Impedans는 혁신적인 플라즈마 및 RF 측정 기술의 선도적인 공급업체. 나노 스케일 제조 분야에서 정확한 공정 측정과 공정 안정성, 반복성을 위한 고급 센서 및 시스템 제공 기업. 기초 연구, 장비 설계, 교정 및 테스트, 공정 개발 및 공정 제어를 포함한 다양한 산업 및 애플리케이션에 사용되는 솔루션 제공.Impedans는혁신적인플라즈마및RF측정기술의선도적인공급업체.나노스케일제조분야에서정확한공정측정과공정안정성,반복성을위한고급센서및시스템제공기업.기초연구,장비설계,교정및테스트,공정개발및공정제어를포함한다양한산업및애플리케이션에사용되는솔루션제공.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
벌크 플라즈마 센서 (Bulk Plasma Sensors): Langmuir Probe 시스템은 플라즈마 전위, 전하 입자 밀도 (전자 및 이온), 전자 온도와 같은 핵심 플라즈마 매개변수를 측정. Plato Probe는 증착 플라즈마에서 절연막이 프로브 표면에 증착될 때 작동하도록 설계된 평면 Langmuir Probe. 이는 수십 마이크론 두께의 증착층을 통해 플라즈마 매개변수를 정확하게 측정하는 독점 기술.벌크플라즈마센서(BulkPlasmaSensors):LangmuirProbe시스템은플라즈마전위,전하입자밀도(전자및이온),전자온도와같은핵심플라즈마매개변수를측정.PlatoProbe는증착플라즈마에서절연막이프로브표면에증착될때작동하도록설계된평면LangmuirProbe.이는수십마이크론두께의증착층을통해플라즈마매개변수를정확하게측정하는독점기술.
기판 레벨 센서 (Substrate Level Sensors): Semion Retarding Field Energy Analyser (RFEA) 시스템은 실시간으로 표면에 도달하는 이온 플럭스 및 이온 에너지 분포를 측정. Semion 3 keV는 최대 3kV 피크-피크의 RF 바이어스를 가진 표면에 도달하는 이온 에너지를 측정하는 단일 센서. Quantum 시스템은 RFEA와 통합된 석영 결정 미세 저울(QCM)로 구성되어 이온 에너지 분포 함수(IEDF)와 이온-중성 증착 비율을 측정.기판레벨센서(SubstrateLevelSensors):SemionRetardingFieldEnergyAnalyser(RFEA)시스템은실시간으로표면에도달하는이온플럭스및이온에너지분포를측정.Semion3keV는최대3kV피크-피크의RF바이어스를가진표면에도달하는이온에너지를측정하는단일센서.Quantum시스템은RFEA와통합된석영결정미세저울(QCM)로구성되어이온에너지분포함수(IEDF)와이온-중성증착비율을측정.
RF 전압-전류 (VI) 프로브 (RF Voltage-Current (VI) Probes): RF 파라미터를 측정하도록 설계된 센서로, 연속파 및 펄스 RF 애플리케이션에서 정확한 인라인 RF 전력 및 임피던스 측정 가능. 최대 15개의 고조파 주파수에 대한 동일한 매개변수 측정 및 RF 파형 재현, 플라즈마 이온 플럭스 예측 기능 제공. Octiv 제품군은 최대 6.0:1 VSWR에서 1%의 전력 측정 정확도를 제공하며, 광범위한 임피던스에서 매우 정확한 임피던스 측정 가능.RF전압-전류(VI)프로브(RFVoltage-Current(VI)Probes):RF파라미터를측정하도록설계된센서로,연속파및펄스RF애플리케이션에서정확한인라인RF전력및임피던스측정가능.최대15개의고조파주파수에대한동일한매개변수측정및RF파형재현,플라즈마이온플럭스예측기능제공.Octiv제품군은최대6.0:1VSWR에서1%의전력측정정확도를제공하며,광범위한임피던스에서매우정확한임피던스측정가능.
Moduli RF 분광계 (Moduli RF Spectrometer): 플라즈마 챔버 외부에서 플라즈마에 의해 방출되는 고조파를 직접 모니터링하는 비침습적 RF 감지기. 인라인 RF 센서 설치가 불가능한 시나리오에 적합하며, 생산 장비의 종점 감지 및 결함 감지에 사용.ModuliRF분광계(ModuliRFSpectrometer):플라즈마챔버외부에서플라즈마에의해방출되는고조파를직접모니터링하는비침습적RF감지기.인라인RF센서설치가불가능한시나리오에적합하며,생산장비의종점감지및결함감지에사용.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
혁신적인 플라즈마 및 RF 측정 기술 선도 기업. 나노 스케일 제조의 미래에 필수적인 정확한 공정 측정, 공정 안정성 및 반복성 제공.혁신적인플라즈마및RF측정기술선도기업.나노스케일제조의미래에필수적인정확한공정측정,공정안정성및반복성제공.
플라즈마 물리학 전문가 팀을 통한 심층적인 지식과 지원. 초기 상담부터 지속적인 유지보수 및 지원까지 전체 프로세스에 걸친 전문성 제공.플라즈마물리학전문가팀을통한심층적인지식과지원.초기상담부터지속적인유지보수및지원까지전체프로세스에걸친전문성제공.
