마이다스시스템
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Mask Aligner
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제품 상세 설명
MDA-400LJ(Mask Aligner) 는 경제적인 가격의 제품이며, 광원을 수은램프가 아닌 UV LED(365nm) 사용함으로써 램프 교체가 필요 없는 모델로 조각 부터 최대4인치 시료까지 공정이 가능하며, 장비의 사이즈가 작고 간편한 조작이 특징이며, 주로 학교 연구실 용으로 적합합니다.
사양
| Type | Fully manual (Mask Aligner) |
|---|---|
| Mask size | up to 5" x 5" |
| Substrate size | piece to 4" dia |
| UV lamp & Power | UV-LED & power supply |
| Uniform beam size | 125mm dia |
| Beam Uniformity | <±3% |
| Beam wavelength | 365nm Only |
| 365nm Intensity | ~20mW/cm2 |
| Alignment accuracy | 1um |
| Process resolution | 1um@1um PR thickness with vacuum contact |
| Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
| Substrate chuck moving | x,y,z & θ |
| Options | etc. |