• 설비 내의 웨이퍼 제조환경 관련 데이터(온도, 압력 등)를 분석, 제공
• 설비의 이상 동작을 조기에 발견하고 조치할 수 있도록 함

주요기능

FDC(Fault Detection and Classification)는 Data를 수집, 분석해 Fault를 실시간으로 감지 및 Monitoring할 수 있고 진단이 끝난 Fault에 대해서는 향후 참조 및 재활용이 가능하도록 원인과 현상에 따라 분류해 미래의 Fault에 대한 추적 및 원인 분석을 용이하게 할 수 있도록 도와줍니다. 이는 엔지니어가 문제가 발생했을 때 신속하게 대처하고 미래의 문제를 예방할 수 있도록 도와줍니다.

• FDC를 통해 사용자는 중앙에서 설비의 성능과 상태를 측정 및 비교해 전체 시스템의 안정성을 높일 수 있다.
• 성능의 개선이 필요한 부분이나 문제점을 쉽게 파악해 유지 보수에 따른 시간과 비용을 줄일 수 있다.
• Fault에 대한 정확한 관리를 통해 비용과 Scrap을 최소화하고 수율을 향상시킬 수 있다.

제품 특징

• 4-20mA, 16 bit ADC 입력(예비 아날로그 입력 1ch 입력)
• Fault & Alarm Relay 출력
• 입력 전원 +24V DC(JFDC-100가 사용하는 전류량 최대 50mA)
• 벽부형 또는 판넬형 거치형(Steel 소재)
• LED 테스트 버튼 기능 지원
• 리셋 버튼 기능 지원
• 입력 아날로그 값 세크먼트 출력
• Ready 값 LED 표시
• Warning 값 LED 표시
• Fault 값 LED 표시
• Alarm 값 LED 표시
• Modbus통신 지원
• Warning 값을 모드 버스를 통해 설정 가능

제품설명