(주)유진테크, 대한민국 - 코머신 판매자 소개 및 제품 소개

- (주)유진테크는 반도체 전공정 장비 생산 전문업체로, 국내에서 유일한 Single-type 웨이퍼 공정 개발 기업. 저압 화학기상증착(LPCVD), 플라즈마 처리, 원자층증착(ALD) 장비 분야에서 핵심 기술력을 보유한 기업. Blue Jay 시스템과 같은 대표 제품으로 세계 굴지의 반도체 소자업체 생산 라인에 기여하는 기업. 첨단 나노 공정 시대에 반도체 기술 진화를 가능하게 하는 솔루션 제공 기업.(주)유진테크는 반도체 전공정 장비 생산 전문업체로, 국내에서 유일한 Single-type 웨이퍼 공정 개발 기업. 저압 화학기상증착(LPCVD), 플라즈마 처리, 원자층증착(ALD) 장비 분야에서 핵심 기술력을 보유한 기업. Blue Jay 시스템과 같은 대표 제품으로 세계 굴지의 반도체 소자업체 생산 라인에 기여하는 기업. 첨단 나노 공정 시대에 반도체 기술 진화를 가능하게 하는 솔루션 제공 기업.
- Plasma Enhanced ALD System (Phoenix™): 플라즈마를 이용한 ALD 시스템 설비로, 8개의 챔버를 통해 높은 생산성을 목표로 하는 장비. Harrier-M™은 NAND, DRAM, Logic 디바이스용 미니 배치 ALD 시스템으로, 정밀 재료 공학, 우수한 스텝 커버리지, 높은 균일성, 낮은 불순물, 향상된 처리량을 제공하는 기술.Plasma Enhanced ALD System (Phoenix™): 플라즈마를 이용한 ALD 시스템 설비로, 8개의 챔버를 통해 높은 생산성을 목표로 하는 장비. Harrier-M™은 NAND, DRAM, Logic 디바이스용 미니 배치 ALD 시스템으로, 정밀 재료 공학, 우수한 스텝 커버리지, 높은 균일성, 낮은 불순물, 향상된 처리량을 제공하는 기술.
- Single Thermal LPCVD System (BlueJay™, BlueJay-e™): 국내 유일의 Single-type LPCVD 개발 공급업체로서 온도 균일성 제어와 튜닝 가능한 공정 가스 흐름을 특징으로 하는 장비. 다중 챔버 및 단일 웨이퍼 플랫폼을 통해 우수한 박막 두께 균일성과 재현성, 낮은 열 예산, 쉬운 장비 매칭을 제공하며, 최대 800°C 공정 능력과 높은 처리량을 갖춘 장비. 450mm Single Thermal LPCVD System 및 300mm 싱글 LP-CVD 장비 공급 경험.Single Thermal LPCVD System (BlueJay™, BlueJay-e™): 국내 유일의 Single-type LPCVD 개발 공급업체로서 온도 균일성 제어와 튜닝 가능한 공정 가스 흐름을 특징으로 하는 장비. 다중 챔버 및 단일 웨이퍼 플랫폼을 통해 우수한 박막 두께 균일성과 재현성, 낮은 열 예산, 쉬운 장비 매칭을 제공하며, 최대 800°C 공정 능력과 높은 처리량을 갖춘 장비. 450mm Single Thermal LPCVD System 및 300mm 싱글 LP-CVD 장비 공급 경험.
- Single Plasma Treatment System (Albatross™): 고밀도 및 낮은 전자 온도 플라즈마를 활용하며, 특허받은 이중 회전 ICP 플라즈마 안테나 기술과 석영 챔버를 통한 금속 오염 없는 공정, 우수한 박막 균일성 및 넓은 공정 범위를 제공하는 시스템. 최대 600°C 고온 공정 능력.Single Plasma Treatment System (Albatross™): 고밀도 및 낮은 전자 온도 플라즈마를 활용하며, 특허받은 이중 회전 ICP 플라즈마 안테나 기술과 석영 챔버를 통한 금속 오염 없는 공정, 우수한 박막 균일성 및 넓은 공정 범위를 제공하는 시스템. 최대 600°C 고온 공정 능력.
- Multi-Stack SEG(Selective Epitaxial Growth) System (Falcon™): 멀티 스택 웨이퍼 아키텍처와 독립적인 가스 분배 및 웨이퍼 회전을 특징으로 하며, 높은 생산성과 패턴 크기 효과 최소화를 실현하는 장비. 로직 디바이스 SEG 공정에 적용되는 시스템.Multi-Stack SEG(Selective Epitaxial Growth) System (Falcon™): 멀티 스택 웨이퍼 아키텍처와 독립적인 가스 분배 및 웨이퍼 회전을 특징으로 하며, 높은 생산성과 패턴 크기 효과 최소화를 실현하는 장비. 로직 디바이스 SEG 공정에 적용되는 시스템.
