기업 기본 정보
설립일자
2016-04-25
업종
반도체 제조용 기계 제조업
운영여부
운영중
업데이트
2025-12-04
기업 개요
- 한줄 요약
- 반도체 습도 제어 및 환경 제어 시스템 전문 기업. 첨단 산업의 수율 향상을 위한 글로벌 기술 선도 비전. 1세대 N2 Purge 시스템과 2세대 JFS를 포함한 독자적인 습도 제어 솔루션 개발 및 공급. 반도체, 디스플레이, 이차전지, 태양광 등 다양한 첨단 산업 분야로 사업 영역 확장.반도체 습도 제어 및 환경 제어 시스템 전문 기업. 첨단 산업의 수율 향상을 위한 글로벌 기술 선도 비전. 1세대 N2 Purge 시스템과 2세대 JFS를 포함한 독자적인 습도 제어 솔루션 개발 및 공급. 반도체, 디스플레이, 이차전지, 태양광 등 다양한 첨단 산업 분야로 사업 영역 확장.
- 대표 제품군/보유 기술
- 1세대 습도 제어 솔루션인 N2 Purge System은 LPM(Load Port Module), BIP(Built in Purge), CFB(Contamination Free Buffer) 등의 제품군.1세대 습도 제어 솔루션인 N2 Purge System은 LPM(Load Port Module), BIP(Built in Purge), CFB(Contamination Free Buffer) 등의 제품군.
- LPM은 FOUP(Front Opening Unified Pod) 내부 습도를 5% 이하로 저감하여 웨이퍼 품질과 신뢰성을 개선하는 기술.LPM은 FOUP(Front Opening Unified Pod) 내부 습도를 5% 이하로 저감하여 웨이퍼 품질과 신뢰성을 개선하는 기술.
- BIP는 Batch 타입 증착 공정 전용으로 EFEM(Equipment Front End Module) 내부에 장착되는 시스템.BIP는 Batch 타입 증착 공정 전용으로 EFEM(Equipment Front End Module) 내부에 장착되는 시스템.
- CFB는 식각 공정 전후 웨이퍼 표면의 이물 및 잔류 가스를 제거하는 장비.CFB는 식각 공정 전후 웨이퍼 표면의 이물 및 잔류 가스를 제거하는 장비.
- 2세대 습도 제어 솔루션 JFS(Jet Flow Straightener)는 EFEM 내부 기류를 제어하여 FOUP 내부 습도를 최대 1%까지 낮추는 세계 최초의 기술.2세대 습도 제어 솔루션 JFS(Jet Flow Straightener)는 EFEM 내부 기류를 제어하여 FOUP 내부 습도를 최대 1%까지 낮추는 세계 최초의 기술.
- JFS는 LPM이 FOUP 문을 열 때 강한 기류를 형성하여 습한 공기 유입을 차단하고 웨이퍼 표면의 자연 산화막 생성을 억제, 수율 저하를 방지하는 효과.JFS는 LPM이 FOUP 문을 열 때 강한 기류를 형성하여 습한 공기 유입을 차단하고 웨이퍼 표면의 자연 산화막 생성을 억제, 수율 저하를 방지하는 효과.
- AI 기반의 정밀 제어 시스템인 AIP-JFS는 JFS의 습도 제어 성능을 생산 라인 환경에 최적화하고 AI가 기류 흐름을 분석하여 속도 및 강도를 제어, 생산 라인 안정성 극대화.AI 기반의 정밀 제어 시스템인 AIP-JFS는 JFS의 습도 제어 성능을 생산 라인 환경에 최적화하고 AI가 기류 흐름을 분석하여 속도 및 강도를 제어, 생산 라인 안정성 극대화.
- 3세대 습도 제어 솔루션 JDM(Justem Dry Module)은 EFEM 내부 전체의 습도를 낮추는 제습 모듈로, FOUP 1% 이하, EFEM 5% 이하 습도 유지를 목표로 개발 중.3세대 습도 제어 솔루션 JDM(Justem Dry Module)은 EFEM 내부 전체의 습도를 낮추는 제습 모듈로, FOUP 1% 이하, EFEM 5% 이하 습도 유지를 목표로 개발 중.
- JDS(Justem Dry System)는 JDM과 JFS 기능을 연계하여 EFEM 제습 및 FOUP 내부 기류 안정화를 제공하는 토탈 솔루션.JDS(Justem Dry System)는 JDM과 JFS 기능을 연계하여 EFEM 제습 및 FOUP 내부 기류 안정화를 제공하는 토탈 솔루션.
- STB(Stocker Nitrogen Purge)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 이동 중 대기 구간에서도 N2 Purge를 가능하게 하는 신규 제품군.STB(Stocker Nitrogen Purge)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 이동 중 대기 구간에서도 N2 Purge를 가능하게 하는 신규 제품군.
- 자회사 플람을 통해 저온(60~80℃)에서도 플라즈마 처리가 가능한 Cold Plasma 기술 보유, OLED 소재 세정 등 열적 문제를 최소화하고 표면 개질 효과를 극대화하는 역량.자회사 플람을 통해 저온(60~80℃)에서도 플라즈마 처리가 가능한 Cold Plasma 기술 보유, OLED 소재 세정 등 열적 문제를 최소화하고 표면 개질 효과를 극대화하는 역량.
