Evatec AG는 반도체, 광전자공학, MEMS, 포토닉스 및 첨단 패키징 산업을 위한 박막 증착 솔루션 및 코팅 기술을 제공하는 글로벌 기업. 이 기업은 70년 이상의 박막 기술 노하우를 바탕으로 사무실, 가정, 자동차, 스마트 기기 등 다양한 분야에 적용되는 핵심 기술을 개발 및 공급하는 역할. 사물 인터넷(IoT), 5G 통신, 인공지능(AI), 자율 주행 등 미래 스마트 기술 혁명의 중심에 있는 박막 기술을 선도하는 기업. 고성능 전력 소자, MEMS 센서 및 액추에이터, 정밀 광학 부품 생산에 필수적인 증착 장비 및 공정 솔루션 제공.EvatecAG는반도체,광전자공학,MEMS,포토닉스및첨단패키징산업을위한박막증착솔루션및코팅기술을제공하는글로벌기업.이기업은70년이상의박막기술노하우를바탕으로사무실,가정,자동차,스마트기기등다양한분야에적용되는핵심기술을개발및공급하는역할.사물인터넷(IoT),5G통신,인공지능(AI),자율주행등미래스마트기술혁명의중심에있는박막기술을선도하는기업.고성능전력소자,MEMS센서및액추에이터,정밀광학부품생산에필수적인증착장비및공정솔루션제공.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
CLUSTERLINE® 제품군: 200mm 및 300mm 웨이퍼용 완전 자동화된 클러스터 플랫폼으로, 단일 웨이퍼 처리 방식의 전면 및 후면 금속 증착 솔루션 제공. MEMS, 전력 소자, 무선 통신, 광전자공학 등 다양한 핵심 시장에 걸쳐 활용되는 다목적 플랫폼. 특히 CLUSTERLINE® 300은 300mm 웨이퍼 처리를 위한 CMOS 호환 시스템으로, 고급 로직 및 메모리 애플리케이션에 필요한 Ti-Al 공정 솔루션 및 Ta/TaN 배리어, Cu 시드 공정 지원.CLUSTERLINE®제품군:200mm및300mm웨이퍼용완전자동화된클러스터플랫폼으로,단일웨이퍼처리방식의전면및후면금속증착솔루션제공.MEMS,전력소자,무선통신,광전자공학등다양한핵심시장에걸쳐활용되는다목적플랫폼.특히CLUSTERLINE®300은300mm웨이퍼처리를위한CMOS호환시스템으로,고급로직및메모리애플리케이션에필요한Ti-Al공정솔루션및Ta/TaN배리어,Cu시드공정지원.
BAK 제품군: 0.5m에서 1.4m까지 다양한 크기의 유연한 증착기(evaporator)로, R&D부터 대량 생산에 이르기까지 광범위한 응용 분야에 적합한 솔루션. 특히 BAK 911 및 MULTI BAK은 무선 통신 애플리케이션에서 공정 반복성과 소유 비용 절감에 기여하는 클러스터형 증착 솔루션. BAK 1401은 의료 분야의 고성능 디지털 X선 검출기용 CsI/TlI 기반 신틸레이터 제조에 활용.BAK제품군:0.5m에서1.4m까지다양한크기의유연한증착기(evaporator)로,R&D부터대량생산에이르기까지광범위한응용분야에적합한솔루션.특히BAK911및MULTIBAK은무선통신애플리케이션에서공정반복성과소유비용절감에기여하는클러스터형증착솔루션.BAK1401은의료분야의고성능디지털X선검출기용CsI/TlI기반신틸레이터제조에활용.
SOLARIS® 제품군: 인라인 생산 솔루션으로, 비용에 민감한 애플리케이션을 위한 두꺼운 전면 금속, 양면 또는 후면 금속 공정 지원. 터치 패널, EMI 차폐, 열전 발전기, 전력 소자, 태양광 발전 등 다양한 분야에서 경질 및 유연 기판을 위한 고속 제조 솔루션 제공.SOLARIS®제품군:인라인생산솔루션으로,비용에민감한애플리케이션을위한두꺼운전면금속,양면또는후면금속공정지원.터치패널,EMI차폐,열전발전기,전력소자,태양광발전등다양한분야에서경질및유연기판을위한고속제조솔루션제공.
