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Wafer Sorter 300
모델명
-
시리즈
반도체장비
자료
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구매정보
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(주)블루코드

반도체 장비 전문업체, 중앙감시 시스템, 반도체공정 장비, 멀티미디어 기기 제작 및 판매

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제조사
(주)블루코드[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
130594
제품명
Wafer Sorter 300
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

Wafer Sorter 200은 200mm 반도체 공정에서 Wafer Aligning 및 ID Reading 후, 각 Recipe에 의해 Wafer를 원하는 위치로 Sorting 하는 기능의 장비입니다.

 

Specification

- Semi Standard Compliance

- 2~4 Load Port in Front(Customizied Product)

- Wafer Transfer Robot(Vacuum or Edge Grip Hand)

- Bluecord's Wafer Pre-Aligner & FFU\

- Easy Operating & Maintenance

- OHT & AGV Available

- Color Touch Screen

- Communications : SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM

 

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