ISO 9001, ISO 45001, ISO 14001 인증을 통한 품질 관리, 직원 안전 및 환경 지속 가능성에 대한 높은 표준 준수. 고객 기대치를 뛰어넘는 제품 및 서비스의 일관된 제공 능력.ISO9001,ISO45001,ISO14001인증을통한품질관리,직원안전및환경지속가능성에대한높은표준준수.고객기대치를뛰어넘는제품및서비스의일관된제공능력.
PlatoProbe와 같은 독점적인 특허 기술 보유. 증착 플라즈마 환경에서 증착층을 통해 정확한 플라즈마 매개변수 측정이 가능한 유일한 Langmuir Probe 시스템.PlatoProbe와같은독점적인특허기술보유.증착플라즈마환경에서증착층을통해정확한플라즈마매개변수측정이가능한유일한LangmuirProbe시스템.
최고의 샘플링 속도 (80 MS/s)를 자랑하는 Langmuir Probe 시스템. 펄스 프로파일링 및 단일 샷 플라즈마를 탁월한 시간 해상도로 측정하는 능력.최고의샘플링속도(80MS/s)를자랑하는LangmuirProbe시스템.펄스프로파일링및단일샷플라즈마를탁월한시간해상도로측정하는능력.
NIST(미국 국립표준기술연구소) 추적 가능한 1% 정확도의 RF 전력 및 임피던스 측정. 광범위한 VSWR 범위에서 정확도를 유지하는 고급 교정 방법론.NIST(미국국립표준기술연구소)추적가능한1%정확도의RF전력및임피던스측정.광범위한VSWR범위에서정확도를유지하는고급교정방법론.
적용 산업적용산업
반도체 제조 (Semiconductor Manufacturing): 공정 개발, 실시간 공정 모니터링 및 장비 유지보수.반도체제조(SemiconductorManufacturing):공정개발,실시간공정모니터링및장비유지보수.
연구 및 개발 (Research and Development): 대학 및 연구 기관의 플라즈마 물리학 연구, 장비 개발, 공정 개발 및 모델 검증.연구및개발(ResearchandDevelopment):대학및연구기관의플라즈마물리학연구,장비개발,공정개발및모델검증.
태양광 (Solar): 플라즈마 표면 활성화를 통한 태양 전지 효율 개선.태양광(Solar):플라즈마표면활성화를통한태양전지효율개선.
항공우주 및 군사 (Aerospace & Military): 재료 코팅 성능 및 추진기 성능 향상, 기초 플라즈마 연구.항공우주및군사(Aerospace&Military):재료코팅성능및추진기성능향상,기초플라즈마연구.
의료기기 제조 (Medical Device Manufacturing): 표면 활성화 공정의 성능, 수율 및 처리량 개선.의료기기제조(MedicalDeviceManufacturing):표면활성화공정의성능,수율및처리량개선.
RF 전력 (RF Power): 통신 및 방송, RF 살균, RF 가열, 레이더 산업.RF전력(RFPower):통신및방송,RF살균,RF가열,레이더산업.
평판 디스플레이 (Flat Panel), 박막 (Thin Film), 하드 디스크 (Hard Disk) 산업.평판디스플레이(FlatPanel),박막(ThinFilm),하드디스크(HardDisk)산업.
주요 시장주요시장
대한민국 (Komachine 정보 기반)대한민국(Komachine정보기반)
아일랜드 (본사), 스위스 (CERN)아일랜드(본사),스위스(CERN)
미국 (Applied Materials)미국(AppliedMaterials)
호주 (Australian National University)호주(AustralianNationalUniversity)
인증/특허인증/특허
ISO 9001 (품질 경영 시스템) 인증.ISO9001(품질경영시스템)인증.
ISO 45001 (안전 보건 경영 시스템) 인증.ISO45001(안전보건경영시스템)인증.
ISO 14001 (환경 경영 시스템) 인증.ISO14001(환경경영시스템)인증.
특허 번호 12399474: 플라즈마 처리 시스템의 매칭 유닛 컨트롤러 (Controller for a matching unit of a plasma processing system).특허번호12399474:플라즈마처리시스템의매칭유닛컨트롤러(Controllerforamatchingunitofaplasmaprocessingsystem).
특허 번호 12136542: 플라즈마 공정의 이온 에너지 분석 장치 (Apparatus for ion energy analysis of plasma processes).특허번호12136542:플라즈마공정의이온에너지분석장치(Apparatusforionenergyanalysisofplasmaprocesses).
특허 번호 11908668: 플라즈마 공정의 이온 에너지 분석 장치 (Apparatus for ion energy analysis of plasma processes).특허번호11908668:플라즈마공정의이온에너지분석장치(Apparatusforionenergyanalysisofplasmaprocesses).
특허 번호 9263236: 플라즈마 공정 매개변수 감지 (Sensing of plasma process parameters).특허번호9263236:플라즈마공정매개변수감지(Sensingofplasmaprocessparameters).
PlatoProbe의 초고속 바이어싱(ultrafast biasing) 기술은 증착된 필름을 관통하여 정확한 플라즈마 매개변수를 측정하는 특허 기술.PlatoProbe의초고속바이어싱(ultrafastbiasing)기술은증착된필름을관통하여정확한플라즈마매개변수를측정하는특허기술.
기업 소개
기업 위치
Chase House, City Junction Business Park, Dublin, D17 AK63, Ireland
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Chase House, City Junction Business Park, Dublin, D17 AK63, Ireland