HPSP는 반도체 미세공정에서 핵심적인 역할을 수행하는 고압 어닐링 및 산화 장비의 세계 유일 공급 기업. 이 기업은 독자적인 고압 수소 어닐링 기술을 통해 반도체 소자의 성능과 신뢰성을 획기적으로 향상시키는 솔루션 제공 기업. 글로벌 선도 반도체 제조사들의 첨단 칩 생산에 필수적인 장비를 공급하며 반도체 로드맵의 핵심 파트너.HPSP는반도체미세공정에서핵심적인역할을수행하는고압어닐링및산화장비의세계유일공급기업.이기업은독자적인고압수소어닐링기술을통해반도체소자의성능과신뢰성을획기적으로향상시키는솔루션제공기업.글로벌선도반도체제조사들의첨단칩생산에필수적인장비를공급하며반도체로드맵의핵심파트너.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
주요 제품군은 반도체 전공정용 고압 수소 어닐링(HPA) 장비와 고압 산화(HPO) 장비. 대표적인 고압 수소 어닐링 장비는 'GENI-SYS' 시리즈.주요제품군은반도체전공정용고압수소어닐링(HPA)장비와고압산화(HPO)장비.대표적인고압수소어닐링장비는'GENI-SYS'시리즈.
이 장비는 초고압(최대 25기압) 환경에서 100% 순수 수소 농도를 유지하며 웨이퍼 열처리 공정을 진행하는 기술.이장비는초고압(최대25기압)환경에서100%순수수소농도를유지하며웨이퍼열처리공정을진행하는기술.
기존 고온 방식 대비 250~450도 이하의 저온 공정 구현으로 웨이퍼 손상 위험 감소 및 열 예산 부담 경감.기존고온방식대비250~450도이하의저온공정구현으로웨이퍼손상위험감소및열예산부담경감.
계면 결함 제거 효과가 뛰어나 트랜지스터의 구동 전류를 최대 10~15% 향상시키고 누설 전류 감소 및 전하 이동 속도 개선에 기여.계면결함제거효과가뛰어나트랜지스터의구동전류를최대10~15%향상시키고누설전류감소및전하이동속도개선에기여.
2나노미터 이하의 초미세 공정 및 GAA(Gate-All-Around) 구조 확산에 필수적인 솔루션.2나노미터이하의초미세공정및GAA(Gate-All-Around)구조확산에필수적인솔루션.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
세계 최초이자 유일하게 고압 수소 어닐링 장비를 상업 생산하는 독점적 시장 지위.세계최초이자유일하게고압수소어닐링장비를상업생산하는독점적시장지위.
반도체 미세공정에서 '성능을 완성시키는 최종 공정'을 담당하는 유일한 장비기업.반도체미세공정에서'성능을완성시키는최종공정'을담당하는유일한장비기업.
고압을 견디는 용기, 압력 및 온도 제어 장치, High-K 절연막 제조 공정 등 광범위한 장치 및 공정 특허 보유로 높은 진입 장벽 형성.고압을견디는용기,압력및온도제어장치,High-K절연막제조공정등광범위한장치및공정특허보유로높은진입장벽형성.
글로벌 주요 반도체 제조사들의 양산 라인에 깊이 적용되어 후발 업체 진입이 어려운 공정 내 위치 확보.글로벌주요반도체제조사들의양산라인에깊이적용되어후발업체진입이어려운공정내위치확보.
고객사의 다양한 기술적 요구사항을 충족시키는 맞춤화 역량과 설계 노하우.고객사의다양한기술적요구사항을충족시키는맞춤화역량과설계노하우.
2023년 영업이익률 52%를 기록하는 등 높은 수익성 유지 능력.2023년영업이익률52%를기록하는등높은수익성유지능력.
벨기에 IMEC과의 공동 연구 협력 체계를 통한 차세대 노드 기술 검증 및 파일럿 수주 확대 기반 마련.벨기에IMEC과의공동연구협력체계를통한차세대노드기술검증및파일럿수주확대기반마련.
2022년 무역의 날 7천만 달러 수출의 탑 수상 및 2023년 대한민국 코스닥대상 차세대기업상 수상으로 기술력과 성장성 인정.2022년무역의날7천만달러수출의탑수상및2023년대한민국코스닥대상차세대기업상수상으로기술력과성장성인정.
적용 산업적용산업
반도체 제조 산업 전반에 걸친 적용.반도체제조산업전반에걸친적용.
특히 시스템 반도체 분야의 로직 및 파운드리 공정.특히시스템반도체분야의로직및파운드리공정.
DRAM 및 NAND 플래시 등 메모리 반도체 생산 공정.DRAM및NAND플래시등메모리반도체생산공정.
3D NAND 적층 단수 증가에 따른 계면 결함 치유 솔루션 제공.3DNAND적층단수증가에따른계면결함치유솔루션제공.
AI 가속기에 사용되는 HBM4(6세대) 메모리 제조 공정.AI가속기에사용되는HBM4(6세대)메모리제조공정.
주요 시장주요시장
대한민국, 대만, 일본, 중국대한민국,대만,일본,중국
미국미국
인증/특허인증/특허
고압 수소 어닐링 기술 관련 30건 이상의 특허 보유.고압수소어닐링기술관련30건이상의특허보유.
경쟁사와의 특허 분쟁에서 승소하며 핵심 기술의 원천성, 진보성, 유효성 인정.경쟁사와의특허분쟁에서승소하며핵심기술의원천성,진보성,유효성인정.
2023년 제15회 대한민국 코스닥대상에서 차세대기업상 수상.2023년제15회대한민국코스닥대상에서차세대기업상수상.
2022년 제59회 무역의 날 7천만 달러 수출의 탑 수상.2022년제59회무역의날7천만달러수출의탑수상.