부로부터 청년친화 강소기업으로 여러 차례 선정.
기업 소개
기업 위치
경기도 화성시 동탄산단6길 53-37