- 경쟁 우위 포인트
- 반도체 습도 제어 분야에서 독자적인 원천기술을 기반으로 1세대 N2 Purge 시스템부터 3세대 제품까지 라인업을 구축하며 시장을 선도하는 기술력.반도체 습도 제어 분야에서 독자적인 원천기술을 기반으로 1세대 N2 Purge 시스템부터 3세대 제품까지 라인업을 구축하며 시장을 선도하는 기술력.
- 글로벌 IDM 3사(삼성전자, SK하이닉스, 마이크론)에 모두 납품하며 반도체 습도 제어 솔루션 시장에서 약 85%의 높은 시장 점유율 확보.글로벌 IDM 3사(삼성전자, SK하이닉스, 마이크론)에 모두 납품하며 반도체 습도 제어 솔루션 시장에서 약 85%의 높은 시장 점유율 확보.
- 전 세계 11개 LPM 제조사의 110개 모든 모델에 대응 가능한 유일한 기업으로서 고객 맞춤형 솔루션 제공 능력.전 세계 11개 LPM 제조사의 110개 모든 모델에 대응 가능한 유일한 기업으로서 고객 맞춤형 솔루션 제공 능력.
- 반도체 공정 미세화에 따른 수율 저하 문제를 해결하는 핵심 기술로, 웨이퍼 표면의 자연 산화막 생성 억제 및 파티클, 구리 부식 방지를 통한 수율 2~3% 개선 효과.반도체 공정 미세화에 따른 수율 저하 문제를 해결하는 핵심 기술로, 웨이퍼 표면의 자연 산화막 생성 억제 및 파티클, 구리 부식 방지를 통한 수율 2~3% 개선 효과.
- 약 330~340건에 달하는 출원 및 등록 특허를 통해 강력한 기술적 해자를 구축하고 경쟁사의 시장 진입을 방어하는 지적 재산권 보호.약 330~340건에 달하는 출원 및 등록 특허를 통해 강력한 기술적 해자를 구축하고 경쟁사의 시장 진입을 방어하는 지적 재산권 보호.
- 반도체 외 디스플레이, 이차전지, 태양광, 바이오, 플라즈마 등 다양한 첨단 산업 분야로의 성공적인 사업 다각화 및 신규 성장 동력 확보.반도체 외 디스플레이, 이차전지, 태양광, 바이오, 플라즈마 등 다양한 첨단 산업 분야로의 성공적인 사업 다각화 및 신규 성장 동력 확보.
- 전 임직원의 25% 이상을 연구개발 인력으로 구성하고 매년 매출의 15% 내외를 연구개발에 집중 투자하는 지속적인 기술 혁신 노력.전 임직원의 25% 이상을 연구개발 인력으로 구성하고 매년 매출의 15% 내외를 연구개발에 집중 투자하는 지속적인 기술 혁신 노력.
- 적용 산업
- 반도체 산업반도체 산업
- 디스플레이 산업디스플레이 산업
- 이차전지 산업이차전지 산업
- 태양광 산업태양광 산업
- 바이오 산업바이오 산업
- 주요 시장
- 대만, 싱가포르, 일본, 중국대만, 싱가포르, 일본, 중국
- 미국 (삼성 테일러 공장 대응 현지 법인 설립 준비)미국 (삼성 테일러 공장 대응 현지 법인 설립 준비)
- 인증/특허
- 2019년 기술 혁신형 중소기업 AA 등급 이노비즈 인증 획득.2019년 기술 혁신형 중소기업 AA 등급 이노비즈 인증 획득.
- 2022년 강소기업 선정 및 코스닥 상장으로 기술력 인정.2022년 강소기업 선정 및 코스닥 상장으로 기술력 인정.
- 2023년 과학기술정보통신부 최우수 기업연구소로 선정 (중소기업 최초).2023년 과학기술정보통신부 최우수 기업연구소로 선정 (중소기업 최초).
- 2024년 연구개발 최고의 권위인 장영실상 수상.2024년 연구개발 최고의 권위인 장영실상 수상.
- 2025년 반도체 공정 습도 제어 1세대 제품 'N2 LPM'이 산업통상자원부와 KOTRA 주관 '세계일류상품'에 선정.2025년 반도체 공정 습도 제어 1세대 제품 'N2 LPM'이 산업통상자원부와 KOTRA 주관 '세계일류상품'에 선정.
- 총 330~340건에 달하는 출원 및 등록 특허 보유.총 330~340건에 달하는 출원 및 등록 특허 보유.
- 습도 솔루션, 진공 제전 장치, 기계 장치 등 다양한 분야의 산업재산권 확보.습도 솔루션, 진공 제전 장치, 기계 장치 등 다양한 분야의 산업재산권 확보.
- 자회사 플람은 자체 플라즈마 기술 관련 31건의 특허를 보유.자회사 플람은 자체 플라즈마 기술 관련 31건의 특허를 보유.
기업 소개
기업 위치
경기도 용인시 기흥구 탑실로35번길 57