2005년 설립된 (주)펨토사이언스는 플라즈마 및 파릴렌 코팅 장비 전문 제조 기업. 소형 연구용부터 대형 양산용 장비까지 다양한 제품 라인업 보유. 표면 처리, 표면 활성화, 살균, 식각, 접합, 코팅 등 광범위한 공정 기술 제공.2005년설립된(주)펨토사이언스는플라즈마및파릴렌코팅장비전문제조기업.소형연구용부터대형양산용장비까지다양한제품라인업보유.표면처리,표면활성화,살균,식각,접합,코팅등광범위한공정기술제공.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
플라즈마 장비: 진공 플라즈마 시스템(CUTE, COVANCE, COGRADE, COVANCE-RF, COWIN, CIONE 4, CIONE 6, CIONE 8, VITA 8, VITA 12) 및 대기압 플라즈마 시스템(Wide Flux 150, Wide Flux 400, Plasma Pipette) 제품군 보유. CUTE 모델은 탁상형 진공 플라즈마 시스템으로 챔버 W.140 x D.200 x H.110 (mm), 제너레이터 20~100kHz Max. 100W의 스펙을 갖춘 장비. Plasma Pipette은 소형 핸들링 타입의 대기압 플라즈마 장치로, 비용 및 공간 부담을 줄인 제품. 플라즈마 클리닝, 활성화, 코팅, 에칭 등 다양한 플라즈마 공정 기술 제공.플라즈마장비:진공플라즈마시스템(CUTE,COVANCE,COGRADE,COVANCE-RF,COWIN,CIONE4,CIONE6,CIONE8,VITA8,VITA12)및대기압플라즈마시스템(WideFlux150,WideFlux400,PlasmaPipette)제품군보유.CUTE모델은탁상형진공플라즈마시스템으로챔버W.140xD.200xH.110(mm),제너레이터20~100kHzMax.100W의스펙을갖춘장비.PlasmaPipette은소형핸들링타입의대기압플라즈마장치로,비용및공간부담을줄인제품.플라즈마클리닝,활성화,코팅,에칭등다양한플라즈마공정기술제공.
파릴렌 코팅 장비: LAVIDA 110, LAVIDA 1000 모델을 포함한 파릴렌 코팅 시스템 제공. LAVIDA 110은 증발기 Max. 200°C, 열분해로 Max. 800°C, 증착 챔버 I.D. 200 × L. 420 mm의 사양으로 균일한 파릴렌 박막 증착 가능. CVD(화학 증착법) 방식을 활용한 박막 코팅 기술로, 균일한 두께와 핀홀 없는 컨포멀 코팅 실현.파릴렌코팅장비:LAVIDA110,LAVIDA1000모델을포함한파릴렌코팅시스템제공.LAVIDA110은증발기Max.200°C,열분해로Max.800°C,증착챔버I.D.200×L.420mm의사양으로균일한파릴렌박막증착가능.CVD(화학증착법)방식을활용한박막코팅기술로,균일한두께와핀홀없는컨포멀코팅실현.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
독자적인 핵심 모듈 기술력: Reactor 디자인, Generator, Gas Module, Pumping Module, Software 등 5가지 주요 모듈을 직접 디자인하고 제작하는 기술 독립성 확보.독자적인핵심모듈기술력:Reactor디자인,Generator,GasModule,PumpingModule,Software등5가지주요모듈을직접디자인하고제작하는기술독립성확보.
맞춤형 시스템 제작 및 신속한 대응: 독자적인 기술력을 기반으로 고객의 요구에 맞는 맞춤형 제품 제작 및 빠른 응답, 납기 능력 보유.맞춤형시스템제작및신속한대응:독자적인기술력을기반으로고객의요구에맞는맞춤형제품제작및빠른응답,납기능력보유.
광범위한 제품 라인업: 소형 연구용부터 대형 양산용까지, 진공 및 대기압 플라즈마 장비, 핸드피스형부터 탁상형, 커스텀 대형 장비까지 폭넓은 제품군 제공.광범위한제품라인업:소형연구용부터대형양산용까지,진공및대기압플라즈마장비,핸드피스형부터탁상형,커스텀대형장비까지폭넓은제품군제공.
