에이치아이티(주)는 1993년 설립 이래 반도체 및 디스플레이 세정 장비와 관련 부대 설비 제조를 핵심 사업으로 하는 기업. 고객 중심의 기술 혁신과 품질 향상을 추구하며, 다양한 산업 분야에 최적화된 솔루션을 제공하는 전문 기업. 웨이퍼 및 패널 세정 설비, 특수가스 시스템, 자동화 제어 솔루션 등 폭넓은 제품군을 보유한 기업. 지속적인 연구 개발과 차별화된 기술력으로 국내외 시장에서 경쟁력을 확보한 기업.에이치아이티(주)는1993년설립이래반도체및디스플레이세정장비와관련부대설비제조를핵심사업으로하는기업.고객중심의기술혁신과품질향상을추구하며,다양한산업분야에최적화된솔루션을제공하는전문기업.웨이퍼및패널세정설비,특수가스시스템,자동화제어솔루션등폭넓은제품군을보유한기업.지속적인연구개발과차별화된기술력으로국내외시장에서경쟁력을확보한기업.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
반도체 장비는 웨이퍼 표면 세정 설비인 Wet Station (Cassetteless Type HWS-AWS, Cassette Type)을 포함. 150mm에서 200mm까지 다양한 웨이퍼 사이즈에 대응하며, RCA 세정, 파티클 제거, 질화막 및 산화막 제거, 폴리머 제거, 레지스트 스트립 스테이션 등 여러 공정에 적용 가능한 장비. Tube Cleaner (HWC-ATC, HWC-MTC, HWC-VTC), 부품 세정 장비인 Parts Cleaner (HWC-MPC), Bake Oven (HIT-GBO), 약액 정량 분배 공급을 위한 CDD Cabinet 및 Dryer 등 다양한 설비 보유.반도체장비는웨이퍼표면세정설비인WetStation(CassettelessTypeHWS-AWS,CassetteType)을포함.150mm에서200mm까지다양한웨이퍼사이즈에대응하며,RCA세정,파티클제거,질화막및산화막제거,폴리머제거,레지스트스트립스테이션등여러공정에적용가능한장비.TubeCleaner(HWC-ATC,HWC-MTC,HWC-VTC),부품세정장비인PartsCleaner(HWC-MPC),BakeOven(HIT-GBO),약액정량분배공급을위한CDDCabinet및Dryer등다양한설비보유.
디스플레이 장비는 5세대부터 8세대까지의 디스플레이 세정 설비로 구성. 대형 패널 습식 설비인 HLD-FPS는 6G~8G 패널 사이즈에 적용 가능하며, ITO Etcher, Initial Cleaner, Develop, Pre PI Cleaner, Pre Depo Cleaner, DI Docking 등 전공정 장비 제공. 모바일 패널 세정기 및 Mask Cleaner, Module 공정 장비인 Pre POL Cleaner (HLA-BR300), Cover Glass Cleaner (HLA-CG300), Rework Cleaner (HLA-RC300) 등의 솔루션 제공.디스플레이장비는5세대부터8세대까지의디스플레이세정설비로구성.대형패널습식설비인HLD-FPS는6G~8G패널사이즈에적용가능하며,ITOEtcher,InitialCleaner,Develop,PrePICleaner,PreDepoCleaner,DIDocking등전공정장비제공.모바일패널세정기및MaskCleaner,Module공정장비인PrePOLCleaner(HLA-BR300),CoverGlassCleaner(HLA-CG300),ReworkCleaner(HLA-RC300)등의솔루션제공.
LED 장비는 PR Strip 공정에서 Metal Pattern을 남기고 불필요한 Metal을 Lift off시키는 ECOMA-200 (Lift Off) 설비. GAS SYSTEM은 특수가스 배관 시공 및 특수가스 공급장치 포함. RIKEN KEIKI의 Gas Detector, KELK의 Chemical Circulator, TOMOE SHOKAI의 Valve Shutter, TOYOKO KAGAKU의 Leak Sensor 등 해외 기술 협약을 통한 신제품 수입 및 공급.LED장비는PRStrip공정에서MetalPattern을남기고불필요한Metal을Liftoff시키는ECOMA-200(LiftOff)설비.GASSYSTEM은특수가스배관시공및특수가스공급장치포함.RIKENKEIKI의GasDetector,KELK의ChemicalCirculator,TOMOESHOKAI의ValveShutter,TOYOKOKAGAKU의LeakSensor등해외기술협약을통한신제품수입및공급.