HEXAGON: 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 애플리케이션을 위한 전용 플랫폼으로, 최저 소유 비용으로 높은 처리량과 낮은 Rc(저항) 값을 제공. 특히 팬아웃 웨이퍼 레벨 패키징(FOWLP) 기술에 필요한 대기압 탈기, 식각 및 금속 증착 공정 지원.HEXAGON:웨이퍼레벨패키징(WLP)애플리케이션을위한전용플랫폼으로,최저소유비용으로높은처리량과낮은Rc(저항)값을제공.특히팬아웃웨이퍼레벨패키징(FOWLP)기술에필요한대기압탈기,식각및금속증착공정지원.
보유 기술: 스퍼터링(Sputtering), 증착(Evaporation), 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 강화 원자층 증착(PEALD) 등 다양한 박막 증착 기술을 보유. 고급 공정 제어(APC) 기술을 통해 증착 주기 동안 기계적, 광학적, 전기적 특성을 '현장(in situ)'에서 제어하여 정밀도와 수율 향상. 특히 GSM 1102 광대역 광학 모니터링 시스템은 UV, VIS, IR 스펙트럼 범위에서 박막 모니터링 및 공정 개발 가속화에 기여.보유기술:스퍼터링(Sputtering),증착(Evaporation),플라즈마강화화학기상증착(PECVD),플라즈마강화원자층증착(PEALD)등다양한박막증착기술을보유.고급공정제어(APC)기술을통해증착주기동안기계적,광학적,전기적특성을'현장(insitu)'에서제어하여정밀도와수율향상.특히GSM1102광대역광학모니터링시스템은UV,VIS,IR스펙트럼범위에서박막모니터링및공정개발가속화에기여.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
광범위한 기술 포트폴리오: 스퍼터링, 증착, PECVD, PEALD 등 다양한 증착 기술과 식각 기술을 단일 플랫폼에서 제공하며, 배치, 클러스터, 인라인 등 유연한 시스템 아키텍처를 통해 고객의 다양한 요구 사항 충족.광범위한기술포트폴리오:스퍼터링,증착,PECVD,PEALD등다양한증착기술과식각기술을단일플랫폼에서제공하며,배치,클러스터,인라인등유연한시스템아키텍처를통해고객의다양한요구사항충족.
첨단 공정 제어(APC) 역량: 광대역 광학 모니터링, 플라즈마 방출 모니터링, 광학 고온 측정 등 고급 제어 기술을 통합하여 증착 공정 중 실시간으로 필름 특성을 정밀하게 제어하고 수율 극대화.첨단공정제어(APC)역량:광대역광학모니터링,플라즈마방출모니터링,광학고온측정등고급제어기술을통합하여증착공정중실시간으로필름특성을정밀하게제어하고수율극대화.
혁신적인 R&D 및 특허 포트폴리오: 400개 이상의 특허를 보유한 숙련된 과학자 및 엔지니어 팀을 통해 지속적인 기술 혁신을 추구하며, 특히 압전 코팅 및 증착 공정, 박막 증착 시스템의 측정 장치 등 핵심 기술에 대한 특허 보유.혁신적인R&D및특허포트폴리오:400개이상의특허를보유한숙련된과학자및엔지니어팀을통해지속적인기술혁신을추구하며,특히압전코팅및증착공정,박막증착시스템의측정장치등핵심기술에대한특허보유.
