에코에너젠은 반도체 및 다양한 산업 분야의 대기 오염물질 처리장치 제작과 Total Solution을 제공하는 기업. 에너지 자원 고갈과 첨단 산업 발전에 따른 환경 문제 강화에 선제적으로 대응하는 친환경 설비 전문 기업. 반도체 장비 사업에서 축적된 기술 노하우와 플라즈마 신기술을 기반으로 경제적인 수입대체 효과를 넘어선 글로벌 경쟁력 확보. 온실가스 저감 기술을 선도하며 지속 가능한 환경 솔루션을 제공하는 데 주력.에코에너젠은반도체및다양한산업분야의대기오염물질처리장치제작과TotalSolution을제공하는기업.에너지자원고갈과첨단산업발전에따른환경문제강화에선제적으로대응하는친환경설비전문기업.반도체장비사업에서축적된기술노하우와플라즈마신기술을기반으로경제적인수입대체효과를넘어선글로벌경쟁력확보.온실가스저감기술을선도하며지속가능한환경솔루션을제공하는데주력.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
De-NOx System: 질소산화물(NOx) 저감 설비로, 기존 고온 작동 방식과 달리 상온(25℃)에서 99% 처리 효율을 구현하는 세계 유일의 상온 산화환원 기술 적용. 교류 플라즈마를 통한 산화 및 직류 전위차에 의한 집진, 환원 Wet Scrubber를 접목하여 NOx, HF, Dust 등 복합 오염물질 동시 처리 가능.De-NOxSystem:질소산화물(NOx)저감설비로,기존고온작동방식과달리상온(25℃)에서99%처리효율을구현하는세계유일의상온산화환원기술적용.교류플라즈마를통한산화및직류전위차에의한집진,환원WetScrubber를접목하여NOx,HF,Dust등복합오염물질동시처리가능.
Bay Catalyst System: 반도체 식각(Etching) 공정에서 발생하는 프레온가스(PFCs)를 촉매 반응으로 99%까지 분해하는 핵심 기술. 프레온가스를 이산화탄소와 불화수소로 전환하며, 하나의 장치로 20대 이상의 식각 장비 배출가스를 동시에 처리하는 고효율 시스템.BayCatalystSystem:반도체식각(Etching)공정에서발생하는프레온가스(PFCs)를촉매반응으로99%까지분해하는핵심기술.프레온가스를이산화탄소와불화수소로전환하며,하나의장치로20대이상의식각장비배출가스를동시에처리하는고효율시스템.
Wet-EP System (Bay/Middle Type, Roof Type): POU SCR' 배기 SUB DUCT 및 Middle Duct에 적합한 용량을 설치하여 고농도/저유량 오염물 저감 및 부식성 가스, 입자상 물질 처리.Wet-EPSystem(Bay/MiddleType,RoofType):POUSCR'배기SUBDUCT및MiddleDuct에적합한용량을설치하여고농도/저유량오염물저감및부식성가스,입자상물질처리.
POU Scrubber (Plasma & Wet EP, Heat & Wet EP): 반도체 공정에서 배출되는 PFCs Gas 분해 및 수용성, Powder, Mist 등을 1차 처리하는 장비. 플라즈마와 전기 집진 원리를 활용하여 고효율 가스 처리 성능과 경제적인 운영 및 유지보수 특징.POUScrubber(Plasma&WetEP,Heat&WetEP):반도체공정에서배출되는PFCsGas분해및수용성,Powder,Mist등을1차처리하는장비.플라즈마와전기집진원리를활용하여고효율가스처리성능과경제적인운영및유지보수특징.
IPA Scrubber System: 반도체 공정 내 발생하는 IPA, NH3 등 오염물질을 Mist & E.P-Wet 시스템을 통해 고효율로 처리하여 환경 규제 대응 및 주변 민원 발생 방지.IPAScrubberSystem:반도체공정내발생하는IPA,NH3등오염물질을Mist&E.P-Wet시스템을통해고효율로처리하여환경규제대응및주변민원발생방지.
De-NH3 System: 암모니아(NH3) 배출 농도를 낮추기 위한 처리 시스템.De-NH3System:암모니아(NH3)배출농도를낮추기위한처리시스템.
WWFS (Waste Water Free System): 폐수 발생을 최소화하는 친환경 시스템.WWFS(WasteWaterFreeSystem):폐수발생을최소화하는친환경시스템.
GPM (Gas-treatment Plasma Module) & Wet EP, GPS (Gas-treatment Plasma System): 플라즈마 신기술을 활용한 가스 처리 모듈 및 시스템.GPM(Gas-treatmentPlasmaModule)&WetEP,GPS(Gas-treatmentPlasmaSystem):플라즈마신기술을활용한가스처리모듈및시스템.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
독보적인 온실가스 저감 기술력: 반도체 식각 공정의 프레온가스를 상온 촉매 반응으로 99% 분해하는 Bay Catalyst System과 상온에서 질소산화물 99% 처리 효율을 구현하는 De-NOx 시스템은 세계 유일의 상온 산화환원 기술로 평가. 이는 열에 민감한 반도체 공정 환경에서도 안정적인 작동 가능.독보적인온실가스저감기술력:반도체식각공정의프레온가스를상온촉매반응으로99%분해하는BayCatalystSystem과상온에서질소산화물99%처리효율을구현하는De-NOx시스템은세계유일의상온산화환원기술로평가.이는열에민감한반도체공정환경에서도안정적인작동가능.
