반도체 장비 개발 및 제조 전문 기업으로서, 웨이퍼 세정, 식각, 스트립 공정 장비와 웨이퍼 핸들링 시스템을 주력으로 공급하는 기업반도체장비개발및제조전문기업으로서,웨이퍼세정,식각,스트립공정장비와웨이퍼핸들링시스템을주력으로공급하는기업
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
Wet Station (TRAUM): 반도체 제조 공정 중 식각(Etching) 및 스트립(Strip) 공정을 수행하는 장비로, 웨이퍼 1매에서 50매까지 배치(BATCH) 처리 방식 지원 및 사용자 사양에 따른 카세트(CASSETTE) 타입과 카세트리스(CASSETTELESS) 타입 대응 가능.WetStation(TRAUM):반도체제조공정중식각(Etching)및스트립(Strip)공정을수행하는장비로,웨이퍼1매에서50매까지배치(BATCH)처리방식지원및사용자사양에따른카세트(CASSETTE)타입과카세트리스(CASSETTELESS)타입대응가능.
Spin Processor (ASTRO): 반도체 제조 공정의 웨이퍼 클리닝(Wafer Cleaning), 식각(Etching), 스트립(Strip) 등 다양한 공정에 대응하는 매엽식(Single Wafer) 장비.SpinProcessor(ASTRO):반도체제조공정의웨이퍼클리닝(WaferCleaning),식각(Etching),스트립(Strip)등다양한공정에대응하는매엽식(SingleWafer)장비.
Sorter: 효율적인 반도체 생산 및 팹(Fab) 운영을 위해 웨이퍼의 분류(Sort), 분할(Split), 취합(Gather) 작업을 자동으로 실행하는 장비.Sorter:효율적인반도체생산및팹(Fab)운영을위해웨이퍼의분류(Sort),분할(Split),취합(Gather)작업을자동으로실행하는장비.
Cassette Cleaner: Foup, Cassette, Cassette Box 등을 회전 방식을 이용하여 세정 및 건조하는 장비.CassetteCleaner:Foup,Cassette,CassetteBox등을회전방식을이용하여세정및건조하는장비.
LAB SERIES (Spin Lab Series): 대학, 연구센터 등 개발 목적으로 최적화된 매엽식 스핀 처리 방식의 테스트 장비.LABSERIES(SpinLabSeries):대학,연구센터등개발목적으로최적화된매엽식스핀처리방식의테스트장비.
8인치 웨이퍼 공정 상용화 기술: SiC(Silicon Carbide) 웨이퍼를 포함한 8인치 웨이퍼 공정 상용화 개발 및 테스트 완료, 8인치 웨이퍼 전용 세정 장비 개발 역량 보유.8인치웨이퍼공정상용화기술:SiC(SiliconCarbide)웨이퍼를포함한8인치웨이퍼공정상용화개발및테스트완료,8인치웨이퍼전용세정장비개발역량보유.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
반도체 장비 개발 및 제조 분야에서 20년 이상의 풍부한 경험과 노하우를 축적한 전문 기업.반도체장비개발및제조분야에서20년이상의풍부한경험과노하우를축적한전문기업.
고객의 요구에 앞서 문제를 해결하고 최고의 기술과 서비스로 최상의 결과를 창출하려는 고객 중심의 경영 철학.고객의요구에앞서문제를해결하고최고의기술과서비스로최상의결과를창출하려는고객중심의경영철학.
베테랑 연구진의 역량을 결집한 최신 설비 개발 및 공급 능력.베테랑연구진의역량을결집한최신설비개발및공급능력.
8인치 웨이퍼 공정 상용화 개발 완료 및 전용 세정 장비 기술 확보를 통한 시장 경쟁력 강화.8인치웨이퍼공정상용화개발완료및전용세정장비기술확보를통한시장경쟁력강화.
웨트(Wet), 스핀(Spin) 공정 및 웨이퍼 핸들링 등 반도체 제조의 핵심 공정에 대응하는 폭넓은 제품 포트폴리오.웨트(Wet),스핀(Spin)공정및웨이퍼핸들링등반도체제조의핵심공정에대응하는폭넓은제품포트폴리오.
국내 주요 반도체 메이커를 비롯하여 일본 등 다양한 지역에 파트너사를 보유한 안정적인 사업 기반.국내주요반도체메이커를비롯하여일본등다양한지역에파트너사를보유한안정적인사업기반.
적용 산업적용산업
반도체 제조 산업반도체제조산업
LCD 제조 산업LCD제조산업
주요 시장주요시장
일본일본
인증/특허인증/특허
반도체 세정 장비 분야의 기술 리더십 확보.반도체세정장비분야의기술리더십확보.
8인치 SiC 웨이퍼 공정 상용화 개발 및 전용 세정 장비 기술력.8인치SiC웨이퍼공정상용화개발및전용세정장비기술력.
매엽식(Single Wafer) 및 배치식(Batch) 처리 방식 모두에 대응 가능한 유연한 장비 기술력.매엽식(SingleWafer)및배치식(Batch)처리방식모두에대응가능한유연한장비기술력.