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제품명 마스크 얼라이너
모델명 200
시리즈 마스크얼라이너
카탈로그
제품소개

OAI Model 200 Mask Aligner는 OAI를 포토 리소그래피 주요 장비 산업의 선두 주자로 키워낸 업계에서 입증 된 구성 요소로 설계된 경제적인 고성능 마스크 얼라이너입니다. Model 200은 최소한의 클린룸 공간을 필요로 하는 벤치 탑 마스크 얼라이너 입니다. R & D 또는 제한된 규모의 파일럿 생산을 위한 경제적 대안을 제공합니다. 혁신적인 에어 베어링 / 진공 척 레벨링 시스템을 사용하여 기판은 평행한 포토 마스크 정렬 및 접촉 노광 중 웨이퍼에 대한 균일 한 접촉을 위해 신속하고 부드럽게 수평을 맞춥니다. 이 시스템은 1 미크론 해상도와 정렬 정밀도가 가능합니다.


정렬 모듈은 재구성을위한 특별한 도구없이 다양한 기판과 마스크의 사용을 용이하게하는 마스크 인서트 세트 및 신속 변경 웨이퍼 척을 갖추고 있습니다. 정렬 모듈에는 X, Y 및 Z 축 용 마이크로 미터가 통합되어 있습니다.

Model 200 Mask Aligner는 200 ~ 2000 와트 범위의 램프를 사용하여 Near 또는 Deep UV에서 평행 UV 광을 제공하는 신뢰할 수 있는 OAI UV 광원을 특징으로 합니다. 이중 센서, 광학 피드백 루프는 일정 강도 컨트롤러에 연결되어 원하는 강도의 ± 2 % 범위 내에서 노출 강도를 제어합니다. UV 파장을 쉽고 빠르게 변경할 수 있습니다. 이 마스크 Aligner는 초급 마스크 정렬 및 UV 노광 어플리케이션을 위한 유연하고 경제적인 솔루션입니다.

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