인베니아(주)는 2001년 설립된 디스플레이 핵심 장비 전문 기업. Dry-Etcher의 국내 최초 국산화 성공을 통해 기술 경쟁력을 확보한 기업. LCD 및 OLED 패널 제조에 필요한 다양한 전공정 및 후공정 장비를 개발, 생산, 판매하는 기업. 차세대 디스플레이 제조에 필수적인 핵심 장비 기술을 보유하며 시장을 선도하는 기업.인베니아(주)는2001년설립된디스플레이핵심장비전문기업.Dry-Etcher의국내최초국산화성공을통해기술경쟁력을확보한기업.LCD및OLED패널제조에필요한다양한전공정및후공정장비를개발,생산,판매하는기업.차세대디스플레이제조에필수적인핵심장비기술을보유하며시장을선도하는기업.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
주요 제품군은 디스플레이 패널 제조 공정의 핵심 장비인 Dry Etcher (건식 식각 장비). 이 장비는 LCD TFT 전공정에서 플라즈마를 이용하여 박막을 식각하는 기술. 고밀도 플라즈마 적용과 높은 선택비를 통해 다른 물질에 영향을 주지 않고 원하는 특정 부분만을 식각하는 장점. ICP (Inductively Coupled Plasma) 장비는 챔버 외부에 위치한 안테나로 플라즈마를 제어하며 고밀도 플라즈마를 얻을 수 있는 기술. ECCP (Electron Cyclotron Resonance Plasma) 장비는 두 개의 상하부 전극 사이에 플라즈마를 발생시키고 플라즈마 밀도와 이온 에너지를 개별적으로 조절 가능한 기술.주요제품군은디스플레이패널제조공정의핵심장비인DryEtcher(건식식각장비).이장비는LCDTFT전공정에서플라즈마를이용하여박막을식각하는기술.고밀도플라즈마적용과높은선택비를통해다른물질에영향을주지않고원하는특정부분만을식각하는장점.ICP(InductivelyCoupledPlasma)장비는챔버외부에위치한안테나로플라즈마를제어하며고밀도플라즈마를얻을수있는기술.ECCP(ElectronCyclotronResonancePlasma)장비는두개의상하부전극사이에플라즈마를발생시키고플라즈마밀도와이온에너지를개별적으로조절가능한기술.
또한, 2매의 LCD용 글래스 기판을 정확하게 위치 결정 후 가압 밀착시키는 Align & Hot Press System (열가압 합착기)을 보유. OLED 전처리에 사용되는 Plasma Treatment (플라즈마 열처리기)는 넓은 공정 범위와 우수한 생산성, 습윤성 선택성을 제공하는 기술. PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비는 유기물질 증착 및 박막 봉지 공정에 주로 적용되는 증착 장비.또한,2매의LCD용글래스기판을정확하게위치결정후가압밀착시키는Align&HotPressSystem(열가압합착기)을보유.OLED전처리에사용되는PlasmaTreatment(플라즈마열처리기)는넓은공정범위와우수한생산성,습윤성선택성을제공하는기술.PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)장비는유기물질증착및박막봉지공정에주로적용되는증착장비.
고진공 인라인 이송 시스템인 Vacuum Transfer (진공 이송 시스템)은 빠른 작동 시간과 낮은 파티클 발생을 특징으로 하는 기술. 이 외에도 Vacuum Lamination, Hot Wind Circulation Presser, Mask Particle Inspection & Repair, Evaporation Particle AOI, Encap.(Film) Monitoring Inspection 등의 다양한 장비 기술을 제공. HVCD (High Vacuum Chemical Vapor Deposition) 장비 개발 및 PI Coater 장비 개발 역량.고진공인라인이송시스템인VacuumTransfer(진공이송시스템)은빠른작동시간과낮은파티클발생을특징으로하는기술.이외에도VacuumLamination,HotWindCirculationPresser,MaskParticleInspection&Repair,EvaporationParticleAOI,Encap.(Film)MonitoringInspection등의다양한장비기술을제공.HVCD(HighVacuumChemicalVaporDeposition)장비개발및PICoater장비개발역량.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
디스플레이 핵심 장비인 Dry Etcher의 국내 최초 국산화에 성공하며 기술 경쟁력을 확보한 점.디스플레이핵심장비인DryEtcher의국내최초국산화에성공하며기술경쟁력을확보한점.
국내 최초로 10.5세대 대면적 Dry Etcher 장비를 BOE에 공급하는 등 대면적 장비 기술력에서 선도적인 위치. 세계 최초 White OLED 공정 장비 양산 경험 보유.국내최초로10.5세대대면적DryEtcher장비를BOE에공급하는등대면적장비기술력에서선도적인위치.세계최초WhiteOLED공정장비양산경험보유.
유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 특허 등 플라즈마 기술에 대한 높은 전문성 보유. 건식 식각 장비의 고밀도 플라즈마 적용 및 높은 선택비 기술.유도결합플라즈마처리장치용안테나조립체특허등플라즈마기술에대한높은전문성보유.건식식각장비의고밀도플라즈마적용및높은선택비기술.
2010년대 중반부터 중국 시장을 집중 공략하여 BOE, CSOT, Chuzhou HKC Display Technology 등 주요 고객사를 확보하며 중화권 시장을 선점한 점.2010년대중반부터중국시장을집중공략하여BOE,CSOT,ChuzhouHKCDisplayTechnology등주요고객사를확보하며중화권시장을선점한점.
LCD 장비에서 축적된 공정 기술을 바탕으로 OLED용 식각 장비 경쟁력을 강화하며 사업 포트폴리오를 OLED 중심으로 재편한 점. OLED 보호장치 특허 취득을 통한 기술적 우위 확보.LCD장비에서축적된공정기술을바탕으로OLED용식각장비경쟁력을강화하며사업포트폴리오를OLED중심으로재편한점.OLED보호장치특허취득을통한기술적우위확보.
LG디스플레이의 8.6세대 OLED 라인 투자와 관련하여 대규모 수주로 이어질 수 있는 긴밀한 파트너십 관계. 다수의 연구개발 실적을 통해 지속적인 기술 혁신과 품질 향상을 추구하는 역량.LG디스플레이의8.6세대OLED라인투자와관련하여대규모수주로이어질수있는긴밀한파트너십관계.다수의연구개발실적을통해지속적인기술혁신과품질향상을추구하는역량.
적용 산업적용산업
주요 적용 산업은 TFT-LCD 및 OLED 패널 제조를 포함하는 디스플레이 산업 전반.주요적용산업은TFT-LCD및OLED패널제조를포함하는디스플레이산업전반.
특히, 차세대 디스플레이 제조에 필수적인 핵심 장비를 공급하며 미래 디스플레이 기술 발전에 기여.특히,차세대디스플레이제조에필수적인핵심장비를공급하며미래디스플레이기술발전에기여.
주요 시장주요시장
중국, 대만중국,대만
인증/특허인증/특허
2020년 유도 결합 플라즈마 처리장치 특허 취득.2020년유도결합플라즈마처리장치특허취득.
2018년 액정표시장치 식각공정용 플라즈마 처리 장치 특허 취득.2018년액정표시장치식각공정용플라즈마처리장치특허취득.