자동화 제어 솔루션은 PLC, PC 제어, 전장설계 역량. BECKHOFF, TWINCAT, ETHERCAT 기반의 자동화 제어 솔루션 제공. 미쓰비시, 백호프, 지멘스, 옴론 등 다양한 브랜드의 컨트롤러에 대한 대응 능력 보유.자동화제어솔루션은PLC,PC제어,전장설계역량.BECKHOFF,TWINCAT,ETHERCAT기반의자동화제어솔루션제공.미쓰비시,백호프,지멘스,옴론등다양한브랜드의컨트롤러에대한대응능력보유.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
차별화된 제조 기술력 및 원가 혁신 능력으로 고객 요구 사양에 맞춘 다양한 장비 제조 및 판매. 고객 맞춤형 솔루션 제공을 통해 반도체, 디스플레이, 자동차, Plant, 연구소 등 여러 산업 분야에 필요한 전장 및 제어 자동화 솔루션의 신속하고 완벽한 제공.차별화된제조기술력및원가혁신능력으로고객요구사양에맞춘다양한장비제조및판매.고객맞춤형솔루션제공을통해반도체,디스플레이,자동차,Plant,연구소등여러산업분야에필요한전장및제어자동화솔루션의신속하고완벽한제공.
지속적인 연구 개발 및 기술 선도 역량. 부설 연구소를 통한 세정력 향상 연구 개발에 지속적인 투자. '미래'에 기업 가치를 두고 '기술을 선도하는 회사'로의 장기 목표 설정.지속적인연구개발및기술선도역량.부설연구소를통한세정력향상연구개발에지속적인투자.'미래'에기업가치를두고'기술을선도하는회사'로의장기목표설정.
신속하고 정확한 현장 유지보수 시스템. 자체 유지 보수팀을 상시 운영하여 고객 요청에 신속하고 정확하게 현장 업무 대응. 고객 만족 극대화를 위한 서비스 제공.신속하고정확한현장유지보수시스템.자체유지보수팀을상시운영하여고객요청에신속하고정확하게현장업무대응.고객만족극대화를위한서비스제공.
철저한 품질 및 안전 관리 시스템. 고객의 인명 및 재산을 보호하기 위한 통합 관리 시스템 운영. CE 인증, S마크, 제3자 인증에 따른 전장설계 및 제작 가능성.철저한품질및안전관리시스템.고객의인명및재산을보호하기위한통합관리시스템운영.CE인증,S마크,제3자인증에따른전장설계및제작가능성.
오랜 업력과 축적된 기술 노하우. 1993년 설립 이래 반도체 및 디스플레이 산업 분야에서 꾸준히 기술력을 쌓아온 기업. HOT DI Water Heater 국산화 성공 등 기술 자립화 역량.오랜업력과축적된기술노하우.1993년설립이래반도체및디스플레이산업분야에서꾸준히기술력을쌓아온기업.HOTDIWaterHeater국산화성공등기술자립화역량.
다양한 산업 분야의 경험과 폭넓은 적용 가능성. 반도체, 디스플레이뿐만 아니라 자동차, 플랜트, 물류, 이차전지, 환경설비 등 광범위한 산업에 자동화 제어 솔루션 제공.다양한산업분야의경험과폭넓은적용가능성.반도체,디스플레이뿐만아니라자동차,플랜트,물류,이차전지,환경설비등광범위한산업에자동화제어솔루션제공.
적용 산업적용산업
반도체 산업반도체산업
디스플레이 산업 (LCD, FPD)디스플레이산업(LCD,FPD)
LED 산업LED산업
자동차 산업자동차산업
Plant 산업Plant산업
연구소연구소
물류 산업물류산업
이차전지 산업이차전지산업
환경설비 산업환경설비산업
주요 시장주요시장
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인증/특허인증/특허
ISO 9001 / 14001 품질 환경 경영시스템 인증 (2006년)ISO9001/14001품질환경경영시스템인증(2006년)
ISO 45001 안전 보건 경영시스템 인증 (2020년)ISO45001안전보건경영시스템인증(2020년)
벤처기업 선정 (2001년, 중소기업청)벤처기업선정(2001년,중소기업청)
우량기술기업 선정 (2001년, 기술신용보증기금)우량기술기업선정(2001년,기술신용보증기금)
INNO-BIZ 기업 선정 (2001년, 중소기업청)INNO-BIZ기업선정(2001년,중소기업청)
기술경쟁력 우수기업 선정 (2000년, 중소기업청)기술경쟁력우수기업선정(2000년,중소기업청)
유망선진기술기업 선정 (1999년, 중소기업청)유망선진기술기업선정(1999년,중소기업청)
기업부설연구소 설립 (1998년)기업부설연구소설립(1998년)
표면분석기 개발 완료 및 제조기술 특허 등록 (1999년)표면분석기개발완료및제조기술특허등록(1999년)
고주파 글로우 방전을 이용한 고체 시료 직접 분석 기술 및 RF 글로우 방전을 이용한 고체시료 직접 분석장치 관련 특허 인증, 과학기술 진흥협회 KT 마크 획득고주파글로우방전을이용한고체시료직접분석기술및RF글로우방전을이용한고체시료직접분석장치관련특허인증,과학기술진흥협회KT마크획득
CE 인증, S마크, 제3자 인증에 따른 전장설계 및 제작 가능성CE인증,S마크,제3자인증에따른전장설계및제작가능성