Total Solution 제공 역량: 고객에게 최적화된 대기 오염물질 처리장치 제작 및 Total Solution을 제공하며, 반도체 및 다양한 산업 분야의 대기 오염물질 이슈에 대한 포괄적인 대응 능력.TotalSolution제공역량:고객에게최적화된대기오염물질처리장치제작및TotalSolution을제공하며,반도체및다양한산업분야의대기오염물질이슈에대한포괄적인대응능력.
기술 노하우 및 연구 개발 투자: 반도체 장비 제작에서 축적된 기술 노하우와 플라즈마 신기술을 지속적으로 확보하며, 기업부설연구소 운영을 통한 끊임없는 연구 성과 창출. 미세 먼지 및 유해가스 제거를 위한 기체 유동 해석 설계와 양(+) 방전 Corona 기술 확보.기술노하우및연구개발투자:반도체장비제작에서축적된기술노하우와플라즈마신기술을지속적으로확보하며,기업부설연구소운영을통한끊임없는연구성과창출.미세먼지및유해가스제거를위한기체유동해석설계와양(+)방전Corona기술확보.
ESG 경영 및 시장 확장성: 지구온난화와 대기 환경 문제 해결책을 제시하며 ESG 경영의 중요성이 부각되는 스크러버 분야에서 강력한 솔루션 보유. 국내 검증 실적을 바탕으로 해외시장 개척에 적극적으로 나서며 글로벌 강소기업으로 성장.ESG경영및시장확장성:지구온난화와대기환경문제해결책을제시하며ESG경영의중요성이부각되는스크러버분야에서강력한솔루션보유.국내검증실적을바탕으로해외시장개척에적극적으로나서며글로벌강소기업으로성장.
복합 오염물질 동시 처리 능력: 질소산화물, 불화수소, 미세먼지 등 다양한 복합 오염물질을 동시에 효율적으로 처리하는 시스템 기술 보유. 이는 다양한 산업 현장의 복잡한 환경 규제에 효과적으로 대응하는 강점.복합오염물질동시처리능력:질소산화물,불화수소,미세먼지등다양한복합오염물질을동시에효율적으로처리하는시스템기술보유.이는다양한산업현장의복잡한환경규제에효과적으로대응하는강점.
숙련된 기술 인력: 스크러버 분야에서 수십 년간 현장 경험을 쌓은 기술진이 다수 포진하여 인적 강점 보유.숙련된기술인력:스크러버분야에서수십년간현장경험을쌓은기술진이다수포진하여인적강점보유.
적용 산업적용산업
전자산업 분야 (반도체 제조 공정)전자산업분야(반도체제조공정)
케미컬산업 분야케미컬산업분야
일반산업 분야일반산업분야
주요 시장주요시장
대만, 중국, 말레이시아대만,중국,말레이시아
미국 (기술 도입 추진)미국(기술도입추진)
인증/특허인증/특허
ISO 45001:2018 (안전보건경영시스템) 인증ISO45001:2018(안전보건경영시스템)인증
ISO 14001:2015 (환경경영시스템) 인증ISO14001:2015(환경경영시스템)인증
ISO 9001:2015 (품질경영시스템) 인증ISO9001:2015(품질경영시스템)인증
기술혁신형 중소기업(이노비즈) 확인서기술혁신형중소기업(이노비즈)확인서
기업부설연구소 인정서기업부설연구소인정서
환경전문공사업 등록증환경전문공사업등록증
건설업 등록증건설업등록증
특허: 질소산화물 및 미세물질 동시 처리 시스템 (KR20150010235A)특허:질소산화물및미세물질동시처리시스템(KR20150010235A)
특허: 암모니아 가스 및 염을 동시 제거하는 가스 스크러버 시스템 (2022년 10월 등록)특허:암모니아가스및염을동시제거하는가스스크러버시스템(2022년10월등록)
특허: 초음파 전극 응집을 이용한 염 제거 장치 및 이를 포함하는 가스 스크러버 시스템 (2023년 3월 등록)특허:초음파전극응집을이용한염제거장치및이를포함하는가스스크러버시스템(2023년3월등록)
특허: 가연성가스 처리장치 (2016년 1월 등록)특허:가연성가스처리장치(2016년1월등록)
특허: 복합 폐가스 처리 장치 및 폐가스 처리 시스템 및 처리방법 관련 기술 보유특허:복합폐가스처리장치및폐가스처리시스템및처리방법관련기술보유