- Dry Cleaning System (Hawk™): 메모리 및 로직 디바이스용 건식 세정 시스템으로, 완벽하게 깨끗한 Si 표면을 제공하고 깊은 컨택 플러그 통합 및 Si, SiGe, III-V 재료를 포함한 모든 Epi 공정을 지원하는 장비. 가스 화학물질을 이용한 단일 웨이퍼 건식 세정 공정 및 자체 개발 이중 회전 나선형 ICP 안테나 플라즈마 소스를 적용.Dry Cleaning System (Hawk™): 메모리 및 로직 디바이스용 건식 세정 시스템으로, 완벽하게 깨끗한 Si 표면을 제공하고 깊은 컨택 플러그 통합 및 Si, SiGe, III-V 재료를 포함한 모든 Epi 공정을 지원하는 장비. 가스 화학물질을 이용한 단일 웨이퍼 건식 세정 공정 및 자체 개발 이중 회전 나선형 ICP 안테나 플라즈마 소스를 적용.
- Cyclic CVD / Mini Batch ALD System (Harrier-L™): Harrier-L™은 배치 열 및 플라즈마 강화 ALD 및 LPCVD 공정용 신제품으로, 뛰어난 대량 생산성과 높은 진공 전도도 설계 및 높은 열 제어 정확도로 우수한 공정 솔루션을 제공하는 시스템.Cyclic CVD / Mini Batch ALD System (Harrier-L™): Harrier-L™은 배치 열 및 플라즈마 강화 ALD 및 LPCVD 공정용 신제품으로, 뛰어난 대량 생산성과 높은 진공 전도도 설계 및 높은 열 제어 정확도로 우수한 공정 솔루션을 제공하는 시스템.
- 국내 유일의 Single-type 웨이퍼 공정 개발 업체로서 반도체 전공정 장비 시장에서 독점적 지위.국내 유일의 Single-type 웨이퍼 공정 개발 업체로서 반도체 전공정 장비 시장에서 독점적 지위.
- Blue Jay System 등 대표 제품들이 세계 굴지의 반도체 소자업체로부터 검증받아 핵심 공정 장비로 활용되는 기술력.Blue Jay System 등 대표 제품들이 세계 굴지의 반도체 소자업체로부터 검증받아 핵심 공정 장비로 활용되는 기술력.
- 기술 추세를 선도하고 이끌어가는 혁신적인 연구개발 역량과 지속적인 투자. 기업부설연구소 운영 및 해외 연구개발 조직 보유.기술 추세를 선도하고 이끌어가는 혁신적인 연구개발 역량과 지속적인 투자. 기업부설연구소 운영 및 해외 연구개발 조직 보유.
- 머신러닝 기술을 장비 시스템에 접목하여 D램 및 낸드플래시 공정 안정성과 설비 가동률을 개선하는 AI 기반 스마트 공정 솔루션 제공 역량. 0.1도 이하의 예측 오차율을 기록하는 온도 예측 모델을 실제 장비에 탑재.머신러닝 기술을 장비 시스템에 접목하여 D램 및 낸드플래시 공정 안정성과 설비 가동률을 개선하는 AI 기반 스마트 공정 솔루션 제공 역량. 0.1도 이하의 예측 오차율을 기록하는 온도 예측 모델을 실제 장비에 탑재.
- Nitride Solution Provider에서 Single Wafer Deposition 분야의 Total Solution 공급 업체로 성장을 목표로 하는 제품 포트폴리오 다각화 전략. Diffusion Solution Provider로의 연구개발 매진.Nitride Solution Provider에서 Single Wafer Deposition 분야의 Total Solution 공급 업체로 성장을 목표로 하는 제품 포트폴리오 다각화 전략. Diffusion Solution Provider로의 연구개발 매진.
- 2026년까지 글로벌 10대 반도체 장비 기업으로 도약하려는 적극적인 해외 시장 개척 목표.2026년까지 글로벌 10대 반도체 장비 기업으로 도약하려는 적극적인 해외 시장 개척 목표.
- 반도체 전공정 장비 산업반도체 전공정 장비 산업
- 메모리 반도체 (DRAM, NAND) 제조 산업메모리 반도체 (DRAM, NAND) 제조 산업
- 로직 디바이스 (LSI) 제조 산업로직 디바이스 (LSI) 제조 산업
- 시스템 LSI 부문시스템 LSI 부문
- 대한민국, 대만대한민국, 대만
- 미국 (종속회사 Eugenus Inc.를 통한 연구개발 조직 운영)미국 (종속회사 Eugenus Inc.를 통한 연구개발 조직 운영)
- Albatross™ 시스템에 특허받은 이중 회전 ICP 플라즈마 안테나 기술 적용.Albatross™ 시스템에 특허받은 이중 회전 ICP 플라즈마 안테나 기술 적용.
- Hawk™ 시스템에 자체 개발 이중 회전 나선형 ICP 안테나 플라즈마 소스 적용.Hawk™ 시스템에 자체 개발 이중 회전 나선형 ICP 안테나 플라즈마 소스 적용.
- 2001년 1월 기업부설연구소 설립 이후 지속적인 연구개발 투자 및 산학연 공동연구, 소자업체와의 공동개발 수행. 해외(미국)에도 연구개발 조직을 운영하며 제품 개발 및 기술 연구 활동 수행.2001년 1월 기업부설연구소 설립 이후 지속적인 연구개발 투자 및 산학연 공동연구, 소자업체와의 공동개발 수행. 해외(미국)에도 연구개발 조직을 운영하며 제품 개발 및 기술 연구 활동 수행.
- 2017년 임동규 사장의 과학기술훈장 웅비장 수상.2017년 임동규 사장의 과학기술훈장 웅비장 수상.