다양한 시장 및 애플리케이션 전문성: 반도체, 광전자공학, MEMS, 포토닉스, 첨단 패키징, 전력 소자, 무선 통신, 정밀 광학, 기능성 코팅 등 광범위한 핵심 시장에서 맞춤형 생산 솔루션 제공.다양한시장및애플리케이션전문성:반도체,광전자공학,MEMS,포토닉스,첨단패키징,전력소자,무선통신,정밀광학,기능성코팅등광범위한핵심시장에서맞춤형생산솔루션제공.
고객 중심의 글로벌 지원 네트워크: 스위스 본사를 중심으로 아시아, 유럽, 북미 등 15개국에 150명 이상의 영업 및 서비스 전문가를 배치하여 전 세계 고객에게 포괄적인 지원과 최적의 제조 솔루션 제공.고객중심의글로벌지원네트워크:스위스본사를중심으로아시아,유럽,북미등15개국에150명이상의영업및서비스전문가를배치하여전세계고객에게포괄적인지원과최적의제조솔루션제공.
높은 처리량 및 낮은 소유 비용: CLUSTERLINE® 및 SOLARIS®와 같은 플랫폼은 고속 생산 및 자동화된 팹 환경에 최적화되어 높은 처리량과 낮은 단위 비용을 실현하며, 경제적인 대량 생산 능력 제공.높은처리량및낮은소유비용:CLUSTERLINE®및SOLARIS®와같은플랫폼은고속생산및자동화된팹환경에최적화되어높은처리량과낮은단위비용을실현하며,경제적인대량생산능력제공.
적용 산업적용산업
반도체 (Semiconductor): 고급 로직, RFCMOS, 혼성 신호, 고전압 애플리케이션을 위한 전면 및 후면 공정, 300mm 웨이퍼 처리 솔루션.반도체(Semiconductor):고급로직,RFCMOS,혼성신호,고전압애플리케이션을위한전면및후면공정,300mm웨이퍼처리솔루션.
첨단 패키징 (Advanced Packaging): 3D 이종 통합(3DHI), 팬아웃 웨이퍼 레벨 패키징(FOWLP), 소형 패널 패키징, 고밀도 기판 기술.첨단패키징(AdvancedPackaging):3D이종통합(3DHI),팬아웃웨이퍼레벨패키징(FOWLP),소형패널패키징,고밀도기판기술.
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems): 센서, 액추에이터, 자기장, 양자 컴퓨팅을 위한 금속, 유전체, 압전, 자성 재료 증착.MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems):센서,액추에이터,자기장,양자컴퓨팅을위한금속,유전체,압전,자성재료증착.
광전자공학 (Optoelectronics): LED, VCSEL, 마이크로 디스플레이, 광학 스위치, 얼굴 인식 기술을 위한 ITO, 미러, 콘택트, 패시베이션 층 증착.광전자공학(Optoelectronics):LED,VCSEL,마이크로디스플레이,광학스위치,얼굴인식기술을위한ITO,미러,콘택트,패시베이션층증착.
포토닉스 (Photonics): 실리콘 포토닉스, 광자 컴퓨팅 장치, 레이저 코팅, 광섬유 통신 부품.포토닉스(Photonics):실리콘포토닉스,광자컴퓨팅장치,레이저코팅,광섬유통신부품.
전력 소자 (Power Devices): IGBT, MOSFET, 다이오드, 정류기, 사이리스터 등 고전압 및 고전류 애플리케이션용 박막 증착.전력소자(PowerDevices):IGBT,MOSFET,다이오드,정류기,사이리스터등고전압및고전류애플리케이션용박막증착.
무선 통신 (Wireless Communication): 5G, RF 필터(AlScN 압전 재료), 증폭기, GaN HEMT.무선통신(WirelessCommunication):5G,RF필터(AlScN압전재료),증폭기,GaNHEMT.
정밀 광학 (Precision Optics): 레이저 광학, 적외선 광학, UV-VIS 애플리케이션용 필터, 반사 방지 코팅, 고반사 미러, 빔 스플리터.정밀광학(PrecisionOptics):레이저광학,적외선광학,UV-VIS애플리케이션용필터,반사방지코팅,고반사미러,빔스플리터.