풍부한 공정 기술 노하우: 15년 이상 축적된 노하우로 표면 처리, 표면 활성화, 살균, 식각, 접합, 코팅 등 다양한 분야에 응용 가능한 공정 기술 보유.풍부한공정기술노하우:15년이상축적된노하우로표면처리,표면활성화,살균,식각,접합,코팅등다양한분야에응용가능한공정기술보유.
핵심 특허 기술 보유: 균일한 가스 반응이 이루어지는 기판 처리용 챔버 어셈블리 특허, 휴대용 플라즈마 발생기 특허 등 핵심 기술에 대한 특허권 확보.핵심특허기술보유:균일한가스반응이이루어지는기판처리용챔버어셈블리특허,휴대용플라즈마발생기특허등핵심기술에대한특허권확보.
글로벌 공급 경험: 전 세계 주요 연구기관 및 제조사에 플라즈마 및 파릴렌 코팅 시스템을 공급하며 쌓은 글로벌 시장 경험.글로벌공급경험:전세계주요연구기관및제조사에플라즈마및파릴렌코팅시스템을공급하며쌓은글로벌시장경험.
적용 산업적용산업
표면 개선 및 신소재 개발표면개선및신소재개발
반도체 및 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)반도체및MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)
바이오 및 의료 (Bio-MEMS, 마이크로 유체, 조직공학, 바이오칩, 의료기기, 상처 치유)바이오및의료(Bio-MEMS,마이크로유체,조직공학,바이오칩,의료기기,상처치유)
나노 재료 및 표면처리나노재료및표면처리
신에너지 개발 (태양전지)신에너지개발(태양전지)
환경 개선환경개선
농업 및 식품 (농작물 멸/살균, 식품학 연구)농업및식품(농작물멸/살균,식품학연구)
전기/전자, 항공 우주, 자동차 부품, CMP 프로세스 부품, LED 응용전기/전자,항공우주,자동차부품,CMP프로세스부품,LED응용
주요 시장주요시장
대한민국대한민국
유럽 (CE 인증 획득으로 시장 진출 가능성)유럽(CE인증획득으로시장진출가능성)
북미 (FCC 인증 획득으로 시장 진출 가능성)북미(FCC인증획득으로시장진출가능성)
인증/특허인증/특허
ISO 9000 인증 (2008.08) 및 ISO 14001 인증 (2009.07) 획득.ISO9000인증(2008.08)및ISO14001인증(2009.07)획득.
벤처기업 인증 (2008.08) 및 기업부설연구소 설립 (2009.01).벤처기업인증(2008.08)및기업부설연구소설립(2009.01).
CE 인증 (2008.09, 2009.05, 2010.01, 2017.12, 2019.06) 및 RoHS, FCC 인증 (Plasma Pipette, 2019.06) 보유.CE인증(2008.09,2009.05,2010.01,2017.12,2019.06)및RoHS,FCC인증(PlasmaPipette,2019.06)보유.
소재부품 전문기업 등록 (2020.01).소재부품전문기업등록(2020.01).
특허: 균일한 가스 반응이 이루어지는 기판 처리용 챔버 어셈블리 특허.특허:균일한가스반응이이루어지는기판처리용챔버어셈블리특허.
특허: 휴대용 플라즈마 발생기 (Portable plasma generator, 미국 특허 D935022, 2021.11.02 부여).특허:휴대용플라즈마발생기(Portableplasmagenerator,미국특허D935022,2021.11.02부여).
특허: 교체 가능한 핸드피스를 갖는 플라즈마 장치 (Plasma device having exchangeable handpiece, 미국 특허 11664204, 2023.05.30 부여).특허:교체가능한핸드피스를갖는플라즈마장치(Plasmadevicehavingexchangeablehandpiece,미국특허11664204,2023.05.30부여).
특허: 방전 전압 조절이 가능한 휴대용 플라즈마 장치 (PORTABLE PLASMA DEVICE WITH ADJUSTABLE DISCHARGE VOLTAGE, 미국 공개번호 20230005662) 출원.특허:방전전압조절이가능한휴대용플라즈마장치(PORTABLEPLASMADEVICEWITHADJUSTABLEDISCHARGEVOLTAGE,미국공개번호20230005662)출원.
특허: 플라즈마 보조 파릴렌 코팅 (2016.12).특허:플라즈마보조파릴렌코팅(2016.12).